Yarımkeçirici lövhə yoxlaması sahəsində təmiz otaq mühitinin təmizliyi birbaşa məhsulun məhsuldarlığı ilə əlaqədardır. Çip istehsal proseslərinin dəqiqliyi yaxşılaşmağa davam etdikcə, aşkarlama avadanlıqlarının daşıma platformalarına olan tələblər getdikcə daha sərtləşir. Sıfır metal ionlarının buraxılması və aşağı hissəcik çirklənməsi xüsusiyyətlərinə malik qranit platformalar ənənəvi paslanmayan polad materialları üstələyərək lövhə yoxlama avadanlıqları üçün üstünlük verilən həll yoluna çevrilib.
Qranit, əsasən kvars, feldispat və slyuda kimi qeyri-metal minerallardan ibarət təbii magmatik qayadır. Bu xüsusiyyət ona sıfır metal ionlarının sərbəst buraxılması üstünlüyü verir. Bunun əksinə olaraq, dəmir, xrom və nikel kimi metalların bir ərintisi olan paslanmayan polad, təmiz otaq mühitində su buxarının və turşu və ya qələvi qazların aşınması səbəbindən səthində elektrokimyəvi korroziyaya meyllidir və nəticədə Fe²⁺ və Cr³⁺ kimi metal ionlarının çökməsinə səbəb olur. Bu kiçik ionlar lövhənin səthinə yapışdıqdan sonra, fotolitoqrafiya və aşındırma kimi sonrakı proseslərdə yarımkeçirici materialın elektrik xüsusiyyətlərini dəyişdirəcək, tranzistorun eşik gərginliyinin sürüşməsinə səbəb olacaq və hətta dövrədə qısaqapanmalara səbəb olacaq. Peşəkar qurumun sınaq məlumatları göstərir ki, qranit platforması 1000 saat ərzində simulyasiya edilmiş təmiz otaq temperaturu və rütubət mühitinə (23±0.5℃, 45%±5% RH) davamlı olaraq məruz qaldıqdan sonra metal ionlarının sərbəst buraxılması aşkarlama həddindən (<0.1ppb) aşağı olub. Paslanmayan polad platformalardan istifadə edərkən metal ion çirklənməsindən yaranan lövhələrin qüsur nisbəti 15%-dən 20%-ə qədər ola bilər.
Hissəciklərin çirklənməsinə nəzarət baxımından qranit platformalar da olduqca yaxşı işləyir. Təmiz otaqların havadakı asılı hissəciklərin konsentrasiyasına son dərəcə yüksək tələbləri var. Məsələn, ISO 1 Sinif təmiz otaqlarında hər kubmetr üçün icazə verilən 0,1 μm hissəciklərin sayı 10-u keçmir. Paslanmayan polad platforma cilalama işindən keçsə belə, avadanlıq titrəməsi və personalın işləməsi kimi xarici qüvvələr səbəbindən metal zibilləri və ya oksid ərpinin soyulması hələ də yarana bilər ki, bu da aşkarlama optik yoluna mane ola və ya lövhənin səthini cıza bilər. Sıx mineral quruluşuna (sıxlığı ≥2,7 q/sm³) və yüksək sərtliyinə (Mohs şkalası üzrə 6-7) malik qranit platformalar uzunmüddətli istifadə zamanı aşınmaya və ya qırılmaya meylli deyil. Ölçülmüş ölçmələr göstərir ki, onlar aşkarlama avadanlığı sahəsinin havasındakı asılı hissəciklərin konsentrasiyasını paslanmayan polad platformalarla müqayisədə 40%-dən çox azalda bilər və təmiz otaq standartlarını effektiv şəkildə qoruyur.
Təmizlik xüsusiyyətlərinə əlavə olaraq, qranit platformaların hərtərəfli performansı paslanmayan poladdan daha yüksəkdir. İstilik sabitliyi baxımından, onun istilik genişlənmə əmsalı yalnız (4-8) × 10⁻⁶/℃-dir, bu da paslanmayan poladdan iki dəfə azdır (təxminən 17× 10⁻⁶/℃), bu da təmiz otaqdakı temperatur dəyişdikdə aşkarlama avadanlığının yerləşdirmə dəqiqliyini daha yaxşı saxlaya bilər. Yüksək amortizasiya xarakteristikası (amortizasiya nisbəti > 0,05) avadanlığın titrəməsini tez bir zamanda zəiflədə və aşkarlama zondunun titrəməsinin qarşısını ala bilər. Təbii korroziyaya davamlılığı, əlavə örtük qorunmasına ehtiyac olmadan fotorezist həlledicilərinə, aşındırıcı qazlara və digər kimyəvi maddələrə məruz qaldıqda belə sabit qalmasına imkan verir.
Hazırda qranit platformaları qabaqcıl lövhə istehsalı zavodlarında geniş istifadə olunur. Məlumatlar göstərir ki, qranit platformasının tətbiqindən sonra lövhə səthi hissəciklərinin aşkarlanmasında səhv qiymətləndirmə nisbəti 60% azalıb, avadanlığın kalibrləmə dövrü üç dəfə uzadılıb və ümumi istehsal dəyəri 25% azalıb. Yarımkeçirici sənayesi daha yüksək dəqiqliyə doğru irəlilədikcə, sıfır metal ionlarının buraxılması və aşağı hissəcik çirklənməsi kimi əsas üstünlüklərinə malik qranit platformaları lövhə yoxlaması üçün sabit və etibarlı dəstək verməyə davam edəcək və sənayenin irəliləyişini təmin edən mühüm qüvvəyə çevriləcək.
Yayımlanma vaxtı: 20 may 2025