Dəqiq ölçmə və emal üçün istinad vasitəsi olan qranit platforması, dəqiqliyin qorunması istehsal keyfiyyətinə birbaşa təsir göstərir. Aşağıda platformanın uzun müddət nanometr səviyyəli dəqiqliyi qorumasını təmin etmək üçün ətraf mühitə nəzarət, gündəlik texniki xidmət və peşəkar kalibrləməni əhatə edən sistemli texniki xidmət planı təqdim olunur.
1. Ətraf Mühitə Nəzarət: Dəqiq qoruma baryeri qurun
Temperatur və rütubətin idarə olunması
İş mühitinin temperaturu 20±1℃ səviyyəsində sabitləşdirilməlidir. Hər 1℃ dalğalanması qranit platformasının 0,5-1μm/m istilik deformasiyasına səbəb olacaq. Kondisioner çıxışlarının birbaşa platformaya üflənməsinin qarşısını almaq üçün emalatxanada sabit temperatur sistemi quraşdırıla bilər.
Rütubət 40% ilə 60% arasında nəzarət edilməlidir. Həddindən artıq rütubət metal hissələrdə asanlıqla paslanmaya səbəb ola bilər, həddindən artıq aşağı rütubət isə ölçmə zamanı statik elektrik müdaxiləsinə səbəb ola bilər.
Vibrasiya izolyasiyası
Platforma ştamplama və frezer dəzgahları kimi vibrasiya mənbələrindən uzaq saxlanılmalıdır. Vibrasiya avadanlıqlarından 3 metrdən çox məsafə saxlamaq tövsiyə olunur.
Əgər titrəmənin qarşısını almaq mümkün deyilsə, ətraf mühitin titrəməsinin platformanın düzlüyünə təsirini azaltmaq üçün platformanın alt hissəsinə hava yaylı amortizatorlar quraşdırıla bilər (bu, xarici titrəməni 80%-dən çox azalda bilər).
2. Gündəlik Baxım: Təmizlikdən qorunmaya qədər diqqətli nəzarət
Səth təmizlənməsi spesifikasiyası
Tozun təmizlənməsi: Toz hissəciklərinin (≥5μm) platformanı cızmasının qarşısını almaq üçün səthi hər gün eyni istiqamətdə maral dərisi və ya tüksüz parça ilə silin. İnadkar ləkələr susuz etanol (təmizlik ≥99,7%) ilə yumşaq bir şəkildə silinə bilər. Aseton kimi güclü həlledicilərdən istifadə edilməməlidir.
Yağsızlaşdırma: Əgər yağ ləkələri ilə təmasa girərsə, mineral yağın platformanın kiçik məsamələrinə nüfuz etməsinin qarşısını almaq üçün onu durulaşdırılmış neytral təmizləyici ilə silin, sonra deionlaşdırılmış su ilə yuyun və havada qurudun.
Yük və toqquşma qorunması
Yerli həddindən artıq yüklənmənin yaratdığı daimi deformasiyanın qarşısını almaq üçün platformanın yük daşıma qabiliyyəti nominal yükün 70%-i daxilində idarə olunmalıdır (məsələn, 1000 kq-lıq platforma üçün yükün ≤700 kq olması tövsiyə olunur).
İş parçalarını platformaya vurmaq qəti qadağandır. Alətlərlə işləyərkən, iti əşyaların səthi cızmasının qarşısını almaq üçün yumşaq əlcəklər geyin (dərinliyi 20 μm-dən çox olan cızıqlar əks olunan işığın yolunun ölçülməsinə təsir edəcək).
3. Peşəkar Kalibrləmə: Dəqiqliyi elmi cəhətdən qorumağın əsasını təşkil edir
Kalibrləmə dövrü qəbulu
Ənənəvi istifadə ssenariləri: Hər rübdə bir dəfə kalibrləyin və müstəviliyi aşkar etmək üçün lazer interferometrindən istifadə edin (±0.5μm/m dəqiqliyi ilə).
Yüksək tezlikli istifadə və ya sərt mühitlər: Aylıq kalibrləmə, temperatura həssas sahələrin (məsələn, istilik mənbələrinə yaxın platformanın kənarı) monitorinqinə yönəldilməklə.
Kalibrləmə sonrası emal
Əgər düzlük sapması aşkar edilərsə (məsələn, > ±1μm/m), o, peşəkar texnik tərəfindən W1.5 mikro-tozundan istifadə edərək üyüdülməli və təmir edilməlidir. Zımpara ilə öz-özünə üyütmək qəti qadağandır.
Kalibrləmədən sonra məlumatlar qeyd edilməli və arxivləşdirilməli, eləcə də texniki xidmət tələblərini əvvəlcədən proqnozlaşdırmaq üçün platforma dəqiqliyinin azalma əyrisi qurulmalıdır.
4. Saxlama və Nəqliyyat: Gizli dəqiqlik itkisindən çəkinin
Uzunmüddətli saxlama üçün əsas məqamlar
Saxlanarkən, nəmə və toz keçirməyən örtüklə örtülməlidir. Ağırlıq qüvvəsinin yaratdığı əyilmə deformasiyasının qarşısını almaq üçün alt hissəsi üç nöqtə ilə dəstəklənməlidir (dayaq nöqtəsi platformanın uzunluğunun 2/9 hissəsində yerləşir) (1 metrlik platforma uzunmüddətli tək nöqtəli dayaq səbəbindən 0,3 μm əyilə bilər).
Uzunmüddətli yerli təzyiqdən qaçınmaq üçün platforma dayaq nöqtələrinin yerini müntəzəm olaraq (aylıq) dəyişdirin.
Nəqliyyatın qorunması planı
Qısa məsafəli daşınma: Zərbəni udma köpüyü ilə sarın, sərt bir çərçivəyə bərkidin və sürətlənməni 2 q daxilində saxlayın.
Uzaq məsafəli daşınma: Vakuumla qablaşdırılmalı və quru azotla doldurulmalıdır. Çatdırıldıqdan sonra, kondensasiya suyunun dəqiqliyə təsir etməsinin qarşısını almaq üçün qablaşdırmadan çıxarmazdan əvvəl temperatur tarazlığa çatana qədər 24 saat saxlanılmalıdır.
5. Xəta Proqnozu: Erkən Problemlərin Müəyyən Edilməsi Texnikaları
Vizual yoxlama: Səthi müntəzəm olaraq 40x böyüdücü şüşə ilə müşahidə edin. Davamlı cızıqlar və ya parıltıda əhəmiyyətli dərəcədə azalma aşkar edilərsə, bu, dəqiqliyin azalmasını göstərə bilər.
Səs aşkarlanması: Platformaya yumşaq bir şəkildə vurun. Səs xırıltılı olarsa (normal olaraq aydın bir səs olmalıdır), içəridə mikro çatlar ola bilər. Aşkarlama üçün dərhal istifadəni dayandırın.
Bu texniki xidmət sistemi vasitəsilə ZHHIMG® qranit platforması 10 il ərzində ±1μm/m düzlük saxlaya bilir ki, bu da düzgün texniki xidmət göstərilməyən platformaların dəqiqlik ömründən üç dəfədən çoxdur. Təcrübə sübut edib ki, müəyyən bir yarımkeçirici fabriki bu həlli tətbiq etdikdən sonra platformanın kalibrləmə tezliyi 50% azalıb və illik texniki xidmət xərclərinə 150.000 yuandan çox qənaət edilib.
Yazı vaxtı: 18 iyun 2025