.
.
Yarımkeçirici istehsalının dəqiq dünyasında vaflilərin dağıdıcı yoxlanılması çiplərin keyfiyyətini təmin etmək üçün əsas keçiddir. Zahirən əhəmiyyətsiz görünən qranit baza əslində aşkarlamanın dəqiqliyini təyin edən “adsız qəhrəmandır”. Test nəticələrinə necə təsir edir? Bu məqalə material xüsusiyyətləri və struktur dizaynı kimi ölçülərdən dərin təhlil aparacaq. .
1. Stabil təməl: Qranitlərin təbii üstünlükləri dəqiqlik üçün möhkəm təməl qoyur
1. Əla seysmik performans
Vafli dağıdıcı sınaq avadanlığının istismarı zamanı motorun fırlanması və mexaniki komponentlərin hərəkəti vibrasiya yaradacaq. Əgər bu titrəmələr effektiv şəkildə yatırılmazsa, onlar sınaq dəqiqliyinə ciddi şəkildə müdaxilə edəcəklər. Qranit daxili hissəsi kvars və feldispat kimi mineral kristallarla sıx bağlıdır. Onun unikal strukturu ona təbii vibrasiya udma qabiliyyəti ilə təmin edir, avadanlığın vibrasiya enerjisinin 90%-dən çoxunu udmaq qabiliyyətinə malikdir. Müəyyən bir yarımkeçirici istehsalçısının faktiki ölçmə məlumatları göstərir ki, qranit bazasından istifadə etdikdən sonra aşkarlama avadanlığının vibrasiya amplitudası 12μm-dən 2μm-ə endirilib, titrəmə nəticəsində aşkarlanan siqnalın sapmasının qarşısını effektiv şəkildə alıb. .
2. İstilik genişlənməsinin son dərəcə aşağı əmsalı
Aşkarlama prosesi zamanı avadanlığın istiləşməsi və ətraf mühitin temperaturunun dəyişməsi kimi amillər maşın bazasının dayanıqlığına təsir edəcək. Adi materiallar qızdırıldıqda əhəmiyyətli dərəcədə genişlənir, lakin qranit istilik genişlənmə əmsalı poladdan yalnız 1/5-dir. Ətraf mühitin temperaturu 10 ℃ dəyişsə belə, onun deformasiyasına məhəl qoyula bilməz. Bu, qranit bazaya yoxlama avadanlığı üçün sabit istinad platforması təmin etməyə imkan verir, yoxlama zondu ilə vafli arasında nisbi mövqenin hər zaman dəqiq qalmasını təmin edir və istilik deformasiyasının səbəb olduğu yoxlama səhvlərindən qaçınır. .
İkincisi, dəqiq dizayn: Struktur optimallaşdırma aşkarlamanın etibarlılığını daha da artırır
Yüksək dəqiqlikli emal və düzlük zəmanəti
Yüksək keyfiyyətli qranit bazası təftiş avadanlığı üçün ultra düz quraşdırma istinadını təmin edən ± 0.5μm/m düzlük ilə qabaqcıl beş oxlu əlaqə CNC texnologiyası ilə işlənir. Vafli yoxlamada təftiş zondu şaquliliyi və səviyyəliliyi yoxlama nəticələri üçün çox vacibdir. Yüksək dəqiqlikli qranit bazası, təftiş məlumatlarını daha dəqiq və etibarlı etmək üçün probun dəqiq yerləşdirilməsini təmin edə bilər. .
2. Xüsusi struktur uyğunlaşma
Qranit maşın bazaları müxtəlif vafli dağıdıcı sınaq avadanlıqları və proses tələbləri üçün fərdiləşdirilə bilər. Məsələn, işığın əks olunması üçün optik təftiş avadanlığının tələblərinə cavab vermək üçün maşın bazasının səthi xüsusi müalicə edilə bilər; Ultrasəs sınaq avadanlığının quraşdırılması tələblərinə cavab vermək üçün baza dəqiq quraşdırma delikləri və kabel naqilləri ilə hazırlana bilər ki, bu da avadanlığın sürətli və dəqiq quraşdırılmasına imkan verir və quraşdırma xətalarının səbəb olduğu aşkarlama sapmalarını azaldır. .
Iii. Uzunmüddətli sabitlik: Avadanlıqlara texniki qulluq nəticəsində yaranan dəqiq itkiləri azaldın
Qranit yüksək sərtliyə və güclü aşınma müqavimətinə malikdir, Mohs sərtliyi 6 ilə 7 arasındadır ki, bu da adi poladdan üç dəfə aşınma müqavimətidir. Uzunmüddətli yoxlama əməliyyatları zamanı maşın bazasının səthi aşınmaya meylli deyil və həmişə yaxşı dəqiqlik vəziyyətini saxlaya bilir. Bunun əksinə olaraq, digər materiallardan hazırlanmış əsaslar aşınma və yıpranma səbəbindən avadanlığın quraşdırma istinadında dəyişikliklərə səbəb ola bilər və bununla da aşkarlama dəqiqliyinə təsir edə bilər və tez-tez kalibrləmə və texniki xidmət tələb olunur. Qranit bazanın uzun xidmət müddəti və yüksək sabitliyi avadanlığa texniki qulluq tezliyini effektiv şəkildə azaldır və texniki xidmət prosesində baş verə biləcək dəqiqlik itkisi riskini azaldır. .
Zərbəyə davamlılıqdan, istiliyə davamlılıqdan tutmuş dəqiq dizayna qədər qranit bazanın hər bir xüsusiyyəti vaflilərin dağıdıcı sınaqdan keçirilməsinin düzgünlüyünü təmin edir. Son dərəcə dəqiqliyə can atan bugünkü yarımkeçiricilər istehsalı dövründə yüksək keyfiyyətli qranit bazanın seçilməsi sınaq nəticələrinin dəqiqliyinə və etibarlılığına möhkəm bir sığorta qatı əlavə etmək kimidir. .
Göndərmə vaxtı: 18 iyun 2025-ci il