Qranit materialları, yüksək sabitlik, aşağı istilik genişlənməsi və korroziyaya qədər yüksək müqavimət və yüksək müqavimət göstərdikləri üçün yarımkeçirici sənayesində geniş istifadə olunur. Bu xüsusiyyətlər, granite, vafli köçürmə sistemində yüksək dəqiqlikli komponentlərin qurulması üçün ideal bir material hazırlayır.
Yarımkeçirici istehsal prosesində, vafli köçürmə sistemi istehsal prosesinin müxtəlif mərhələlərində wafters daşınmasında kritik rol oynayır. Həssas və dəqiqliyi bu sistemlərin hətta yüngül sapmalarının bütün prosesi təhlükə altına ala biləcəyi vacib tələblərdir. Buna görə, gofret ötürmə sistemindəki komponentlər yüksək keyfiyyətli materiallardan hazırlanmalıdır və qranit bu meyarlara cavab verir.
Qranit materiallarından hazırlanan vafli köçürmə sisteminin bəzi hissələri aşağıdakılardır:
1. Vakuum Chuck masası
Vakuum Chuck cədvəli, proses zamanı vaflonun tutulması üçün istifadə olunur və gofretin zədələnməməsini təmin etmək üçün sabit bir səthə sahib olmalıdır. Granite, bu cədvəli etmək üçün ideal bir materialdır, çünki yüksək sabitlik və dəqiqliyi təmin edən düz, məsaməli olmayan bir səthə malikdir. Bundan əlavə, qranit, istilik genişləndiricisinin aşağı əmsalına malikdir, bu, voberdəki ölçülü dəyişikliklərə səbəb ola biləcək temperatur dəyişikliklərinə davamlıdır.
2. Hava daşıyan mərhələ
Hava daşıyan mərhələ, istehsal prosesinin müxtəlif mərhələləri ilə vafleri nəql etmək üçün istifadə olunur. Mərhələ, yüksək dəqiqlik və sabitlik tələb edən sürtünməz bir hərəkət təmin etmək üçün hazırlanmışdır. Qranit bu tətbiqdə istifadə olunur, çünki bu, sərt və sərt bir daşdır və zamanla deformasiyaya və aşınmaya dözür.
3. Xətti hərəkət təlimatları
Xətti hərəkət təlimatları hava daşıyan mərhələni istiqamətləndirmək üçün istifadə olunur və səhvləri minimuma endirmək üçün dəqiq yerləşdirilməlidir. Qranit bu bələdçini qurmaq üçün istifadə olunur, çünki əla mexaniki sabitlik və gücü var. Material da bələdçi sisteminin uzunömürlülüyünü təmin edən korroziyaya davamlıdır.
4. Metrologiya avadanlığı
Metroloji avadanlıqları istehsal prosesi zamanı voberin ölçüləri və xüsusiyyətlərini ölçmək üçün istifadə olunur. Granite, bu avadanlıqın qurulması üçün ideal bir materialdır, çünki yüksək sərtliyi, aşağı genişlənməsi və yük altında minimal deformasiyaya malikdir. Üstəlik, Qranitin istilik sabitliyi, metrologiya avadanlıqlarının zamanla sabit və dəqiq qalmasını təmin edir.
Sonda yarımkeçirici sənayesi dəqiq və dəqiqliyə güvənir və qranit materialları istehsal prosesində yüksək etibarlı və sabit olduğu sübut edilmişdir. Yüksək sabitlik, dəqiqlik və aşağı istilik genişləndirilməsi tələb edən vaffer transfer sistemində bir çox kritik komponentlə bu kritik tələblərə cavab vermək üçün qranit materiallarına çevrildi.
Time vaxt: 19-2024-cü illərdə