Yüksək səviyyəli istehsal və qabaqcıl elmi tədqiqatlar sahəsində hava üzgəcinin ultra dəqiq hərəkət modulu əla dəqiqlik göstəriciləri ilə incə işləmə və ölçmə üçün əsas avadanlıq halına gəlmişdir. Dəstək nüvəsi kimi qranit dəqiqlik bazası iş mühiti üçün ciddi tələblərə malikdir və uyğun ətraf mühit şəraiti onun sabit işləməsini və ən yaxşı təsirini təmin etmək üçün əsasdır.
Birincisi, temperatur nəzarəti: dəqiq "stabilizator"
Qranit sabitliyi ilə tanınsa da, temperatur dəyişikliklərinə tamamilə qarşı immunitetli deyil. İstilik genişlənmə əmsalı aşağı olsa da, ümumiyyətlə 5-7 × 10⁻⁶/℃, ultra dəqiq hərəkət idarəetmə ssenarilərində incə temperatur dalğalanmaları hələ də ölçülü dəyişikliklərə səbəb ola və modul dəqiqliyinə təsir göstərə bilər. Yarımkeçirici çip istehsal emalatxanasında litoqrafiya prosesi danami səviyyəsində yerləşdirmə dəqiqliyi tələb edir və ətraf mühitin temperaturu 1 ° C dəyişir və yan uzunluğu 1 metr olan qranit bazası 5-7 mikron xətti genişlənmə və ya daralma yarada bilər. Bu kiçik dəyişiklik hava üzgəcinin ultra dəqiq hərəkət modulu tərəfindən ötürülür ki, bu da çip litoqrafiyası nümunəsinin sapmasını təmin etmək və məhsuldarlığı xeyli azaltmaq üçün kifayətdir. Buna görə də, havada üzən ultra dəqiq hərəkət modulunun qranit dəqiq bazası ilə təchiz olunmuş ideal iş mühiti temperaturu 20 ° C ± 1 ° C səviyyəsində idarə olunmalı, sabit temperatur və rütubət kondisioner sistemi kimi yüksək dəqiqlikli sabit temperatur avadanlıqlarının köməyi ilə ətraf mühitin temperaturunun davamlı monitorinqi və tənzimlənməsi aparılmalıdır ki, bu da temperatur dalğalanmalarının çox kiçik bir diapazonda olmasını, baza ölçüsünün sabitliyini qorumasını və modulun yüksək dəqiqlikli işləməsini təmin etsin.
İkincisi, rütubətin idarə olunması: nəmə davamlı "daş" qorumasının açarı
Rütubət dəqiq qranit əsasının işinə təsir edən digər vacib amildir. Yüksək rütubət mühitində qranit su buxarını asanlıqla udur və bu, səthdə kondensasiyaya səbəb ola bilər ki, bu da yalnız qranitin və hava üzgəcinin ultra dəqiq hərəkət modulunun birləşmə sabitliyinə təsir etmir, həm də səth eroziyasına səbəb ola və uzun müddətdə parıltı və dəqiqliyi azalda bilər. Optik linza üyütmə emalatxanasında, rütubət uzun müddət 60%-dən yüksək olarsa, qranit əsasının səthində adsorbsiya olunmuş su buxarı qaz üzgəci sürgüsünün hərəkətinə mane olacaq və nəticədə linza üyütmə dəqiqliyi azalacaq və səth qüsurlu olacaq. Buna görə də, iş mühitinin nisbi rütubəti 40%-60% RH arasında ciddi şəkildə idarə olunmalıdır ki, bu da yüksək rütubət səbəbindən qranit əsasına zərər verməmək üçün nəmləndiricilər, rütubət sensorları və digər avadanlıqlar quraşdırmaqla real vaxt rejimində izlənilə və tənzimlənə bilər və hava üzgəcinin ultra dəqiq hərəkət modulunun rahat işləməsini təmin edə bilər.
Üçüncüsü, təmizlik zəmanəti: dəqiqliyin "qəyyumu"
Hava flotasiyasının ultra dəqiq hərəkət modulunun dəqiq qranit bazasına toz hissəciklərinin zərərini qiymətləndirməmək olmaz. Kiçik hissəciklər qaz üzən sürgü ilə qranit bazası arasındakı qaz filmi boşluğuna daxil olduqdan sonra qaz filminin vahidliyini poza, sürtünməni artıra və hətta bazanın səthini cıza bilər və nəticədə hərəkət dəqiqliyi azala bilər. Aerokosmik hissələrin ultra dəqiq emal emalatxanasında havadakı toz hissəcikləri qranit bazasına düşərsə, emal alətinin hərəkət trayektoriyası sapıla bilər və bu da hissələrin emal dəqiqliyinə təsir göstərir. Buna görə də, iş sahəsi yüksək səmərəli hava filtrləri (HEPA) kimi hava təmizləyici avadanlıqların quraşdırılması yolu ilə yüksək təmizlik standartlarına çatmaqla yüksək səviyyədə təmiz saxlanılmalı, havadakı toz hissəciklərini süzməlidir, eyni zamanda işçilər insanların gətirdiyi tozu azaltmaq üçün tozsuz geyim, ayaqqabı örtüyü və s. geyinməlidirlər. Qranit bazasının və hava üzən ultra dəqiq hərəkət modulunun yüksək dəqiqlikli iş mühitini qoruyun.
Dördüncüsü, vibrasiya izolyasiyası: "şok yastığı"nın hamar işləməsi
Xarici vibrasiya hava üzgəcinin ultra dəqiq hərəkət modulunun dəqiqliyinin düşmənidir. Dəqiq qranit bazası müəyyən bir vibrasiyanı azaltma qabiliyyətinə malik olsa da, yüksək güclü vibrasiya yenə də bufer limitini poza bilər. Zavod ətrafındakı nəqliyyat və böyük mexaniki avadanlıqların işləməsi nəticəsində yaranan vibrasiya torpaq vasitəsilə qranit bazasına ötürülür ki, bu da hava üzgəcinin ultra dəqiq hərəkət modulunun hərəkət dəqiqliyinə mane olacaq. Yüksək səviyyəli CMM-də vibrasiya ölçmə zondu ilə ölçülən iş parçası arasındakı təmasın qeyri-sabit olmasına səbəb ola bilər və bu da ölçmə məlumatlarının sapmasına səbəb ola bilər. Bu problemi həll etmək üçün avadanlıqların quraşdırılması sahəsində vibrasiya izolyasiya yastıqlarının çəkilməsi, vibrasiya izolyasiya təməlinin qurulması və ya xarici vibrasiyanı aktiv şəkildə kompensasiya etmək üçün aktiv vibrasiya izolyasiya sistemindən istifadə etmək və qranit dəqiq bazası və hava üzgəcinin ultra dəqiq hərəkət modulu üçün sakit və sabit iş mühiti yaratmaq kimi effektiv vibrasiya izolyasiya tədbirləri görmək lazımdır.
Yalnız temperatur, rütubət, təmizlik və vibrasiya nəzarəti kimi ətraf mühit tələblərinə tam cavab verməklə, hava üzgəcinin ultra dəqiq hərəkət modulunun qranit dəqiq bazası onun performans üstünlüklərindən tam istifadə edə, müxtəlif sahələrdə ultra dəqiq əməliyyatlar üçün etibarlı zəmanət verə və sənayenin daha yüksək dəqiqlikli istehsal və elmi tədqiqat səviyyəsinə doğru irəliləməsinə kömək edə bilər.
Yazı vaxtı: 08 Aprel 2025