.
Yarımkeçiricilərin istehsalı sahəsində, çip istehsalı prosesinin dəqiqliyini təyin edən əsas avadanlıq kimi, fotolitoqrafiya maşınının daxili mühitinin sabitliyi həyati əhəmiyyət kəsb edir. Həddindən artıq ultrabənövşəyi işıq mənbəyinin həyəcanlanmasından tutmuş nanoölçülü dəqiq hərəkət platformasının işinə qədər hər bir keçiddə ən kiçik sapma ola bilməz. Bir sıra unikal xüsusiyyətlərə malik qranit əsasları fotolitoqrafiya maşınlarının sabit işləməsini təmin etmək və fotolitoqrafiya dəqiqliyini artırmaqda misilsiz üstünlüklər nümayiş etdirir. .
Görkəmli elektromaqnit qoruyucu performans
Fotolitoqrafiya maşınının daxili hissəsi mürəkkəb elektromaqnit mühiti ilə doludur. Həddindən artıq ultrabənövşəyi işıq mənbələri, sürücü mühərrikləri və yüksək tezlikli enerji təchizatı kimi komponentlər tərəfindən yaradılan elektromaqnit müdaxiləsi (EMİ) effektiv şəkildə idarə olunmazsa, avadanlıq daxilində dəqiq elektron komponentlərin və optik sistemlərin işinə ciddi təsir göstərəcək. Məsələn, müdaxilə fotolitoqrafiya nümunələrində kiçik sapmalara səbəb ola bilər. Qabaqcıl istehsal proseslərində bu, çipdə yanlış tranzistor birləşmələrinə səbəb olmaq üçün kifayətdir və çip məhsuldarlığını əhəmiyyətli dərəcədə azaldır. .
Qranit qeyri-metal materialdır və öz-özünə elektrik cərəyanını keçirmir. Metal materiallarda olduğu kimi içəridə sərbəst elektronların hərəkəti nəticəsində yaranan elektromaqnit induksiya fenomeni yoxdur. Bu xüsusiyyət onu daxili elektromaqnit müdaxiləsinin ötürülmə yolunu effektiv şəkildə bağlaya bilən təbii elektromaqnit qoruyucu orqanı edir. Xarici elektromaqnit müdaxilə mənbəyi tərəfindən yaradılan alternativ maqnit sahəsi qranit bazasına yayıldıqda, qranit qeyri-maqnit olduğundan və maqnitləşdirilə bilməz, alternativ maqnit sahəsinə nüfuz etmək çətindir və bununla da bazada quraşdırılmış fotolitoqrafiya maşınının əsas komponentlərini, məsələn, həssas sensorlar və elektromaqnit tənzimləmə cihazları və optik təsirlərdən qoruyur. fotolitoqrafiya prosesi zamanı naxışın ötürülməsinin dəqiqliyi. .
Əla vakuum uyğunluğu
Həddindən artıq ultrabənövşəyi şüalar (EUV) bütün maddələr, o cümlədən hava tərəfindən asanlıqla udulduğundan, EUV litoqrafiya maşınları vakuum mühitində işləməlidir. Bu nöqtədə, avadanlıq komponentlərinin vakuum mühiti ilə uyğunluğu xüsusilə vacib olur. Vakuumda materiallar əriyə, desorbsiya edə və qaz buraxa bilər. Buraxılan qaz yalnız EUV işığını udur, işığın intensivliyini və ötürmə səmərəliliyini azaldır, həm də optik linzaları çirkləndirə bilər. Məsələn, su buxarı linzaları oksidləşdirə bilər və karbohidrogenlər linzaların üzərinə karbon təbəqələrini yerləşdirə bilər ki, bu da litoqrafiyanın keyfiyyətinə ciddi təsir göstərir. .
Qranit sabit kimyəvi xüsusiyyətlərə malikdir və vakuum mühitində çətin ki, qaz buraxır. Peşəkar sınaqlara əsasən, simulyasiya edilmiş fotolitoqrafiya maşınının vakuum mühitində (məsələn, əsas kamerada işıqlandırma optik sisteminin və görüntüləmə optik sisteminin yerləşdiyi, H₂O < 10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ < 10⁻⁵ tələb edən ultra təmiz vakuum mühiti kimi) əsas göstərici son dərəcə aşağıdır. metallar kimi digər materiallarla müqayisədə. Bu, fotolitoqrafiya maşınının daxili hissəsini uzun müddət yüksək vakuum dərəcəsini və təmizliyi saxlamağa, ötürülmə zamanı EUV işığının yüksək keçiriciliyini və optik linzalar üçün ultra təmiz istifadə mühitini təmin etməyə, optik sistemin xidmət müddətini uzatmağa və fotolitoqrafiya maşınının ümumi performansını artırmağa imkan verir. .
Güclü vibrasiya müqaviməti və termal sabitlik
Fotolitoqrafiya prosesi zamanı nanometr səviyyəsində dəqiqlik fotolitoqrafiya maşınının ən kiçik vibrasiyaya və ya istilik deformasiyasına malik olmamasını tələb edir. Digər avadanlıqların işləməsi və emalatxanada personalın hərəkəti nəticəsində yaranan ekoloji vibrasiya, eləcə də iş zamanı fotolitoqrafiya maşınının özü tərəfindən istehsal olunan istilik fotolitoqrafiyanın dəqiqliyinə mane ola bilər. Qranit yüksək sıxlığa və sərt teksturaya malikdir və əla vibrasiya müqavimətinə malikdir. Onun daxili mineral kristal quruluşu yığcamdır, bu, vibrasiya enerjisini effektiv şəkildə zəiflədə bilər və vibrasiya yayılmasını sürətlə boğur. Eksperimental məlumatlar göstərir ki, eyni vibrasiya mənbəyi altında qranit baza 0,5 saniyə ərzində vibrasiya amplitüdünü 90% -dən çox azalda bilər. Metal baza ilə müqayisədə o, avadanlığın sabitliyini daha tez bərpa edə bilər, fotolitoqrafiya lensi ilə vafli arasında dəqiq nisbi mövqeyi təmin edir və vibrasiya nəticəsində yaranan naxışların bulanıqlığı və ya yanlış hizalanmasının qarşısını alır. .
Eyni zamanda, qranitlərin istilik genişlənmə əmsalı olduqca aşağıdır, təxminən (4-8) ×10⁻⁶/℃, bu metal materiallardan xeyli aşağıdır. Fotolitoqrafiya aparatının işləməsi zamanı işıq mənbəyindən istilik əmələ gəlməsi və mexaniki komponentlərdən sürtünmə kimi amillərə görə daxili temperatur dəyişsə belə, qranit bazası ölçü sabitliyini saxlaya bilir və istilik genişlənməsi və büzülməsi səbəbindən əhəmiyyətli deformasiyaya məruz qalmayacaq. O, fotolitoqrafiya dəqiqliyinin ardıcıllığını qoruyaraq optik sistem və dəqiq hərəkət platforması üçün sabit və etibarlı dəstək təmin edir.
Göndərmə vaxtı: 20 may-2025-ci il