Dəqiq istehsal və elmi tədqiqat sahələrində qranit dəqiq platformaların düz olması avadanlıqların düzgünlüyünü təmin etmək üçün əsas göstəricidir. Aşağıda sizin üçün bir neçə əsas aşkarlama metodları və onların əməliyyat prosedurları haqqında ətraflı məlumat verilmişdir. .
I. Lazer interferometrinin aşkarlanması üsulu
Lazer interferometri yüksək dəqiqliklə düzlüyün aşkarlanması üçün seçilən alətdir. Nümunə olaraq ZYGO GPI XP lazer interferometrini götürək, onun ayırdetmə qabiliyyəti 0,1 nm-ə çata bilər. Aşkarlama apararkən, əvvəlcə interferometrin işıq mənbəyini platformaya uyğunlaşdırın və platformanın səthini 50mm×50mm şəbəkə sahələrinə bölün. Daha sonra, müdaxilə saçaq məlumatları nöqtə-nöqtə toplandı və məlumatlar düzlük xətasını əldə etmək üçün Zernike polinomundan istifadə edərək uyğunlaşdırıldı və təhlil edildi. Bu üsul yüksək dəqiqlikli platformalara şamil edilir və ≤0,5μm/m² düzlük xətalarını aşkarlaya bilir. O, adətən fotolitoqrafiya maşınlarının və yüksək səviyyəli üç koordinatlı ölçmə maşını platformalarının aşkarlanmasında istifadə olunur. .
II. Elektron səviyyəli massiv metodu
Elektron səviyyəli massiv aşkarlanması sadədir və yüksək səmərəlidir. TESA A2 elektron səviyyəsi (0,01μm/m ayırdetmə qabiliyyəti ilə) seçilmiş və platformanın X/Y oxu istiqamətində 9×9 massivində yerləşdirilmişdir. Hər səviyyənin meyl məlumatlarını sinxron şəkildə toplamaq və sonra hesablama üçün ən kiçik kvadrat metodundan istifadə etməklə düzlük dəyərini dəqiq şəkildə əldə etmək olar. Bu üsul platformanın yerli qabarıqlıq və qabarıqlıq şəraitini effektiv şəkildə müəyyən edə bilər. Məsələn, 50 mm diapazonda 0,2μm dalğalanma da aşkar edilə bilər ki, bu da kütləvi istehsalda sürətli aşkarlama üçün əlverişlidir. .
Iii. Optik Yastı Kristal Metod
Optik düz kristal üsulu kiçik sahəli platformaların aşkarlanması üçün uyğundur. Optik yastı kristalı platformada sınaqdan keçiriləcək səthə möhkəm yapışdırın və monoxromatik işıq mənbəyinin (məsələn, natrium lampasının) işıqlandırılması altında onların arasında yaranan müdaxilə saçaqlarını müşahidə edin. Zolaqlar paralel düz zolaqlardırsa, bu, yaxşı düzlükdən xəbər verir. Əyri zolaqlar görünsə, zolağın əyrilik dərəcəsinə əsasən düzlük xətasını hesablayın. Hər bir əyri zolaq 0,316μm hündürlük fərqini təmsil edir və düzlük məlumatları sadə çevrilmə yolu ilə əldə edilə bilər. .
dörd. Üç koordinatlı ölçmə maşını Təftiş üsulu
Üç koordinatlı ölçmə maşını üçölçülü məkanda yüksək dəqiqliklə ölçməyə nail ola bilər. Qranit platformasını ölçmə maşınının iş masasına qoyun və platformanın səthindəki çoxsaylı ölçmə nöqtələrindən məlumatları bərabər şəkildə toplamaq üçün zonddan istifadə edin. Ölçmə maşını sistemi platformanın düzlük hesabatını yaratmaq üçün bu məlumatları emal edir və təhlil edir. Bu üsul təkcə yastılığı aşkar etməklə yanaşı, platformanın digər həndəsi parametrlərini də eyni vaxtda əldə edə bilir və iri qranit platformalarının hərtərəfli aşkarlanması üçün əlverişlidir. .
Bu aşkarlama üsullarının mənimsənilməsi qranit dəqiq platformasının düzlüyünü dəqiq qiymətləndirməyə kömək edə bilər və dəqiq avadanlıqların sabit işləməsi üçün etibarlı təminat təmin edə bilər.
Göndərmə vaxtı: 29 may 2025-ci il