Qranit yatağı müxtəlif yarımkeçirici cihazlarda vacib bir komponentdir. Yüksək sabit və sərt bir material olaraq qranit, yarımkeçirici emal avadanlığı üçün bir baza kimi geniş istifadə olunur. Aşağı istilik genişləndirmə əmsalı, yüksək ölçülü sabitlik və əla mexaniki xüsusiyyətləri ilə xarakterizə olunur. Bu xüsusiyyətlərə görə, qranit yatağı ən çox üç fərqli yarımkeçirici cihazda - metrologiya avadanlığı, litoqrafiya avadanlığı və yoxlama avadanlığı ilə istifadə olunur.
Metrologiya avadanlığı yarımkeçirici cihazların kritik ölçülərini ölçmək və aşkar etmək üçün istifadə olunur. Yarımkeçirici istehsal prosesinin keyfiyyəti və ardıcıllığını qorumaqda həlledici rol oynayır. Metroloji avadanlıqlarına optik mikroskoplar, elektron mikroskoplar və atom qüvvəsi mikroskopları (AFMS) kimi alətlər daxildir. Bu ölçmə alətlərinin işləməsi onların sabitliyi, dəqiqliyi və vibrasiya müqavimətindən asılıdır, qranit, yataq materialı üçün ideal seçimdir. Qranit yatağının vahidliyi və sabitliyi, onların dəqiqliyini və etibarlılığını artıran alətlər üçün sabit bir platforma təmin edir.
Litoqrafiya avadanlığı vafferdə mikroçaqlı naxışları düzəltmək üçün istifadə olunur. Litoqrafiya prosesi mürəkkəb sxemlər yaratmaq və çip performansını yaxşılaşdırmaq üçün yüksək dəqiqlik və dəqiqlik tələb edir. Litoqrafiya avadanlığı, görüntüləri gofretə ötürmək üçün işıq istifadə edən Stepper və skaner sistemləri daxildir. Litoqrafiya prosesi titrəmə və istilik dəyişikliklərinə yüksək həssas olduğu üçün, litoqrafiya prosesinin sabitliyini və təkrarlanmasını təmin etmək üçün yüksək keyfiyyətli bir yataq vacibdir. Qranit çarpayılar, Litoqrafiya sistemləri üçün lazımi sabitliyi və sərt vibrasiya sönmə performansını təmin edir. Qranit yatağı, Stepper və ya Skaner sisteminə yüksək dəqiqlik və son məhsul keyfiyyətini təmin edən dəqiq məkan münasibətlərini qorumağa imkan verir.
Yoxlama avadanlığı yarımkeçirici cihazlarda hər hansı bir qüsuru aşkar etmək üçün istifadə olunur. Təftiş avadanlıqlarına lazer skaner mikroskopları, elektron mikroskoplar və optik mikroskoplar kimi sistemlər daxildir. Bu cihazların çox dəqiq, sabit və vibrasiya davamlı olması ehtiyacı olan qranit çarpayılar mükəmməl materialdır. Qranitin mexaniki xüsusiyyətləri və təftiş cihazlarının çıxışının düzgünlüyünü artıran vibrasiya təcridxanasında ölçülü sabitlik kömək edir.
Sonda qranit yatağı yarımkeçirici sənayesinə çox vacibdir və müxtəlif növ avadanlıqlarda geniş istifadə olunur. Ölçülü sabitlik, aşağı istilik genişləndirmə əmsalı və əla mexaniki sabitlik kimi özünəməxsus xüsusiyyətləri yarımkeçirici avadanlıqların çarpayı materialı üçün ideal seçimdir. Yüksək keyfiyyətli qranit yatağı lazımi sabitliyi, dəqiqliyi və yarımkeçirici avadanlıqlara qarşı titrəmə müqavimətini təmin etdikcə, nəticədə son məhsulun keyfiyyətini yaxşılaşdırır. Buna görə, yarımkeçirici avadanlıqlarda qranit yatağının istifadəsi illərlə davam edəcəyinə əmindir.
Time vaxt: Apr-03-2024