Yarımkeçirici sənayesi 2 nm-dən aşağı proses qovşaqlarını aqressiv şəkildə təqib etdikcə, mexaniki xəta ehtimalı demək olar ki, yoxa çıxıb. Bu yüksək riskli mühitdə proses kamerasının sabitliyi artıq ikinci dərəcəli narahatlıq deyil; bu, məhsuldarlıq üçün əsas maneədir. ZHHIMG-də biz qlobal OEM-lərin yarımkeçirici əsas avadanlıqların struktur bütövlüyünə yanaşmasında fundamental bir dəyişikliyi müşahidə edirik.
Səssizliyin Fizikası: Qabaqcıl Vibrasiya Söndürmə Texnikaları
Müasir lövhə istehsalında bir vaxtlar "fon səs-küyü" hesab edilən titrəmələr indi fəlakətli hala gəlir. İstər obyektin HVAC sistemindən yaranan mikro-titrəmələr, istərsə də yüksək sürətli skan etmə mərhələsinin daxili ətaləti olsun, nəzarətsiz enerji birbaşa üst-üstə düşmə səhvlərinə və bulanıq naxışlara çevrilir.
Yarımkeçirici istehsalında mövcud vibrasiya söndürmə üsulları çoxqatlı bir arxitekturaya çevrilmişdir. Mineral tökmə və ya dəqiq qranit kimi yüksək kütləli materiallardan istifadə edən passiv söndürmə əsas olaraq qalsa da, aktiv söndürmə inteqrasiyasında artım müşahidə edirik.
Aktiv sistemlər əks tezliklər yaratmaqla titrəmələri "ləğv etmək" üçün pyezoelektrik aktuatorlardan və real vaxt sensorlarından istifadə edir. Lakin, aktiv sistemlərin effektivliyi əsas materialın sönmə nisbəti ilə məhdudlaşır. Məhz bu zaman ZHHIMG-nin yüksək sönmə qabiliyyətinə malik struktur materialları sahəsindəki təcrübəsi kritik hala gəlir. Aktiv elektronikanı təbii inert qranit və ya kompozit baza ilə birləşdirərək, nano-mövqeyləşdirmənin müdaxilə olmadan baş verə biləcəyi "Səssiz Zona" təmin edirik.
Sürtünməsiz Hərəkətin Yüksəlişi: Hava Yastığı Texnologiyası
Daha yüksək məhsuldarlığa olan tələbat ənənəvi mexaniki yastıqları həddinə çatdırıb. Sürtünmə istiliyə, istilik isə dəqiqliyin düşməni olan istilik genişlənməsinə gətirib çıxarır. Bu, geniş yayılmasına səbəb olubDəqiq mərhələlər üçün hava daşıyıcı texnologiya.
Hava yastıqları, adətən yalnız bir neçə mikron qalınlığında olan nazik bir təzyiqli hava təbəqəsinə yükü daşıyır. Fiziki təmas olmadığı üçün sıfır statik sürtünmə (yapışma) var. Bu, aşağıdakılara imkan verir:
-
Histerezsiz Hərəkət: Mərhələnin hər dəfə eyni nanometr koordinatına qayıtmasını təmin etmək.
-
Sürət Sabitliyi: E-şüa yoxlaması kimi skan tətbiqləri üçün vacibdir, burada mexaniki yastığın ən kiçik bir "dişli" hərəkəti belə görüntünü təhrif edə bilər.
-
Həddindən artıq uzunömürlülük: Toxunmayan hissələr olmadığı üçün aşınma və hissəcik əmələ gəlməsi yoxdur, bu da onları 1-ci sinif təmiz otaq mühitləri üçün ideal edir.
ZHHIMG-də biz bu hava yastıqları üçün istiqamətləndirici yol kimi xidmət edən ultra düz qranit səthlər istehsal edirik. Düzgün işləməsi üçün bu səthlər işıq dalğa uzunluğunun fraksiyaları ilə ölçülən düzlüyə qədər sürtülməlidir.
Yarımkeçirici Kapital Avadanlıqlarında Trendlər: 2026 və Sonrası
2026-cı ilə doğru irəlilədikcə,yarımkeçirici kapital avadanlıqlarında trendlər"Üç Sütun" ilə xarakterizə olunur: Modullaşdırma, Davamlılıq və İstilik Nəzarəti.
-
Modulyar Platforma Dizaynı: OEM-lər "qoş və işlə" əsas modullar axtarırlar. Hər alət üçün yeni bir əsas dizayn etmək əvəzinə, litoqrafiya, metrologiya və ya aşındırma üçün uyğunlaşdırıla bilən standartlaşdırılmış ZHHIMG dəqiq təməllərindən istifadə edirlər.
-
İstilik İdarəetməsi: EUV (Ekstremal Ultrabənövşəyi) işıq mənbələri çox böyük istilik yaratdığından, maşın bazası nəhəng istilik daşıyıcısı kimi çıxış etməlidir. $<0.01^\circ\text{C}$ deltasını saxlamaq üçün mürəkkəb soyutma kanallarını birbaşa mineral və qranit komponentlərimizə inteqrasiya edirik.
-
Vakuum Uyğunluğu: Daha çox proses yüksək vakuum mühitlərinə keçdikcə, istifadə olunan materialların qaz çıxışı sıfır olmalıdır. Xüsusi qranit və keramika emalımız, vakuumun bütövlüyünün struktur təməl tərəfindən heç vaxt pozulmamasını təmin edir.
ZHHIMG ilə Strateji Tərəfdaşlıq
ZHHIMG sadəcə komponent istehsalçısı deyil; biz hərəkətə nəzarət təchizat zəncirində strateji tərəfdaşıq. Çindəki müəssisəmiz sənayedəki ən çətin sabitlik problemlərini həll etmək üçün Silikon Vadisi və Eyndhovendəki mühəndislik qrupları ilə sıx əməkdaşlıq edir.
Xüsusi sürtmə üsullarımızdan və dərin anlayışımızdan istifadə etməkləvibrasiya söndürmə üsulları, biz müştərilərimizə Mur Qanununun sərhədlərini aşmağa imkan veririk. İstər yeni nəsil ALD (Atom Layer Deposition) aləti, istərsə də yüksək sürətli lövhə zondlayıcısı hazırlayırsınızsa, təməl ZHHIMG ilə başlayır.
Nəticə
Yarımkeçirici istehsalının təkamülü fizika qanunlarına qarşı bir yarışdır. Sənaye 2026-cı ilə doğru irəlilədikcə, hava daşıyıcılarının dəqiqliyinə və qabaqcıl amortizasiyaya diqqət daha da artacaq. Bu tendensiyalardan irəlidə qalmaq üçün həm sözün əsl mənasında, həm də məcazi mənada təcrübə və innovasiyaya əsaslanan bir təməl tələb olunur.
Yazı vaxtı: 26 Yanvar 2026