Qranit dəqiq platformaları, yüksək sərtliyi, aşağı genişlənmə əmsalı, əla sönümləmə performansı və təbii anti-maqnit xüsusiyyətləri ilə, dəqiqlik və sabitliyin yüksək tələb olunduğu yüksək səviyyəli istehsal və elmi tədqiqat sahələrində əvəzolunmaz tətbiq dəyərinə malikdir. Aşağıdakılar onun əsas tətbiqi ssenariləri və texniki üstünlükləridir:
I. Ultra-dəqiq emal avadanlıqları sahəsi
Yarımkeçiricilərin istehsalı üçün avadanlıq
Tətbiq ssenariləri: Litoqrafiya maşınının iş parçası masası, vafli dilimləmə maşınının bazası, qablaşdırma avadanlığının yerləşdirilməsi platforması.
Texniki dəyər:
Qranitin istilik genişlənmə əmsalı yalnız (0,5-1,0) ×10⁻⁶/℃-dir ki, bu da litoqrafiya maşınının nanoölçülü məruz qalması zamanı temperaturun dəyişməsinə müqavimət göstərə bilər (±0,1℃ mühitdə yerdəyişmə xətası <0,1nm).
Daxili mikro məsamə strukturu təbii sönüm yaradır (sönüm nisbəti 0,05-dən 0,1-ə qədər), küp kəsmə maşını ilə yüksək sürətli kəsmə zamanı vibrasiyanı (amplituda < 2μm) yatırır və vafli kəsicinin kənar pürüzlülüyünün Ra-nın 1μm-dən az olmasını təmin edir.
2. Dəqiq Taşlama Maşınları və Koordinat Ölçmə Maşınları (CMM)
Ərizə halı:
Üç koordinatlı ölçmə maşınının əsası ± 0,5μm/m düzlüyə malik ayrılmaz qranit strukturunu qəbul edir. Havada üzən bələdçi rels ilə birlikdə nano səviyyəli hərəkət dəqiqliyinə nail olur (təkrar yerləşdirmə dəqiqliyi ±0,1μm).
Optik daşlama maşınının iş masası qranit və gümüş poladdan ibarət kompozit strukturu qəbul edir. K9 şüşəsini üyüdərkən, səth dalğalılığı lazer linzalarının ultra hamar emal tələblərinə cavab verən λ/20-dən (λ=632.8nm) azdır.
II. Optika və Fotonika sahəsi
Astronomik teleskoplar və lazer sistemləri
Tipik tətbiqlər:
Böyük radioteleskopun əks etdirmə səthinin dayaq platforması öz çəkisi baxımından yüngül (sıxlıq 2,7 q/sm³) və güclü külək vibrasiya müqavimətinə malik (10 səviyyəli külək altında deformasiya < 50μm) olan qranit pətək strukturunu qəbul edir.
Lazer interferometrinin optik platforması mikro məsaməli qranitdən istifadə edir. Reflektor, qravitasiya dalğasının aşkarlanması kimi ultra dəqiq optik təcrübələrin sabitliyini təmin edərək, 5nm-dən az bir düzlük xətası ilə vakuum adsorbsiya ilə sabitlənir.
2. Optik komponentlərin dəqiq işlənməsi
Texniki üstünlüklər:
Qranit platformasının maqnit keçiriciliyi və elektrik keçiriciliyi sıfıra yaxındır, elektromaqnit müdaxiləsinin ion şüa cilalama (IBF) və maqnitorheoloji cilalama (MRF) kimi dəqiq proseslərə təsirindən qaçır. İşlənmiş asfik lensin səth formasının dəqiqliyi PV dəyəri λ/100-ə çata bilər.
Iii. Aerokosmik və Dəqiq Təftiş
Aviasiya komponentlərinin təftiş platforması
Tətbiq ssenariləri: Təyyarənin qanadlarının üçölçülü təftişi, aviasiya alüminium ərintisi struktur komponentlərinin forma və mövqe toleranslarının ölçülməsi.
Əsas performans:
Qranit platformasının səthi yüksək dəqiqlikli tetikleyici zondlar üçün uyğun olan incə naxışlar (Ra 0.4-0.8μm pürüzlülük ilə) yaratmaq üçün elektrolitik korroziya ilə müalicə olunur və bıçaq profilinin aşkarlanması xətası 5μm-dən azdır.
O, 200 kq-dan çox aviasiya komponentlərinin yükünə tab gətirə bilir və uzunmüddətli istifadədən sonra düzlük dəyişikliyi 2μm/m-dən azdır və aerokosmik sənayedə 10-cu dərəcəli dəqiq texniki xidmət tələblərinə cavab verir.
2. İnertial naviqasiya komponentlərinin kalibrlənməsi
Texniki tələblər: Giroskoplar və akselerometrlər kimi inertial cihazların statik kalibrlənməsi ultra sabit istinad platforması tələb edir.
Həlli: Qranit platforması aktiv vibrasiya izolyasiya sistemi (təbii tezlik < 1Hz) ilə birləşdirilib, vibrasiya sürətlənməsi < 1×10⁻⁴g olan mühitdə inertial komponentlərin sıfır ofset sabitliyinin < 0,01°/saat yüksək dəqiqliklə kalibrlənməsinə nail olur.
Iv. Nanotexnologiya və Biotibb
Skanlayıcı zond mikroskopu (SPM) platforması
Əsas funksiya: Atom qüvvəsi mikroskopiyası (AFM) və skan edən tunel mikroskopiyası (STM) üçün əsas kimi onu ətraf mühitin vibrasiyasından və istilik sürüşməsindən təcrid etmək lazımdır.
Performans göstəriciləri:
Qranit platforması, pnevmatik vibrasiya izolyasiya ayaqları ilə birlikdə, xarici vibrasiyanın ötürülmə sürətini (1-100Hz) 5% -dən az azalda bilər, atmosfer mühitində AFM-nin atom səviyyəli görüntüsünə nail olur (qətnamə < 0.1nm).
Temperatur həssaslığı 0,05μm/℃-dən azdır ki, bu da sabit temperaturda (37℃±0,1℃) bioloji nümunələrin nanoölçülü müşahidəsi tələblərinə cavab verir.
2. Biochip qablaşdırma avadanlığı
Tətbiq halı: DNT sıralama çipləri üçün yüksək dəqiqlikli hizalama platforması ±0.5μm yerləşdirmə dəqiqliyi ilə qranit havada üzən bələdçi relsləri qəbul edir, mikro-maye kanalı və aşkarlama elektrodu arasında mikronaltı birləşməni təmin edir.
V. Yaranan Tətbiq Ssenariləri
Kvant hesablama avadanlığı bazası
Texniki problemlər: Qubit manipulyasiyası son dərəcə aşağı temperatur (mK səviyyəsi) və ultra sabit mexaniki mühit tələb edir.
Həll yolu: Qranitin son dərəcə aşağı istilik genişlənmə xüsusiyyəti (genişləmə sürəti -200 ° C-dən otaq temperaturuna qədər < 1ppm) ultra aşağı temperaturlu superkeçirici maqnitlərin büzülmə xüsusiyyətlərinə uyğun ola bilər, kvant çiplərinin qablaşdırılması zamanı hizalanma dəqiqliyini təmin edir.
2. Elektron Şüa Litoqrafiyası (EBL) sistemi
Əsas performans: Qranit platformanın izolyasiya xüsusiyyəti (müqavimət > 10¹³Ω · m) elektron şüalarının səpilməsinin qarşısını alır. Elektrostatik mil sürücüsü ilə birlikdə nanoölçülü xətt eni (< 10nm) ilə yüksək dəqiqlikli litoqrafiya nümunəsinin yazılmasına nail olur.
Xülasə
Qranit dəqiq platformalarının tətbiqi ənənəvi dəqiqlikli maşınlardan nanotexnologiya, kvant fizikası və biotibb kimi qabaqcıl sahələrə qədər genişləndi. Onun əsas rəqabət qabiliyyəti material xassələri və mühəndislik tələblərinin dərin birləşməsindədir. Gələcəkdə kompozit möhkəmləndirmə texnologiyalarının (məsələn, qrafen-qranit nanokompozitləri) və ağıllı zondlama texnologiyalarının inteqrasiyası ilə qranit platformaları atom səviyyəsində dəqiqlik, tam temperatur diapazonu sabitliyi və çoxfunksiyalı inteqrasiya istiqamətlərində keçərək növbəti nəsil istehsalın əsas komponentlərini dəstəkləyən əsas elementə çevriləcək.
Göndərmə vaxtı: 28 may 2025-ci il