Yarımkeçirici istehsalda fotolitoqrafiya maşını çiplərin dəqiqliyini təyin edən əsas cihazdır və qranit bazası çoxsaylı xüsusiyyətləri ilə fotolitoqrafiya maşınının əvəzsiz komponentinə çevrilmişdir.
İstilik sabitliyi: Temperatur Dəyişikliklərinə Qarşı "Qalxan"
Fotolitoqrafiya maşını işləyərkən böyük miqdarda istilik əmələ gətirir. Hətta yalnız 0,1 ℃ temperatur dəyişməsi avadanlıq komponentlərinin deformasiyasına səbəb ola bilər və fotolitoqrafiyanın dəqiqliyinə təsir göstərə bilər. Qranit istilik genişlənmə əmsalı olduqca aşağıdır, yalnız 4-8 × 10⁻⁶/℃, poladdan təxminən 1/3 və alüminium ərintisinin 1/5 hissəsidir. Bu, fotolitoqrafiya maşını uzun müddət işlədikdə və ya ətraf mühitin temperaturu dəyişdikdə, optik komponentlərin və mexaniki strukturların dəqiq yerləşdirilməsini təmin edərək, qranit bazaya ölçü sabitliyini saxlamağa imkan verir.
Super anti-vibrasiya performansı: Vibrasiyanı udan "süngər"
Yarımkeçirici fabrikdə ətrafdakı avadanlıqların işləməsi və insanların hərəkəti vibrasiya yarada bilər. Qranit yüksək sıxlığa və sərt teksturaya malikdir və sönümləmə nisbəti metallardan 2-5 dəfə yüksək olan əla sönümləmə xüsusiyyətlərinə malikdir. Xarici vibrasiyalar qranit bazasına ötürüldükdə, daxili mineral kristallar arasındakı sürtünmə vibrasiya enerjisini dağılma üçün istilik enerjisinə çevirir ki, bu da vibrasiyanı qısa müddətdə əhəmiyyətli dərəcədə azalda bilər, fotolitoqrafiya maşınına sabitliyi tez bir zamanda bərpa etməyə və vibrasiya səbəbindən fotolitoqrafiya nümunəsinin bulanıqlığından və ya yanlış hizalanmasından qaçmağa imkan verir.
Kimyəvi sabitlik: Təmiz Ətraf Mühitin "Qeydiyyatçısı"
Fotolitoqrafiya maşınının daxili hissəsi müxtəlif kimyəvi mühitlərlə təmasda olur və adi metal materiallar korroziyaya və ya hissəciklərin buraxılmasına meyllidir. Qranit kvars və feldispat kimi minerallardan ibarətdir. Sabit kimyəvi xüsusiyyətlərə və güclü korroziyaya davamlılığa malikdir. Turşu və qələvi məhlullara batırıldıqdan sonra səth korroziyası olduqca kiçikdir. Eyni zamanda, onun sıx strukturu demək olar ki, heç bir zibil və ya toz əmələ gətirmir, ən yüksək təmiz otaq standartlarının tələblərinə cavab verir və vafli çirklənmə riskini azaldır.
Emal uyğunluğu: Dəqiq meyarlar yaratmaq üçün "ideal material"
Fotolitoqrafiya maşınının əsas komponentləri yüksək dəqiqlikli istinad səthində quraşdırılmalıdır. Qranit daxili strukturu vahiddir və daşlama, cilalama və digər üsullarla son dərəcə yüksək dəqiqliyə qədər emal etmək asandır. Onun yastılığı ≤0.5μm/m-ə çata bilər və səthin pürüzlülüyü Ra ≤0.05μm-dir və optik linzalar kimi komponentlər üçün dəqiq quraşdırma əsasını təmin edir.
Uzun xidmət müddəti və baxım tələb olunmur: Xərcləri azaltmaq üçün "kəskin alətlər"
Uzun müddətli istifadə zamanı yorulmağa və çatlamağa meylli olan metal materiallarla müqayisədə, qranit normal yüklər altında çətin ki, plastik deformasiyaya və ya qırılmaya məruz qalır və səthi müalicə tələb etmir, beləliklə, örtük soyulması və çirklənmə riskindən qaçınır. Praktik tətbiqlərdə, uzun illər istifadə edildikdən sonra, qranit bazasının əsas performans göstəriciləri hələ də sabit qala bilər, avadanlıqların istismarı və texniki xidmət xərclərini azaldır.
Termal sabitlikdən, vibrasiya müqavimətindən kimyəvi təsirsizliyə qədər, qranit bazanın çoxsaylı xüsusiyyətləri fotolitoqrafiya maşınının tələblərinə mükəmməl cavab verir. Çip istehsalı prosesi daha yüksək dəqiqliyə doğru inkişaf etməyə davam etdikcə, qranit bazaları yarımkeçiricilər istehsalı sahəsində əvəzsiz rol oynamağa davam edəcək.
Göndərmə vaxtı: 20 may-2025-ci il