Yüksək səviyyəli istehsal və qabaqcıl elmi tədqiqatlar sahəsində, hava floatının ultra dəqiqlikli hərəkət modulu əla dəqiq performansı ilə incə əməliyyat və ölçmə üçün əsas avadanlıq halına gəldi. Qranit dəqiq bazası, dəstək nüvəsi olaraq, iş mühiti üçün ciddi tələblərə malikdir və uyğun ətraf mühit şəraiti onun sabit işləməsini və ən yaxşı təsirini təmin etmək üçün əsasdır.
Birincisi, temperatur nəzarəti: dəqiq "stabilizator"
Qranit sabitliyi ilə tanınsa da, temperaturun dəyişməsinə qarşı tam immun deyil. Onun istilik genişlənmə əmsalı aşağı olsa da, ümumiyyətlə 5-7 ×10⁻⁶/℃, ultra dəqiqlikli hərəkətə nəzarət ssenarilərində, incə temperatur dalğalanmaları hələ də ölçü dəyişikliklərinə səbəb ola və modulun dəqiqliyinə təsir göstərə bilər. Yarımkeçirici çip istehsalı emalatxanasında litoqrafiya prosesi danami səviyyəli yerləşdirmə dəqiqliyini tələb edir və ətraf mühitin temperaturu 1 ° C dəyişir və yan uzunluğu 1 metr olan qranit bazası 5-7 mikron xətti genişlənmə və ya daralma yarada bilər. Bu kiçik dəyişiklik, çip litoqrafiya naxışının sapmasını etmək və məhsuldarlığı əhəmiyyətli dərəcədə azaltmaq üçün kifayət edən hava floatının ultra dəqiqlikli hərəkət modulu tərəfindən ötürülür. Buna görə də, hava üzən ultra-dəqiq hərəkət modulunun qranit həssas bazası ilə təchiz olunmuş, ideal iş mühitinin temperaturu 20 ° C ± 1 ° C səviyyəsində idarə olunmalıdır, sabit temperatur və rütubətli kondisioner sistemi, ətraf mühitin temperaturunun davamlı monitorinqi və tənzimlənməsi kimi yüksək dəqiqlikli sabit temperatur avadanlığının köməyi ilə, modulun ölçüsündə çox kiçik dalğalanmaların saxlanmasını təmin etmək. yüksək dəqiqlikli əməliyyat.
İkincisi, rütubətin idarə edilməsi: nəmə davamlı qorunma açarı "daş"
Rütubət dəqiq qranit bazanın işinə təsir edən digər vacib amildir. Yüksək rütubətli bir mühitdə qranit su buxarını udmaq asandır, bu da səthdə kondensasiyaya səbəb ola bilər ki, bu da yalnız qranit və hava floatının ultra dəqiq hərəkət modulunun əlaqə sabitliyinə təsir göstərmir, həm də səthin aşınmasına səbəb ola bilər və uzun müddətdə parıltı və dəqiqliyi azalda bilər. Optik linzaların üyüdülməsi emalatxanasında, rütubət uzun müddət 60% RH-dən yüksək olarsa, qranit bazanın səthində adsorbsiya olunan su buxarı qaz sürüşmə sürüşməsinin hərəkətinə mane olacaq, beləliklə lens üyütmə dəqiqliyi azalır və səth qüsurlu olur. Buna görə, iş mühitinin nisbi rütubəti 40% -60% RH arasında ciddi şəkildə nəzarət edilməlidir, yüksək rütubət səbəbindən qranit bazasına zərər verməmək üçün nəmləndiricilər, rütubət sensorları və digər avadanlıqların quraşdırılması ilə real vaxt rejimində izlənilə və tənzimlənə bilər və hava floatının ultra dəqiq hərəkət modulunun düzgün işləməsini təmin edir.
Üçüncüsü, təmizliyə zəmanət: dəqiqliyin "qeydiyyatçısı"
Toz hissəciklərinin hava flotasiyasının ultra dəqiqlikli hərəkət modulunun dəqiq qranit bazasına zərəri qiymətləndirilə bilməz. Xırda hissəciklər qaz üzən sürgü ilə qranit baza arasındakı qaz filmi boşluğuna daxil olduqdan sonra onlar qaz filminin vahidliyini poza, sürtünməni artıra və hətta bazanın səthini cızaraq hərəkətin dəqiqliyini aşağı sala bilər. Aerokosmik hissələrin ultra dəqiq emal emalatxanasında, havadakı toz hissəcikləri qranit bazaya düşərsə, emal alətinin hərəkət trayektoriyası kənara çıxa bilər və hissələrin emal dəqiqliyinə təsir göstərə bilər. Odur ki, iş sahəsi yüksək effektivliyə malik hava filtrləri (HEPA) kimi hava təmizləyici avadanlıqların quraşdırılması yolu ilə yüksək səviyyədə təmiz saxlanılmalı, 10.000 və hətta daha yüksək təmizlik standartlarına çatdırılmalı, havadakı toz hissəciklərini süzgəcdən keçirməli, eyni zamanda insanların gətirdiyi tozu azaltmaq üçün işçilər tozsuz paltar, ayaqqabı örtüyü və s. geyinməlidirlər. Qranit bazası və hava üzən ultra dəqiq hərəkət modulunun yüksək dəqiqlikli iş mühitini qoruyun.
Dördüncü, vibrasiya izolyasiyası: "zərbə yastığının" hamar işləməsi
Xarici vibrasiya hava floatının ultra dəqiqlikli hərəkət modulunun dəqiqliyinin düşmənidir. Dəqiq qranit baza müəyyən vibrasiya zəifləmə qabiliyyətinə malik olsa da, yüksək güclü vibrasiya hələ də tampon həddini poza bilər. Fabrik ətrafında nəqliyyatın hərəkəti və böyük mexaniki avadanlıqların işləməsi nəticəsində yaranan vibrasiya yer vasitəsilə qranit bazaya ötürülür ki, bu da hava floatının ultra dəqiqlikli hərəkət modulunun hərəkət dəqiqliyinə mane olacaq. Yüksək səviyyəli CMM-də vibrasiya ölçmə zondu ilə ölçülən iş parçası arasındakı kontaktın qeyri-sabit olmasına səbəb ola bilər ki, bu da ölçmə məlumatlarının kənara çıxması ilə nəticələnə bilər. Bu problemi həll etmək üçün avadanlığın quraşdırılması sahəsində vibrasiya izolyasiyası üçün yastıqların qoyulması, vibrasiya izolyasiya təməlinin qurulması və ya xarici vibrasiyanı aktiv şəkildə kompensasiya etmək üçün aktiv vibrasiya izolyasiya sistemindən istifadə kimi effektiv vibrasiya izolyasiyası tədbirlərini qəbul etmək və qranit dəqiqlik bazası və ultra həssas hərəkət modulu üçün sakit və sabit iş mühiti yaratmaq lazımdır.
Yalnız temperatur, rütubət, təmizlik və vibrasiya nəzarəti ilə bağlı ekoloji tələblərə tam cavab verməklə, hava floatının ultra-dəqiq hərəkət modulunun qranit dəqiqlik bazası onun performans üstünlüklərinə tam oyun verə bilər, müxtəlif sahələrdə ultra dəqiq əməliyyatlar üçün etibarlı zəmanət verə bilər və sənayenin daha yüksək dəqiqlikli istehsal və elmi tədqiqat səviyyəsinə doğru irəliləməsinə kömək edə bilər.
Göndərmə vaxtı: 08 aprel 2025-ci il