Yarımkeçirici istehsalında fotolitoqrafiya maşını çiplərin dəqiqliyini təyin edən əsas cihazdır və çoxsaylı xüsusiyyətləri ilə qranit bazası fotolitoqrafiya maşınının əvəzolunmaz bir hissəsinə çevrilmişdir.
Termal sabitlik: Temperatur Dəyişikliklərinə Qarşı "Qalxan"
Fotolitoqrafiya maşını işləyərkən çox miqdarda istilik yaradır. Hətta yalnız 0,1℃ temperatur dalğalanması belə avadanlıq komponentlərinin deformasiyasına səbəb ola və fotolitoqrafiya dəqiqliyinə təsir göstərə bilər. Qranitin istilik genişlənmə əmsalı olduqca aşağıdır, cəmi 4-8 × 10⁻⁶/℃ təşkil edir ki, bu da poladın təxminən 1/3 hissəsinə və alüminium ərintisinin 1/5 hissəsinə bərabərdir. Bu, fotolitoqrafiya maşını uzun müddət işləyərkən və ya ətraf mühitin temperaturu dəyişdikdə qranit əsasının ölçülü sabitliyini qorumağa imkan verir və optik komponentlərin və mexaniki strukturların dəqiq yerləşməsini təmin edir.
Super vibrasiya əleyhinə performans: Vibrasiyanı udan "süngər"
Yarımkeçirici fabrikdə ətrafdakı avadanlıqların işləməsi və insanların hərəkəti titrəmə yarada bilər. Qranit yüksək sıxlığa və sərt teksturaya malikdir və əla amortizasiya xüsusiyyətlərinə malikdir, amortizasiya nisbəti metallarınkından 2-5 dəfə çoxdur. Xarici titrəmələr qranit bazasına ötürüldükdə, daxili mineral kristalları arasındakı sürtünmə titrəmə enerjisini yayılma üçün istilik enerjisinə çevirir ki, bu da qısa müddətdə titrəməni əhəmiyyətli dərəcədə azalda bilər və fotolitoqrafiya aparatının sabitliyi tez bir zamanda bərpa etməsinə və titrəmə səbəbindən fotolitoqrafiya naxışının bulanıqlaşmasının və ya səhv düzülüşünün qarşısını almasına imkan verir.
Kimyəvi sabitlik: Təmiz Ətraf Mühitin "Qoruyucusu"
Fotolitoqrafiya maşınının daxili hissəsi müxtəlif kimyəvi maddələrlə təmasa girir və adi metal materiallar korroziyaya və ya hissəciklərin sərbəst buraxılmasına meyllidir. Qranit kvars və feldispat kimi minerallardan ibarətdir. Sabit kimyəvi xüsusiyyətlərə və güclü korroziyaya davamlılığa malikdir. Turşu və qələvi məhlullarında islandıqdan sonra səth korroziyası olduqca azdır. Bu arada, onun sıx strukturu demək olar ki, heç bir zibil və ya toz əmələ gətirmir, ən yüksək təmiz otaq standartlarının tələblərinə cavab verir və lövhənin çirklənmə riskini azaldır.
Emal uyğunlaşması: Dəqiq etalonlar yaratmaq üçün "ideal material"
Fotolitoqrafiya maşınının əsas komponentləri yüksək dəqiqlikli istinad səthinə quraşdırılmalıdır. Qranitin daxili quruluşu vahiddir və üyütmə, cilalama və digər üsullarla son dərəcə yüksək dəqiqliklə emal etmək asandır. Onun düzlüyü ≤0,5μm/m-ə çata bilər və səthin pürüzlülüyü Ra ≤0,05μm-dir ki, bu da optik linzalar kimi komponentlər üçün dəqiq quraşdırma əsasını təmin edir.
Uzun ömür və texniki xidmət tələb etmir: Xərclərin azaldılması üçün "kəskin alətlər"
Uzunmüddətli istifadə zamanı yorğunluğa və çatlamağa meylli metal materiallarla müqayisədə, qranit normal yüklər altında plastik deformasiyaya və ya sınığa çətinliklə məruz qalır və səthi emal tələb etmir, beləliklə, örtüyün soyulması və çirklənmə riskini aradan qaldırır. Praktik tətbiqlərdə, uzun illər istifadədən sonra qranit əsasının əsas göstəriciləri hələ də sabit qala bilər və bu da avadanlığın istismarı və texniki xidmət xərclərini azaldır.
İstilik stabilliyindən tutmuş vibrasiya müqavimətinə qədər kimyəvi inertliyə qədər qranit əsasının çoxsaylı xüsusiyyətləri fotolitoqrafiya maşınının tələblərinə mükəmməl cavab verir. Çip istehsal prosesi daha yüksək dəqiqliyə doğru inkişaf etməyə davam etdikcə, qranit əsasları yarımkeçirici istehsalı sahəsində əvəzolunmaz rol oynamağa davam edəcəkdir.
Yayımlanma vaxtı: 20 may 2025