Qranit platforması, dəqiq ölçmə və emal üçün istinad aləti olaraq, onun düzgünlüyünə qulluq birbaşa istehsal keyfiyyətinə təsir göstərir. Aşağıda platformanın uzun müddət nanometr səviyyəsində dəqiqliyini təmin etmək üçün ətraf mühitə nəzarət, gündəlik texniki qulluq və peşəkar kalibrləməni əhatə edən sistematik texniki xidmət planı təqdim olunur.
1. Ətraf Mühitə Nəzarət: Dəqiq qorunma baryeri qurun
Temperatur və rütubətin idarə edilməsi
İş mühitinin temperaturu 20±1℃ səviyyəsində sabitləşdirilməlidir. Hər 1℃ dalğalanma 0,5-1μm/m-də qranit platformasının istilik deformasiyasına səbəb olacaq. Kondisioner çıxışlarının birbaşa platformaya üfürməsinin qarşısını almaq üçün emalatxanada sabit temperatur sistemi quraşdırıla bilər.
Rütubət 40% ilə 60% arasında nəzarət edilməlidir. Həddindən artıq rütubət asanlıqla metal hissələrin paslanmasına səbəb ola bilər, çox aşağı rütubət isə ölçmə zamanı statik elektrik müdaxiləsinə səbəb ola bilər.
Vibrasiya izolyasiyası
Platforma ştamplama maşınları və freze maşınları kimi vibrasiya mənbələrindən uzaq tutulmalıdır. Vibrasiya avadanlığından 3 metrdən çox məsafə saxlamaq tövsiyə olunur.
Vibrasiyanın qarşısını almaq mümkün olmadıqda, platformanın düzlüyünə ətraf mühitin vibrasiyasının təsirini azaltmaq üçün platformanın aşağı hissəsində pnevmatik yaylı amortizatorlar quraşdırıla bilər (bu, xarici vibrasiyanı 80%-dən çox azalda bilər).
2. Gündəlik Baxım: Təmizləmədən qorunmaya qədər ciddi nəzarət
Səthin təmizlənməsi spesifikasiyası
Tozun təmizlənməsi: Toz hissəciklərinin (≥5μm) platformanı cızmasının qarşısını almaq üçün səthi maral dərisi və ya tüysüz parça ilə hər gün eyni istiqamətdə silin. İnadkar ləkələri susuz etanol (təmizlik ≥99,7%) ilə yumşaq bir şəkildə silmək olar. Aseton kimi güclü həlledicilərdən istifadə edilməməlidir.
Yağdan təmizləmə: Əgər yağ ləkələri ilə təmasda olarsa, onu seyreltilmiş neytral təmizləyici ilə silin, sonra deionlaşdırılmış su ilə yuyun və mineral yağın platformanın kiçik məsamələrinə nüfuz etməməsi üçün hava ilə qurudun.
Yükdən və toqquşmadan qorunma
Yerli həddindən artıq yüklənmə nəticəsində yaranan daimi deformasiyanın qarşısını almaq üçün platformanın daşıma qabiliyyəti nominal yükün 70%-i daxilində idarə olunmalıdır (məsələn, 1000 kq-lıq platforma üçün yükün ≤ 700 kq olması tövsiyə olunur).
İş parçalarına platformaya vurmaq qəti qadağandır. Alətlərlə işləyərkən iti əşyaların səthi cızmasının qarşısını almaq üçün yumşaq əlcəklər geyin (dərinliyi 20μm-dən çox olan cızıqlar əks olunan işıq yolunun ölçülməsinə təsir edəcək).
3. Peşəkar Kalibrləmə: Elmi cəhətdən dəqiqliyin əsası
Kalibrləmə dövrü təyini
Ənənəvi istifadə ssenariləri: Hər rübdə bir dəfə kalibrləyin və düzlük aşkar etmək üçün lazer interferometrindən istifadə edin (±0,5μm/m dəqiqliklə).
Yüksək tezlikli istifadə və ya sərt mühitlər: Aylıq kalibrləmə, temperatura həssas ərazilərin (məsələn, istilik mənbələrinin yaxınlığındakı platformanın kənarı kimi) monitorinqinə diqqət yetirməklə.
Kalibrləmə sonrası emal
Düzlük sapması aşkar edilərsə (məsələn, > ±1μm/m), o, W1.5 mikro-tozundan istifadə edərək peşəkar texnik tərəfindən üyüdülməli və təmir edilməlidir. Zımpara ilə özünü üyütmək qəti qadağandır.
Kalibrləmədən sonra məlumatlar qeydə alınmalı və arxivləşdirilməli və texniki xidmət tələblərini əvvəlcədən proqnozlaşdırmaq üçün platformanın dəqiqliyinin zəifləməsi əyrisi qurulmalıdır.
4. Saxlama və Daşınma: Gizli dəqiqlik itkisindən çəkinin
Uzunmüddətli saxlama üçün əsas məqamlar
Saxlama zamanı nəm və toz keçirməyən örtüklə örtülməlidir. Qravitasiya nəticəsində yaranan əyilmə deformasiyasının qarşısını almaq üçün dibi üç nöqtə ilə dəstəklənməlidir (dəstək nöqtəsi platformanın uzunluğunun 2/9 hissəsində yerləşir) (uzunmüddətli tək nöqtəli dayaq nəticəsində 1 metrlik platforma 0,3 μm əyilə bilər).
Uzunmüddətli yerli təzyiqdən qaçmaq üçün platformanın dəstək nöqtələrinin mövqeyini müntəzəm olaraq (aylıq) köçürün.
Nəqliyyatın mühafizəsi planı
Qısa məsafəyə daşınma: Zərbə uducu köpüklə sarın, sərt çərçivəyə bərkidin və sürəti 2 q daxilində saxlayın.
Uzun məsafələrə daşınma: Vakuumla qablaşdırılmalı və quru azotla doldurulmalıdır. Gəldikdən sonra, kondensasiya suyunun dəqiqliyə təsir göstərməməsi üçün qablaşdırmadan çıxarmazdan əvvəl temperatur tarazlığa çatana qədər 24 saat dayanmalıdır.
5. Arızanın proqnozlaşdırılması: İlkin problemlərin müəyyən edilməsi üsulları
Vizual yoxlama: Səthi müntəzəm olaraq 40x böyüdücü şüşə ilə müşahidə edin. Davamlı cızıqlar və ya parıltının əhəmiyyətli dərəcədə azalması aşkar edilərsə, bu, dəqiqliyin azalmasına işarə edə bilər.
Səsin aşkarlanması: platformaya yumşaq bir şəkildə vurun. Səs boğulursa (normalda aydın səs olmalıdır), içəridə mikro çatlar ola bilər. Aşkar etmək üçün dərhal istifadəni dayandırın.
Bu texniki xidmət sistemi vasitəsilə ZHHIMG® qranit platforması 10 il ərzində ±1μm/m düzlüyünü saxlaya bilir ki, bu da düzgün saxlanılmayan platformaların dəqiqlik müddətindən üç dəfədən artıqdır. Təcrübə sübut etdi ki, müəyyən bir yarımkeçirici fabriki bu həlli qəbul etdikdən sonra platformanın kalibrlənməsi tezliyi 50% azaldı və illik texniki xidmət xərcləri 150.000 yuandan çox qənaət edildi.
Göndərmə vaxtı: 18 iyun 2025-ci il