Yarımkeçiricilərin istehsalı emalatxanasında çip istehsalı prosesinin ətraf mühit şəraiti və avadanlıqların dəqiqliyi üçün tələbləri həddindən artıqdır və hər hansı bir cüzi sapma çip məhsuldarlığının əhəmiyyətli dərəcədə azalmasına səbəb ola bilər. XYZT dəqiqlikli portal hərəkət platforması nanoölçülü dəqiqliyə nail olmaq üçün möhkəm zəmin yaratmaq üçün platformanın digər hissələri ilə əməkdaşlıq etmək üçün qranit komponentlərinə əsaslanır.
Əla vibrasiya bloklama xüsusiyyətləri
Yarımkeçiricilərin istehsalı sexində periferik avadanlıqların işləməsi və ətrafda gəzən personal vibrasiyaya səbəb ola bilər. Qranit komponentlərinin daxili quruluşu sıx və vahiddir, səmərəli vibrasiya "maneəsi" kimi təbii yüksək sönümləmə xüsusiyyətlərinə malikdir. Xarici vibrasiya XYZT platformasına ötürüldükdə, qranit komponenti vibrasiya enerjisinin 80% -dən çoxunu effektiv şəkildə zəiflədə bilər və platformanın hərəkət dəqiqliyinə vibrasiya müdaxiləsini azalda bilər. Eyni zamanda, platforma qranit komponentləri ilə birlikdə işləyən yüksək dəqiqlikli hava üzən bələdçi sistemi ilə təchiz edilmişdir. Hava üzən bələdçi platformanın hərəkət edən hissələrinin təmassız asma hərəkətini həyata keçirmək və mexaniki sürtünmə nəticəsində yaranan kiçik vibrasiyanı azaltmaq üçün yüksək təzyiqli qazın yaratdığı sabit qaz filmindən istifadə edir. İkisi birlikdə çip litoqrafiyası və aşındırma kimi əsas proseslərdə platformanın yerləşdirilməsi dəqiqliyinin həmişə nanometr səviyyəsində saxlanmasını təmin edir və vibrasiyanın yaratdığı çip dövrə nümunələrinin sapmasının qarşısını alır.
Əla istilik sabitliyi
Sexdə temperaturun və rütubətin dəyişməsi çip istehsal edən avadanlıqların düzgünlüyünə böyük təsir göstərir. Qranitin istilik genişlənmə əmsalı çox aşağıdır, ümumiyyətlə 5-7 × 10⁻⁶/℃, temperatur dəyişdikdə ölçüsü demək olar ki, dəyişməzdir. Sexdə gecə ilə gündüz arasındakı temperatur fərqi və ya avadanlığın istilik istehsalı ətraf mühitin temperaturunun dəyişməsinə səbəb olsa belə, qranit komponentləri istilik genişlənməsi və büzülməsi səbəbindən platformanın deformasiyasının qarşısını almaq üçün sabit qala bilər. Eyni zamanda, platforma ilə təchiz edilmiş ağıllı temperatur nəzarət sistemi ətraf mühitin temperaturunu real vaxt rejimində izləyir, kondisioner və istilik yayma avadanlığını avtomatik tənzimləyir və emalatxananın temperaturunu 20 ° C ± 1 ° C səviyyəsində saxlayır. Qranit istilik sabitliyinin üstünlükləri ilə birlikdə, platformanın uzunmüddətli işləməsini, hərəkətin hər zaman hər bir çipmetrin standart dəqiqliyinə cavab verməsini təmin edin. çip litoqrafiya nümunəsinin ölçüsünün dəqiq olmasını təmin etmək üçün aşındırma dərinliyi vahiddir.
Təmiz ətraf mühit ehtiyaclarını qarşılayın
Yarımkeçiricilər istehsalı sexi toz hissəciklərinin çipi çirkləndirməsinin qarşısını almaq üçün yüksək dərəcədə təmizliyə riayət etməlidir. Qranit materialın özü toz əmələ gətirmir və səthi hamardır, tozu udmaq asan deyil. Platforma bütövlükdə xarici tozun daxil olmasını azaltmaq üçün tam qapalı və ya yarı qapalı struktur dizaynını qəbul edir. Daxili hava sirkulyasiya sistemi emalatxananın təmiz kondisioner sistemi ilə əlaqələndirilir ki, daxili hava təmizliyi çip istehsalının tələb etdiyi səviyyəyə çatsın. Bu təmiz mühitdə qranit komponentləri toz eroziyası səbəbindən performansa təsir etməyəcək və platformanın yüksək dəqiqlikli sensorlar və mühərrikləri kimi əsas komponentlər də stabil işləyə bilər, çip istehsalı üçün davamlı və etibarlı nanoölçülü dəqiqlik zəmanəti verir və yarımkeçirici sənayenin daha yüksək proses səviyyəsinə keçməsinə kömək edir.
Göndərmə vaxtı: 14 aprel 2025-ci il