Yarımkeçiricilər istehsalında dəqiq inqilab: qranit mikron texnologiyasına cavab verdikdə
1.1 Materialşünaslıqda gözlənilməz kəşflər
SEMI Beynəlxalq Yarımkeçiricilər Assosiasiyasının 2023-cü il hesabatına görə, dünyanın qabaqcıl fablarının 63%-i ənənəvi metal platformalar əvəzinə qranit bazalardan istifadə etməyə başlayıb. Yerin dərinliklərində maqma kondensasiyası nəticəsində yaranan bu təbii daş unikal fiziki xüsusiyyətlərinə görə yarımkeçirici istehsalının tarixini yenidən yazır:
Termal ətalət üstünlüyü: 4,5 × 10⁻⁶/℃ qranit istilik genişlənmə əmsalı paslanmayan poladdan yalnız 1/5-dir və litoqrafiya maşınının davamlı işində ±0,001 mm ölçülü sabitlik qorunur.
Vibrasiya sönümləmə xüsusiyyətləri: daxili sürtünmə əmsalı çuqundan 15 dəfə yüksəkdir, avadanlıqların mikro vibrasiyasını effektiv şəkildə udur.
Sıfır maqnitləşmə xarakteri: lazer ölçmədə maqnit xətasını tamamilə aradan qaldırın
1.2 Mədəndən fab-a metamorfoz səyahəti
ZHHIMG-nin Şandunqdakı ağıllı istehsal bazasını nümunə götürsək, bir parça xam qranit keçməlidir:
Ultra dəqiq emal: 200 saat fasiləsiz frezeleme üçün beş oxlu keçid emal mərkəzi, Ra0.008μm-ə qədər səth pürüzlülüyü
Süni yaşlanma müalicəsi: məhsulun dayanıqlığını 40% yaxşılaşdıran sabit temperatur və rütubət emalatxanasında 48 saatlıq təbii stress azadlığı
İkincisi, yarımkeçirici istehsalının altı dəqiq problemini həll edin "rok həlli"
2.1 Gofretin parçalanma dərəcəsinin azaldılması sxemi
Nümunə nümayişi: Almaniyadakı çip tökmə zavodu bizim qazla üzən qranit platformamızı qəbul etdikdən sonra:
| Vafli diametri | çip dərəcəsinin azalması | düzlüyün yaxşılaşdırılması |
| 12 düym | 67% | ≤0,001 mm |
| 18 düym | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 Litoqrafik düzülmə dəqiqliyinin irəliləmə sxemi
Temperatur kompensasiyası sistemi: quraşdırılmış keramika sensoru real vaxtda forma dəyişkənliyinə nəzarət edir və platformanın meylini avtomatik tənzimləyir
Ölçülmüş məlumatlar: 28 ℃ ± 5 ℃ dalğalanma altında, yerləşdirmə dəqiqliyi 0,12 μm-dən az dəyişir
Göndərmə vaxtı: 24 mart 2025-ci il