Qranit əsasının tətbiqi: Qranit son dərəcə sabit fiziki xüsusiyyətlərə, sıx və vahid daxili quruluşa, aşağı istilik genişlənmə əmsalına və yüksək sərtliyə malikdir. Bu, əsasın xarici vibrasiyanı effektiv şəkildə təcrid etməsinə, ətraf mühitin temperatur dəyişikliklərinin platformanın dəqiqliyinə təsirini azaltmasına və yaxşı aşınma müqavimətinə malik olmasına imkan verir, uzunmüddətli istifadə platformanın dəqiqliyi üçün möhkəm bir təməl təmin edərək sabit dayaq performansını da qoruya bilər.
Yüksək dəqiqlikli mexaniki struktur dizaynı: Platformanın mexaniki strukturu yüksək dəqiqlikli istiqamətləndirici relslər, qurğuşun vintlər, yataklar və digər ötürücü komponentlərdən istifadə edərək diqqətlə dizayn edilmiş və optimallaşdırılmışdır. Aşağı sürtünmə, yüksək sərtlik və yaxşı hərəkət təkrarlanması ilə bu komponentlər gücü dəqiq ötürə və platformanın hərəkətini idarə edə bilər, hərəkət zamanı səhvlərin yığılmasını azaldır. Məsələn, aerostatik istiqamətləndirici relsdən istifadə, platformanın hərəkətini dəstəkləmək üçün hava plyonkasından istifadə, sürtünmə, aşınma olmadan, yüksək dəqiqliklə nanoskal yerləşdirmə dəqiqliyinə nail ola bilər.
Qabaqcıl aktiv vibrasiya izolyasiya texnologiyası: aktiv vibrasiya izolyasiya sistemi ilə təchiz olunmuşdur, sensor vasitəsilə platformanın vibrasiya vəziyyətinin real vaxt rejimində monitorinqi aparılır və sonra monitorinq nəticələrinə əsasən aktuatorun əks əlaqə nəzarəti təmin edilir, vibrasiyanın təsirini kompensasiya etmək üçün əks qüvvə və ya xarici vibrasiyanın hərəkəti yaranır. Bu aktiv vibrasiya izolyasiya texnologiyası aşağı və yüksək tezlikli vibrasiyanı effektiv şəkildə təcrid edə bilər ki, platforma mürəkkəb vibrasiya mühitində sabit qala bilsin. Məsələn, elektromaqnit aktiv vibrasiya izolyatoru sürətli cavab sürəti və dəqiq idarəetmə qüvvəsi kimi üstünlüklərə malikdir ki, bu da platformanın vibrasiya amplitudasını 80%-dən çox azalda bilər.
Dəqiq idarəetmə sistemi: Platforma, yüksək sürətli hesablama və dəqiq idarəetmə qabiliyyətinə malik rəqəmsal siqnal prosessoruna (DSP) əsaslanan idarəetmə sistemi və ya sahə proqramlaşdırıla bilən qapı massivi (FPGA) kimi qabaqcıl idarəetmə sistemini tətbiq edir. İdarəetmə sistemi dəqiq alqoritmlər vasitəsilə platformanın hərəkətini real vaxt rejimində izləyir və tənzimləyir, yüksək dəqiqlikli mövqe nəzarəti, sürət nəzarəti və sürətləndirmə nəzarətini həyata keçirir. Eyni zamanda, idarəetmə sistemi də yaxşı müdaxilə əleyhinə qabiliyyətə malikdir və mürəkkəb elektromaqnit mühitində sabit işləyə bilər.
Yüksək dəqiqlikli sensor ölçməsi: Yüksək dəqiqlikli yerdəyişmə sensorlarının, bucaq sensorlarının və digər ölçmə avadanlıqlarının istifadəsi, platformanın hərəkətinin real vaxt rejimində dəqiq ölçülməsi. Bu sensorlar ölçmə məlumatlarını idarəetmə sisteminə geri ötürür və idarəetmə sistemi platformanın hərəkət dəqiqliyini təmin etmək üçün geribildirim məlumatlarına uyğun olaraq dəqiq tənzimləmə və kompensasiya edir. Məsələn, lazer interferometri yerdəyişmə sensoru kimi istifadə olunur və onun ölçmə dəqiqliyi nanometrlərə qədər ola bilər ki, bu da platformanın yüksək dəqiqlikli idarə olunması üçün dəqiq mövqe məlumatı təmin edə bilər.
Xəta kompensasiyası texnologiyası: Platformanın səhvlərini modelləşdirmək və təhlil etməklə, səhvləri düzəltmək üçün xəta kompensasiyası texnologiyasından istifadə olunur. Məsələn, platformanın hərəkət dəqiqliyini artırmaq üçün istiqamətləndirici relsin düzlük xətası və aparıcı vintin addım xətası ölçülür və kompensasiya edilir. Bundan əlavə, platformanın dəqiqliyini daha da artırmaq üçün temperatur dəyişiklikləri, yük dəyişiklikləri və digər amillərin yaratdığı səhvləri real vaxt rejimində kompensasiya etmək üçün proqram təminatı alqoritmlərindən də istifadə etmək olar.
Ciddi istehsal prosesi və keyfiyyətə nəzarət: Platformanın istehsal prosesində hər bir komponentin emal dəqiqliyini və yığılma keyfiyyətini təmin etmək üçün ciddi istehsal prosesi və keyfiyyətə nəzarət standartları qəbul edilir. Xammalın seçilməsindən tutmuş hissələrin emalı, yığılması və istismara verilməsinə qədər hər bir əlaqə platformanın ümumi dəqiqliyini və performansını təmin etmək üçün ciddi şəkildə yoxlanılır və sınaqdan keçirilir. Məsələn, əsas hissələrin yüksək dəqiqliklə emalı həyata keçirilir və hissələrin ölçülü dəqiqliyinin, forma və mövqe tolerantlıqlarının dizayn tələblərinə cavab verməsini təmin etmək üçün CNC emal mərkəzləri kimi qabaqcıl avadanlıqlardan istifadə olunur.
Yazı vaxtı: 11 aprel 2025