Yüksək səviyyəli istehsal və qabaqcıl elmi tədqiqat sahələrində dəqiq statik təzyiqli hava üzən hərəkət platforması ultra dəqiq işləməyə nail olmaq üçün əsas avadanlıqdır. Qranit dəqiqlik bazası platformanın əsas dəstəkləyici hissəsidir və onun performansı iş mühiti ilə sıx bağlıdır. Bu ətraf mühit tələblərini anlamaq və yerinə yetirmək yalnız platformanın yüksək dəqiqlikli işləməsini təmin etməklə yanaşı, həm də müəssisənin əlaqəli sahələrdə rəqabət qabiliyyətini artırmaq üçün vacib bir hissəsi ola bilər ki, bu da aşağıda ətraflı təsvir edilmişdir.
1. Temperatur: ölçülü sabitliyi təmin etmək üçün dəqiq nəzarət
Qranit sabitliyi ilə tanınsa da, istilik genişlənmə əmsalı sıfır deyil və kiçik temperatur dəyişiklikləri hələ də onun ölçülü dəqiqliyinə təsir göstərə bilər. Ümumiyyətlə, qranitin istilik genişlənmə əmsalı 5-7 × 10⁻⁶/℃-dir. Dəqiq statik təzyiqli hava üzən hərəkət platformasının tətbiq ssenarisində bu kiçik dəyişiklik platforma tərəfindən gücləndirilir ki, bu da hərəkət dəqiqliyinin sapmasına səbəb ola bilər. Məsələn, yarımkeçirici çip istehsal prosesində, litoqrafiya prosesinin yerləşdirmə dəqiqliyi tələbləri danami səviyyəsi, ətraf mühitin temperaturunun 1°C dalğalanması, 1 metr qranit əsasının yan uzunluğu 5-7 mikron xətti genişlənmə və ya daralma yarada bilər ki, bu da çip litoqrafiyası nümunəsinin sapmasını təmin etmək və məhsuldarlığı azaltmaq üçün kifayətdir. Buna görə də, qranit dəqiq baza ilə təchiz olunmuş dəqiq statik təzyiqli hava üzən platforma, ideal iş mühitinin temperaturu 20 ° C ± 1 ° C səviyyəsində ciddi şəkildə idarə olunmalıdır, müəssisələr yüksək dəqiqlikli sabit temperaturlu kondisioner sistemi quraşdıra, ətraf mühitin temperaturunu davamlı olaraq izləyə və dəqiq şəkildə tənzimləyə, qranit bazasının ölçüsünü sabit saxlaya və platformanın yüksək dəqiqlikli işləməsini təmin edə bilərlər.
2. rütubət: ağlabatan nəzarət, baza performansını qoruyun
Rütubət dəqiq qranit əsaslarına da əhəmiyyətli dərəcədə təsir göstərir. Yüksək rütubətli mühitdə qranitin su buxarını udması asandır və səthdə kondensasiya yarana bilər ki, bu da yalnız hava flotasiya sisteminin normal işləməsinə mane olmur, həm də qranit səthinin uzunmüddətli eroziyasına səbəb olur, dəqiqliyini və xidmət müddətini azaldır. Optik linza üyütmə emalatxanasını nümunə götürsək, rütubət uzun müddət 60%-dən yüksək olarsa, qranit əsasının səthində adsorbsiya olunmuş su buxarı hava üzən təbəqəsinin vahidliyini pozacaq və nəticədə linza üyütmə dəqiqliyinin və səth qüsurlarının azalmasına səbəb olacaq. Buna görə də, iş mühitinin nisbi rütubətini 40%-60% rütubət arasında idarə etmək lazımdır. Müəssisələr rütubəti real vaxt rejimində izləmək və idarə etmək, dəqiq qranit əsas üçün uyğun rütubət mühiti yaratmaq və dəqiq statik təzyiqli hava üzən hərəkət platformasının sabit işləməsini təmin etmək üçün nəmləndiricilərdən, rütubət sensorlarından və digər avadanlıqlardan istifadə edə bilərlər.
3. təmizlik: ciddi nəzarət, hissəciklərin müdaxiləsini aradan qaldırmaq
Toz hissəcikləri dəqiq statik təzyiqli hava üzən hərəkət platformasının "düşməni"dir və qranit dəqiq bazaya böyük zərər verir. Kiçik hissəciklər qaz üzən sürgü ilə qranit bazası arasındakı qaz filmi boşluğuna daxil olduqdan sonra qaz filminin vahidliyini poza, sürtünməni artıra və hətta bazanın səthini cıza bilər ki, bu da platforma hərəkətinin dəqiqliyinə ciddi təsir göstərir. Aerokosmik hissələrin ultra dəqiq emal emalatxanasında, havadakı toz hissəcikləri qranit bazasına düşərsə, emal alətinin hərəkət trayektoriyası sapıla bilər ki, bu da hissələrin emal dəqiqliyinə təsir göstərir. Buna görə də, iş sahəsi yüksək dərəcədə təmiz saxlanılmalı və 10.000 və ya daha yüksək təmizlik standartına çatmalıdır. Müəssisələr yüksək səmərəli hava filtrləri (HEPA) quraşdıraraq havadakı toz hissəciklərini süzə bilər və insanların gətirdiyi tozu azaltmaq və qranit bazasının və dəqiq statik təzyiqli hava üzən hərəkət platformasının yüksək dəqiqlikli iş mühitini qorumaq üçün işçilərdən tozsuz geyim, ayaqqabı örtüyü və s. geyinmələrini tələb edə bilərlər.
4. Vibrasiya: Hamar bir məkan yaratmaq üçün effektiv izolyasiya
Xarici vibrasiya, dəqiq statik təzyiqli hava üzən platformanın dəqiqliyinə ciddi şəkildə mane olacaq, baxmayaraq ki, dəqiq qranit bazası müəyyən bir vibrasiya zəifləmə qabiliyyətinə malikdir, lakin yüksək güclü vibrasiya yenə də onun bufer limitini poza bilər. Zavod ətrafındakı nəqliyyat və böyük mexaniki avadanlıqların işləməsi nəticəsində yaranan vibrasiya yer vasitəsilə qranit bazasına ötürülür ki, bu da platforma hərəkətinin dəqiqliyinə mane olacaq. Yüksək səviyyəli CMM-də vibrasiya ölçmə zondu ilə ölçülən iş parçası arasındakı təmasın qeyri-sabit olmasına səbəb ola bilər və bu da ölçmə məlumatlarının sapmasına səbəb ola bilər. Bu problemi həll etmək üçün avadanlıqların quraşdırılması sahəsində vibrasiya izolyasiya yastıqlarının çəkilməsi, vibrasiya izolyasiya təməlinin qurulması və ya xarici vibrasiyanı aktiv şəkildə kompensasiya etmək üçün aktiv vibrasiya izolyasiya sistemindən istifadə etmək və qranit dəqiq bazası və dəqiq statik təzyiqli hava üzən hərəkət platforması üçün sakit və sabit iş mühiti yaratmaq kimi effektiv vibrasiya izolyasiya tədbirləri görmək lazımdır.
Dəqiq statik təzyiqli hava üzən hərəkət platformasında qranit dəqiq bazanın üstünlüklərindən tam istifadə etmək və platformanın müxtəlif sənaye sahələri üçün yüksək dəqiqlikli və yüksək sabitlikli hərəkət nəzarəti xidmətləri göstərməsini təmin etmək üçün yuxarıda göstərilən ətraf mühit tələblərinə cavab verin. Müəssisələr istehsal mühitində bu detallara diqqət yetirə bilsələr, dəqiq istehsal, elmi tədqiqat və digər sahələrdə fürsətdən istifadə edəcək, rəqabət qabiliyyətini artıracaq və davamlı inkişafa nail olacaqlar.
Yazı vaxtı: 10 aprel 2025