Yarımkeçirici istehsalında və genişmiqyaslı optik yoxlamada nanometr səviyyəli dəqiqliyin amansız şəkildə davam etdirilməsi hərəkət idarəetmə sistemlərinə misli görünməmiş tələblər qoyub. Mühəndislər tez-tez vacib bir dizayn seçimi ilə qarşılaşırlar: hava daşıyan pillələrin sürtünməz zərifliyi və ya qranit əsaslı mexaniki pillələrin möhkəm, vibrasiyanı azaldan etibarlılığı. ZHHIMG Qrupunda biz optimal həllin çox vaxt materialşünaslıq və maye dinamikasının kəsişməsində olduğunu qəbul edirik.
Əsas Mübahisə: Hava Yastıqları Mərhələləri və Qranit Mərhələləri
Fərqi anlamaq üçün təmas mexanikasına baxmaq lazımdır. Ənənəvi qranit mərhələləri tez-tez birbaşa birinə inteqrasiya olunmuş çarpaz diyircəkli və ya toplu sürüşmələr kimi yüksək dəqiqlikli mexaniki yataklardan istifadə edir.qranit əsasBu sistemlər yüksək yük tutumu və müstəsna sərtliyi ilə qiymətləndirilir. Qranitin təbii amortizasiya xüsusiyyətləri mühərrikdən və ya ətraf mühitdən gələn hər hansı qalıq vibrasiyanın sürətlə yayılmasını təmin edir və bu da onları ağır yük metrologiyasında əsas vasitəyə çevirir.
Bunun əksinə olaraq, hava daşıyıcı pillələr hamarlığın zirvəsini təmsil edir. Hərəkət edən vaqonu adətən cəmi bir neçə mikron qalınlığında olan nazik təzyiqli hava təbəqəsi üzərində dəstəkləməklə bu pillələr fiziki təması aradan qaldırır. Bu sürtünmənin olmaması sıfır yapışma və sıfır aşınmaya səbəb olur və skan tətbiqlərində tələb olunan son dərəcə sabit sürəti təmin edir. Hava yastıqları üstün həndəsi dəqiqlik təklif etsə də, təmiz, quru hava təchizatı tələb edir və ümumiyyətlə mexaniki analoqlarına nisbətən eksantrik yükə daha həssasdırlar.
Xüsusi Tətbiqlər üçün Optik Mərhələlərin Növlərinin Təhlili
Optika sahəsi müxtəlif optik mərhələlərin inkişafına səbəb olan ixtisaslaşmış hərəkət profilləri tələb edir. Düzgün növün seçilməsi tələb olunan sərbəstlik dərəcələrindən və yoxlama mühitindən asılıdır.
Xətti optik mərhələlər, bəlkə də, ən çox yayılmışdır və yüksək qüvvə üçün qurğuşun vintlərdən və ya yüksək sürətlənmə üçün xətti mühərriklərdən istifadə edirlər. Uzun səyahətlər zamanı nanometr səviyyəli düzlük tələb olunduqda, hava daşıyan xətti mərhələlər tez-tez geribildirim üçün lazer interferometrləri ilə birləşdirilir.
Dönər optik pillələr, qoniometriya və ya linza elementlərinin mərkəzləşdirilməsini yoxlamaq kimi bucaqdan asılı ölçmələr üçün vacibdir. Hava daşıyan fırlanan pillələr burada xüsusilə üstünlük təşkil edir, çünki onlar sıfıra yaxın ox və radial qaçış nümayiş etdirir və fırlanma zamanı optik oxun mükəmməl şəkildə düzülməsini təmin edir.
XY və ya XYZ yığınları kimi çoxoxlu sistemlər avtomatlaşdırılmış lövhə yoxlamasında tez-tez istifadə olunur. Bu konfiqurasiyalarda qranit əsasının seçilməsi müzakirə mövzusu deyil. Qranit, bir oxun hərəkətinin digərinin dəqiqliyini təhrif etməsinin qarşısını almaq üçün lazımi kütlə və istilik ətalətini təmin edir.
Qranit və hava yastıqlarının sinerjisi
Hava daşıyıcısının mərhələləri vəqranit mərhələləriqarşılıqlı olaraq istisna təşkil edir. Əslində, ən qabaqcıl hərəkət sistemləri ikisinin hibrididir. Yüksək səviyyəli hava daşıyıcı pillələr, demək olar ki, yalnız istiqamətləndirici səth kimi qranitdən istifadə edir. Səbəb qranitin böyük ərazilərdə submikronlu düzlüyə qədər sürtülmə qabiliyyətidir ki, bu da alüminium və ya poladla əldə edilməsi çətin olan bir xüsusiyyətdir.
Hava yastıqları istiqamətləndiricinin səthi qeyri-bərabərliklərini "orta səviyyədə" göstərdiyindən, ZHHIMG istehsalı olan qranit şüasının həddindən artıq düzlüyü hava təbəqəsinin bütün səyahət boyunca sabit qalmasına imkan verir. Bu sinerji hər iki dünyanın ən yaxşısını təmin edən hərəkət sistemləri ilə nəticələnir: havanın sürtünmədən hərəkəti və qranitin qaya kimi möhkəm sabitliyi.
Baxım və Ətraf Mühit Mülahizələri
Bu sistemlərin istismarı ciddi ətraf mühit nəzarəti tələb edir. Mexaniki qranit pillələri nisbətən möhkəmdir, lakin zibil yığılmasının qarşısını almaq üçün vaxtaşırı yağlama və yastıq yollarının təmizlənməsini tələb edir. Hava yastıq sistemləri, yağlama baxımından texniki xidmət tələb etməsə də, pnevmatik təchizatın keyfiyyətindən asılıdır. Hava xəttindəki hər hansı bir nəmlik və ya yağ "dəlik tıxanmasına" səbəb ola bilər ki, bu da hava təbəqəsini zədələyə və fəlakətli səth təmasına səbəb ola bilər.
Bundan əlavə, istilik idarəetməsi çox vacibdir. Hər iki sistem xətti mühərriklər üçün istilik daşıyıcısı kimi çıxış edən qranitin yüksək istilik kütləsindən faydalanır. Bununla belə, nanometr miqyaslı tətbiqlərdə hətta bir dərəcə Selsi dalğalanması belə əhəmiyyətli dərəcədə genişlənməyə səbəb ola bilər. Peşəkar laboratoriyalar səhnə ətrafında sabit mikroiqlim saxlamaq üçün tez-tez ixtisaslaşmış qranit örtüklərdən istifadə edirlər.
Nəticə: İnnovasiyanız üçün düzgün təməlin seçilməsi
Tətbiqiniz mexaniki qranit mərhələnin yüksək yük daşıma qabiliyyətini və ya hava daşıyıcı sisteminin ultra hamar sürət nəzarətini tələb etsə də, təməl ən vacib komponent olaraq qalır. ZHHIMG-də biz yalnız mərhələlər təmin etmirik; ən iddialı layihələriniz üçün tələb olunan geoloji və mexaniki dəqiqliyi təmin edirik. Yarımkeçirici və optik sənayesi daha sərt tolerantlıqlara doğru irəlilədikcə, material mükəmməlliyinə və dəqiq mühəndisliyə olan sadiqliyimiz hərəkət idarəetmə sisteminizin tədqiqatınızda və ya istehsalınızda heç vaxt məhdudlaşdırıcı amil olmayacağını təmin edir.
Yazı vaxtı: 22 Yanvar 2026