Yarımkeçirici istehsal emalatxanasında çip istehsal prosesinin ətraf mühit şəraiti və avadanlıq dəqiqliyi tələbləri həddindən artıqdır və hər hansı bir kiçik sapma çip məhsuldarlığının əhəmiyyətli dərəcədə azalmasına səbəb ola bilər. XYZT dəqiq portal hərəkət platforması, nanoskal dəqiqliyə nail olmaq üçün möhkəm bir təməl qurmaq məqsədilə platformanın digər hissələri ilə əməkdaşlıq etmək üçün qranit komponentlərinə əsaslanır.
Əla vibrasiya bloklama xüsusiyyətləri
Yarımkeçirici istehsal sexində periferik avadanlıqların və ətrafda gəzən personalın işləməsi titrəmə yarada bilər. Qranit komponentlərinin daxili quruluşu sıx və vahiddir, səmərəli titrəmə "baryeri" kimi təbii yüksək amortizasiya xüsusiyyətlərinə malikdir. Xarici titrəmə XYZT platformasına ötürüldükdə, qranit komponenti titrəmə enerjisinin 80%-dən çoxunu effektiv şəkildə zəiflədə və platformanın hərəkət dəqiqliyinə titrəmənin müdaxiləsini azalda bilər. Eyni zamanda, platforma qranit komponentləri ilə birlikdə işləyən yüksək dəqiqlikli hava üzən bələdçi sistemi ilə təchiz edilmişdir. Hava üzən bələdçi platformanın hərəkət edən hissələrinin təmassız asma hərəkətini həyata keçirmək və mexaniki sürtünmənin yaratdığı kiçik titrəməni azaltmaq üçün yüksək təzyiqli qazın əmələ gətirdiyi sabit qaz təbəqəsindən istifadə edir. Birlikdə, ikisi də çip litoqrafiyası və aşındırma kimi əsas proseslərdə platforma yerləşdirmə dəqiqliyinin həmişə nanometr səviyyəsində saxlanılmasını və titrəmənin yaratdığı çip dövrə nümunələrinin sapmasının qarşısını almasını təmin edir.
Əla istilik sabitliyi
Sexdə temperatur və rütubətin dalğalanması çip istehsal avadanlıqlarının dəqiqliyinə böyük təsir göstərir. Qranitin istilik genişlənmə əmsalı çox aşağıdır, ümumiyyətlə 5-7 × 10⁻⁶/℃ arasındadır, temperatur dəyişdikdə ölçü demək olar ki, dəyişməz qalır. Sexdə gecə-gündüz arasındakı temperatur fərqi və ya avadanlığın istilik istehsalı ətraf mühitin temperaturunun dəyişməsinə səbəb olsa belə, qranit komponentləri istilik genişlənməsi və büzülməsi səbəbindən platformanın deformasiyasının qarşısını almaq üçün sabit qala bilər. Eyni zamanda, platforma ilə təchiz olunmuş ağıllı temperatur idarəetmə sistemi ətraf mühitin temperaturunu real vaxt rejimində izləyir, kondisioner və istilik yayma avadanlıqlarını avtomatik olaraq tənzimləyir və sexin temperaturunu 20 ° C ± 1 ° C səviyyəsində saxlayır. Qranit istilik sabitliyinin üstünlükləri ilə birləşdirildikdə, platformanın uzunmüddətli istismarda olmasını, hər bir oxun hərəkət dəqiqliyinin həmişə çip istehsal nanometr dəqiqlik standartlarına cavab verməsini, çip litoqrafiyası naxışının ölçüsünün dəqiq olmasını, aşınma dərinliyinin vahid olmasını təmin etmək üçün təmin edilir.
Təmiz ətraf mühit ehtiyaclarını ödəmək
Yarımkeçirici istehsal sexi toz hissəciklərinin çipi çirkləndirməsinin qarşısını almaq üçün yüksək dərəcədə təmizlik saxlamalıdır. Qranit materialının özü toz əmələ gətirmir və səthi hamardır, tozu udmaq asan deyil. Platforma bütövlükdə xarici tozun daxil olmasını azaltmaq üçün tam qapalı və ya yarı qapalı struktur dizaynını qəbul edir. Daxili hava dövranı sistemi, daxili hava təmizliyinin çip istehsalı üçün tələb olunan səviyyəyə çatmasını təmin etmək üçün sexin təmiz kondisioner sistemi ilə əlaqələndirilir. Bu təmiz mühitdə qranit komponentləri toz eroziyası səbəbindən performansa təsir göstərməyəcək və platformanın yüksək dəqiqlikli sensorları və mühərrikləri kimi əsas komponentləri də sabit işləyə bilər, çip istehsalı üçün davamlı və etibarlı nanoskal dəqiqlik zəmanəti təmin edir və yarımkeçirici sənayesinin daha yüksək proses səviyyəsinə keçməsinə kömək edir.
Yazı vaxtı: 14 aprel 2025