Yarımkeçirici istehsalında dəqiqlik inqilabı: Qranit mikron texnologiyası ilə qarşılaşdıqda
1.1 Materialşünaslıqda gözlənilməz kəşflər
SEMI Beynəlxalq Yarımkeçiricilər Assosiasiyasının 2023-cü il hesabatına görə, dünyanın qabaqcıl fabriklərinin 63%-i ənənəvi metal platformalar əvəzinə qranit əsaslardan istifadə etməyə başlayıb. Yer kürəsinin dərinliklərindəki maqma kondensasiyasından qaynaqlanan bu təbii daş, özünəməxsus fiziki xüsusiyyətlərinə görə yarımkeçirici istehsalının tarixini yenidən yazır:
Termal ətalət üstünlüyü: qranitin 4.5×10⁻⁶/℃ istilik genişlənmə əmsalı paslanmayan poladın istilik genişlənmə əmsalının yalnız 1/5 hissəsidir və litoqrafiya maşınının davamlı işində ±0.001 mm ölçülü sabitlik qorunur.
Vibrasiya söndürmə xüsusiyyətləri: daxili sürtünmə əmsalı çuqundan 15 dəfə yüksəkdir və avadanlıq mikrovibrasiyasını effektiv şəkildə udur
Sıfır maqnitləşmə təbiəti: lazer ölçməsindəki maqnit səhvini tamamilə aradan qaldırır
1.2 Məndən fabrikə metamorfoz səyahəti
Nümunə olaraq, ZHHIMG-nin Şandongdakı ağıllı istehsal bazasına baxsaq, xam qranit parçasının aşağıdakılara məruz qalması lazımdır:
Ultra dəqiq emal: 200 saat fasiləsiz freze üçün beş oxlu əlaqə emalı mərkəzi, səth pürüzlülüyü Ra0.008μm-ə qədər
Süni yaşlanma müalicəsi: Sabit temperatur və rütubət emalatxanasında 48 saat təbii stress azadlığı, məhsulun sabitliyini 40% artırır
İkincisi, yarımkeçirici istehsalının "qaya məhlulu"nun altı dəqiqlik problemini həll edin
2.1 Lövhənin parçalanma sürətinin azaldılması sxemi
Nümunə nümunəsi: Almaniyada yonqar tökmə zavodu qazla üzən qranit platformamızı istifadəyə verdikdən sonra:
| Vafli diametri | çip sürətinin azaldılması | düzlük yaxşılaşdırılması |
| 12 düym | 67% | ≤0.001 mm |
| 18 düym | 82% | ≤0.0005 mm |
2.2 Litoqrafik uyğunlaşdırma dəqiqliyinin irəliləyiş sxemi
Temperatur kompensasiya sistemi: quraşdırılmış keramika sensoru forma dəyişkənini real vaxt rejimində izləyir və platformanın meylini avtomatik olaraq tənzimləyir
Ölçülmüş məlumatlar: 28℃±5℃ dalğalanması altında yerləşdirmə dəqiqliyi 0,12μm-dən az dəyişir
Yazı vaxtı: 24 Mart 2025