Qranit bazası lövhələrin dağıdıcı olmayan sınaqlarının dəqiqliyinə necə təsir göstərir?



Yarımkeçirici istehsalının dəqiq dünyasında lövhələrin dağıdıcı olmayan sınaqdan keçirilməsi çiplərin keyfiyyətini təmin etmək üçün əsas halqadır. Görünən əhəmiyyətsiz qranit əsas əslində aşkarlama dəqiqliyini təyin edən "tanınmamış qəhrəman"dır. Bu, test nəticələrinə necə təsir edir? Bu məqalədə material xüsusiyyətləri və struktur dizaynı kimi ölçülərdən dərin təhlil aparılacaq.
1. Sabit Bünövrə: Qranitin təbii üstünlükləri dəqiqlik üçün möhkəm təməl qoyur
1. Əla seysmik performans
Plitənin dağıdıcı olmayan sınaq avadanlığının işləməsi zamanı mühərrikin fırlanması və mexaniki komponentlərin hərəkəti titrəmələr yaradacaq. Bu titrəmələr effektiv şəkildə yatırılmazsa, sınaq dəqiqliyinə ciddi şəkildə mane olacaq. Qranitin daxili hissəsi kvars və feldispat kimi mineral kristallarla sıx şəkildə bir-birinə qarışmışdır. Unikal quruluşu ona təbii titrəmə udma qabiliyyəti verir və avadanlığın titrəmə enerjisinin 90%-dən çoxunu udmaq qabiliyyətinə malikdir. Müəyyən bir yarımkeçirici istehsalçısının faktiki ölçmə məlumatları göstərir ki, qranit əsasdan istifadə etdikdən sonra aşkarlama avadanlığının titrəmə amplitudası 12μm-dən 2μm-ə endirilib və bu da titrəmənin yaratdığı aşkarlama siqnalının sapmasının qarşısını alıb.
2. İstilik genişlənməsinin son dərəcə aşağı əmsalı
Aşkarlama prosesi zamanı avadanlığın istiləşməsi və ətraf mühitin temperaturundakı dəyişikliklər kimi amillər maşın bazasının sabitliyinə təsir göstərəcək. Adi materiallar qızdırıldıqda əhəmiyyətli dərəcədə genişlənir, lakin qranitin istilik genişlənmə əmsalı poladın əmsalının yalnız 1/5-dir. Ətraf mühitin temperaturu 10℃ dəyişsə belə, onun deformasiyasını nəzərə almamaq olar. Bu, qranit bazasının yoxlama avadanlığı üçün sabit bir istinad platforması təmin etməsinə imkan verir, yoxlama zondu ilə lövhə arasındakı nisbi mövqenin hər zaman dəqiq qalmasını təmin edir və istilik deformasiyasının yaratdığı yoxlama səhvlərinin qarşısını alır.
İkincisi, dəqiq dizayn: Struktur optimallaşdırma aşkarlamanın etibarlılığını daha da artırır
Yüksək dəqiqlikli emal və düzlük zəmanəti
Yüksək keyfiyyətli qranit bazası, ±0.5μm/m düzlüklü qabaqcıl beş oxlu CNC texnologiyası ilə işlənir və bu da yoxlama avadanlığı üçün ultra düz quraşdırma istinadı təmin edir. Plitənin yoxlanılmasında yoxlama zondunun şaquliliyi və düzlüyü yoxlama nəticələri üçün çox vacibdir. Yüksək dəqiqlikli qranit bazası, zondun dəqiq yerləşdirilməsini təmin edə bilər və yoxlama məlumatlarını daha dəqiq və etibarlı edir.
2. Xüsusi struktur uyğunlaşması
Qranit maşın əsasları müxtəlif lövhə dağıdıcı olmayan sınaq avadanlığı və proses tələbləri üçün xüsusi olaraq düzəldilə bilər. Məsələn, işığın əks olunması üçün optik yoxlama avadanlığının tələblərinə cavab vermək üçün maşın əsasının səthi xüsusi olaraq işlənə bilər; Ultrasəs sınaq avadanlığının quraşdırma tələblərinə cavab vermək üçün əsas dəqiq quraşdırma dəlikləri və kabel qabları ilə əvvəlcədən hazırlana bilər ki, bu da avadanlığın sürətli və dəqiq quraşdırılmasına imkan verir və quraşdırma səhvlərindən qaynaqlanan aşkarlama sapmalarını azaldır.
III. Uzunmüddətli sabitlik: Avadanlıqların texniki xidmətindən qaynaqlanan dəqiqlik itkisini azaldın
Qranit yüksək sərtliyə və güclü aşınma müqavimətinə malikdir, Mohs sərtliyi 6-7-dir ki, bu da adi poladın aşınma müqavimətindən üç dəfə çoxdur. Uzunmüddətli yoxlama əməliyyatları zamanı maşın bazasının səthi aşınmaya meylli deyil və həmişə yaxşı dəqiqlik vəziyyətini saxlaya bilər. Bunun əksinə olaraq, digər materiallardan hazırlanmış bazalar aşınma və yırtılma səbəbindən avadanlığın quraşdırma istinadında dəyişikliklərə səbəb ola bilər ki, bu da aşkarlama dəqiqliyinə təsir göstərir və tez-tez kalibrləmə və texniki xidmət tələb edir. Qranit bazasının uzun xidmət müddəti və yüksək sabitliyi avadanlığın texniki xidmət tezliyini effektiv şəkildə azaldır və texniki xidmət prosesi zamanı baş verə biləcək dəqiqlik itkisi riskini azaldır.
Zərbəyə davamlılıqdan tutmuş istiliyə davamlılığa qədər dəqiq dizayna qədər qranit əsasın hər bir xüsusiyyəti lövhələrin dağıdıcı olmayan sınaqlarının dəqiqliyini qoruyur. Son dərəcə dəqiqliyə can atan bugünkü yarımkeçirici istehsal dövründə yüksək keyfiyyətli qranit əsas seçmək, sınaq nəticələrinin dəqiqliyinə və etibarlılığına möhkəm bir sığorta qatı əlavə etmək kimidir.

dəqiq qranit29


Yazı vaxtı: 18 iyun 2025