Yarımkeçirici vafli yoxlama sahəsində təmiz otaq mühitinin təmizliyi məhsulun məhsuldarlığı ilə birbaşa bağlıdır. Çip istehsal proseslərinin dəqiqliyi yaxşılaşmağa davam etdikcə, aşkarlama avadanlığının daşıma platformalarına olan tələblər getdikcə daha sərt olur. Qranit platformaları, sıfır metal ionlarının buraxılması və aşağı hissəciklərin çirklənməsi xüsusiyyətləri ilə ənənəvi paslanmayan polad materialları üstələyib və vafli yoxlama avadanlığı üçün üstünlük verilən həll yoluna çevrilib.
Qranit, əsasən kvars, feldispat və slyuda kimi qeyri-metal minerallardan ibarət təbii maqmatik qayadır. Bu xüsusiyyət ona sıfır metal ionunun sərbəst buraxılması üstünlüyünü verir. Bunun əksinə olaraq, paslanmayan polad, dəmir, xrom və nikel kimi metalların ərintisi olaraq, təmiz otaq mühitində su buxarının və turşu və ya qələvi qazların aşınması səbəbindən səthində elektrokimyəvi korroziyaya meyllidir və nəticədə Fe²⁺ və Cr³⁺ kimi metal ionlarının çökməsi ilə nəticələnir. Bu kiçik ionlar vaflinin səthinə yapışdıqdan sonra, onlar fotolitoqrafiya və aşındırma kimi sonrakı proseslərdə yarımkeçirici materialın elektrik xüsusiyyətlərini dəyişəcək, tranzistorun eşik gərginliyinə səbəb olacaq və hətta dövrədə qısa qapanmalara səbəb olacaq. Peşəkar təşkilatın test məlumatları göstərir ki, qranit platforması 1000 saat ərzində simulyasiya edilmiş təmiz otaq temperaturu və rütubət mühitinə (23±0.5℃, 45%±5% RH) davamlı olaraq məruz qaldıqdan sonra metal ionlarının buraxılması aşkarlama limitindən (<0.1ppb) aşağı olmuşdur. Paslanmayan polad platformalardan istifadə edərkən metal ionlarının çirklənməsi nəticəsində yaranan vaflilərin qüsur dərəcəsi 15%-dən 20%-ə qədər ola bilər.
Hissəciklərin çirklənməsinə nəzarət baxımından qranit platformaları da olduqca yaxşı işləyir. Təmiz otaqlar havada asılı hissəciklərin konsentrasiyası üçün son dərəcə yüksək tələblərə malikdir. Məsələn, ISO 1-ci sinif təmiz otaqlarda, hər kubmetr üçün icazə verilən 0,1 μm hissəciklərin sayı 10-dan çox deyil. Paslanmayan polad platforma cilalama emalından keçsə belə, o, avadanlığın vibrasiyası və personalın işləməsi kimi xarici qüvvələr səbəbindən metal qalıqları və ya oksid şkalasının soyulmasına səbəb ola bilər ki, bu da valfın səthinə və ya skrinferin optik yoluna müdaxilə edə bilər. Sıx mineral quruluşu (sıxlığı ≥2,7 q/sm³) və yüksək sərtliyi (Mohs şkalası üzrə 6-7) olan qranit platformaları uzunmüddətli istifadə zamanı aşınmaya və qırılmaya meylli deyildir. Ölçülmüş ölçmələr göstərir ki, onlar paslanmayan polad platformalarla müqayisədə aşkarlama avadanlığı sahəsinin havasındakı asılı hissəciklərin konsentrasiyasını 40%-dən çox azalda bilər, təmiz otaq standartlarını effektiv şəkildə qoruyur.
Təmiz xüsusiyyətlərinə əlavə olaraq, qranit platformalarının hərtərəfli performansı da paslanmayan poladdan çox üstündür. İstilik sabitliyi baxımından onun istilik genişlənmə əmsalı yalnız (4-8) ×10⁻⁶/℃, paslanmayan poladdan (təxminən 17×10⁻⁶/℃) yarısından azdır, bu təmiz otaqda temperatur dəyişdikdə aşkarlama avadanlığının yerləşdirmə dəqiqliyini daha yaxşı saxlaya bilir. Yüksək sönümləmə xarakteristikası (sönüm nisbəti > 0,05) avadanlığın vibrasiyasını sürətlə zəiflədə və aşkarlama zondunun titrəməsinin qarşısını ala bilər. Təbii korroziyaya davamlılığı ona fotorezist həlledicilərə, aşındırıcı qazlara və digər kimyəvi maddələrə məruz qaldıqda belə, əlavə örtük qorunmasına ehtiyac olmadan sabit qalmağa imkan verir.
Hazırda qranit platformaları qabaqcıl vafli istehsal zavodlarında geniş istifadə olunur. Məlumatlar göstərir ki, qranit platformasını qəbul etdikdən sonra vafli səth hissəciklərinin aşkarlanmasının səhv mühakimə dərəcəsi 60% azalıb, avadanlıq kalibrləmə dövrü üç dəfə uzadılıb və ümumi istehsal dəyəri 25% azalıb. Yarımkeçiricilər sənayesi daha yüksək dəqiqliyə doğru irəlilədikcə, qranit platformaları, sıfır metal ionlarının buraxılması və aşağı hissəciklərin çirklənməsi kimi əsas üstünlükləri ilə, vafli yoxlaması üçün sabit və etibarlı dəstək verməyə davam edəcək və sənayenin tərəqqisini idarə edən mühüm qüvvəyə çevriləcəkdir.
Göndərmə vaxtı: 20 may-2025-ci il