Qranit materialları yüksək stabillik, aşağı istilik genişlənməsi və korroziyaya qarşı yüksək müqavimət kimi əla xüsusiyyətlərinə görə yarımkeçiricilər sənayesində geniş istifadə olunur. Bu xüsusiyyətlər qraniti lövhə ötürmə sistemində yüksək dəqiqlikli komponentlərin qurulması üçün ideal bir material halına gətirir.
Yarımkeçirici istehsal prosesində lövhə ötürmə sistemi lövhələrin istehsal prosesinin müxtəlif mərhələlərində daşınmasında mühüm rol oynayır. Dəqiqlik və dəqiqlik bu sistemlər üçün əsas tələblərdir, çünki hətta kiçik sapmalar belə bütün prosesi təhlükə altına ala bilər. Buna görə də, lövhə ötürmə sistemindəki komponentlər yüksək keyfiyyətli materiallardan hazırlanmalı və qranit bu meyarlara cavab verməlidir.
Qranit materiallarından hazırlanmış lövhə ötürmə sisteminin bəzi hissələri aşağıdakılardır:
1. Vakuum Çak Masası
Vakuum patron masası, proses zamanı lövhəni saxlamaq üçün istifadə olunur və lövhənin zədələnməməsini təmin etmək üçün sabit bir səthə malik olmalıdır. Qranit, yüksək sabitlik və dəqiqlik təmin edən düz, məsaməli olmayan bir səthə malik olduğu üçün bu masanın hazırlanması üçün ideal bir materialdır. Bundan əlavə, qranit aşağı istilik genişlənmə əmsalına malikdir və bu da lövhədə ölçü dəyişikliklərinə səbəb ola biləcək temperatur dəyişikliklərinə davamlı edir.
2. Hava Yastığı Mərhələsi
Hava daşıyan mərhələ lövhəni istehsal prosesinin müxtəlif mərhələlərindən keçirmək üçün istifadə olunur. Mərhələ yüksək dəqiqlik və sabitlik tələb edən sürtünmədən hərəkət təmin etmək üçün hazırlanmışdır. Qranit bu sahədə istifadə olunur, çünki o, sərt və sərt bir daşdır və zamanla deformasiyaya və aşınmaya davamlıdır.
3. Xətti Hərəkət Bələdçiləri
Xətti hərəkət bələdçiləri hava daşıyan mərhələni istiqamətləndirmək üçün istifadə olunur və səhvləri minimuma endirmək üçün dəqiq yerləşdirilməlidir. Bu bələdçinin qurulması üçün qranitdən istifadə olunur, çünki o, əla mexaniki dayanıqlığa və möhkəmliyə malikdir. Material həmçinin korroziyaya davamlıdır ki, bu da bələdçi sisteminin uzunömürlülüyünü təmin edir.
4. Metrologiya avadanlığı
İstehsal prosesi zamanı lövhənin ölçülərini və xüsusiyyətlərini ölçmək üçün metrologiya avadanlıqlarından istifadə olunur. Qranit bu avadanlığın qurulması üçün ideal materialdır, çünki o, yüksək sərtliyə, aşağı genişlənməyə və yük altında minimal deformasiyaya malikdir. Bundan əlavə, qranitin istilik sabitliyi metrologiya avadanlıqlarının zamanla sabit və dəqiq qalmasını təmin edir.
Nəticə olaraq, yarımkeçiricilər sənayesi dəqiqliyə və dəqiqliyə əsaslanır və qranit materialları istehsal prosesində yüksək etibarlılıq və sabitlik nümayiş etdirmişdir. Plitələr ötürmə sistemindəki bir çox vacib komponent yüksək sabitlik, dəqiqlik və aşağı istilik genişlənməsi tələb etdiyindən, mühəndislər bu vacib tələbləri ödəmək üçün qranit materiallarına müraciət etmişlər.
Yazı vaxtı: 19 Mart 2024