Dəqiq istehsal və elmi tədqiqat sahələrində qranit dəqiq platformaların düzlüyü avadanlığın dəqiqliyini təmin etmək üçün əsas göstəricidir. Aşağıda bir neçə əsas aşkarlama metodu və onların işləmə prosedurları ilə bağlı ətraflı məlumat verilmişdir.
I. Lazer interferometrinin aşkarlanması metodu
Lazer interferometri yüksək dəqiqlikli düzlük aşkarlanması üçün üstünlük verilən vasitədir. Nümunə olaraq ZYGO GPI XP lazer interferometrini götürək, onun qətnaməsi 0,1 nm-ə çata bilər. Aşkarlama apararkən əvvəlcə interferometrin işıq mənbəyini platforma ilə uyğunlaşdırın və platforma səthini 50 mm × 50 mm ölçülü şəbəkə sahələrinə bölün. Daha sonra müdaxilə zolağı məlumatları nöqtə-nöqtə toplandı və məlumatlar uyğunlaşdırıldı və düzlük xətasını əldə etmək üçün Zernike polinomu istifadə edilərək təhlil edildi. Bu metod yüksək dəqiqlikli platformalara tətbiq olunur və ≤0,5 μm/m² düzlük xətalarını aşkar edə bilər. O, adətən fotolitoqrafiya maşınlarının və yüksək səviyyəli üç koordinatlı ölçmə maşın platformalarının aşkarlanmasında istifadə olunur.
II. Elektron Səviyyə Massivi Metodu
Elektron səviyyə massivi aşkarlama cihazı idarə etmək üçün sadə və yüksək səmərəlidir. TESA A2 elektron səviyyəsi (0,01μm/m qətnamə ilə) platformanın X/Y oxu istiqamətində 9×9 massivdə seçilib yerləşdirilib. Hər səviyyənin meyl məlumatlarını sinxron şəkildə toplamaqla və sonra hesablama üçün ən kiçik kvadratlar metodundan istifadə etməklə müstəvi dəyəri dəqiq əldə edilə bilər. Bu metod platformanın yerli çöküklük və qabarıqlıq şərtlərini effektiv şəkildə müəyyən edə bilər. Məsələn, 50 mm diapazonda 0,2μm dalğalanma da aşkar edilə bilər ki, bu da kütləvi istehsalda sürətli aşkarlama üçün uyğundur.
III. Optik Düz kristal metodu
Optik düz kristal metodu kiçik sahəli platformaların aşkarlanması üçün uyğundur. Optik düz kristalı platformada sınaqdan keçiriləcək səthə möhkəm birləşdirin və monoxromatik işıq mənbəyinin (məsələn, natrium lampa) işığı altında aralarında əmələ gələn interferensiya zolaqlarını müşahidə edin. Zolaqlar paralel düz zolaqlardırsa, bu, yaxşı düzlük olduğunu göstərir. Əyri zolaqlar görünərsə, zolaq əyriliyinin dərəcəsinə əsasən düzlük xətasını hesablayın. Hər bir əyri zolaq 0,316μm hündürlük fərqini təmsil edir və düzlük məlumatları sadə çevrilmə yolu ilə əldə edilə bilər.
Dörd. Üç koordinatlı Ölçmə Maşını Yoxlama metodu
Üç koordinatlı ölçmə maşını üçölçülü məkanda yüksək dəqiqlikli ölçmə apara bilər. Qranit platformasını ölçmə maşınının iş masasına qoyun və zonddan istifadə edərək platformanın səthindəki birdən çox ölçmə nöqtəsindən məlumatları vahid şəkildə toplayın. Ölçmə maşını sistemi platformanın düzlük hesabatını yaratmaq üçün bu məlumatları emal edir və təhlil edir. Bu üsul yalnız düzlüyü aşkarlaya bilməz, həm də platformanın digər həndəsi parametrlərini eyni vaxtda əldə edə bilər və böyük qranit platformalarının hərtərəfli aşkarlanması üçün uyğundur.
Bu aşkarlama metodlarına yiyələnmək, qranit dəqiqlik platformasının düzlüyünü dəqiq qiymətləndirməyə və dəqiq avadanlıqların sabit işləməsi üçün etibarlı bir zəmanət təmin etməyə kömək edə bilər.
Yayımlanma vaxtı: 29 may 2025