Qranit yatağı müxtəlif yarımkeçirici cihazlarda vacib bir komponentdir. Yüksək dərəcədə sabit və sərt bir material olaraq, qranit yarımkeçirici emal avadanlığı üçün əsas kimi geniş istifadə olunur. Aşağı istilik genişlənmə əmsalı, yüksək ölçülü stabilliyi və əla mexaniki xüsusiyyətləri ilə xarakterizə olunur. Bu xüsusiyyətlərinə görə, qranit yatağı ən çox üç müxtəlif yarımkeçirici cihaz növündə - metrologiya avadanlıqlarında, litoqrafiya avadanlıqlarında və yoxlama avadanlıqlarında istifadə olunur.
Metrologiya avadanlıqları yarımkeçirici cihazların kritik ölçülərini ölçmək və aşkar etmək üçün istifadə olunur. Bu avadanlıq yarımkeçirici istehsal prosesinin keyfiyyətini və ardıcıllığını qorumaqda mühüm rol oynayır. Metrologiya avadanlıqlarına optik mikroskoplar, elektron mikroskopları və atom qüvvəsi mikroskopları (AQM) kimi alətlər daxildir. Bu ölçmə alətlərinin performansı onların sabitliyindən, dəqiqliyindən və vibrasiya müqavimətindən asılı olduğundan, qranit onların yataq materialı üçün ideal seçimdir. Qranit yatağının vahidliyi və sabitliyi alətlər üçün sabit bir platforma təmin edir ki, bu da onların dəqiqliyini və etibarlılığını artırır.
Litoqrafiya avadanlığı lövhədə mikroçip naxışlarının hazırlanması üçün istifadə olunur. Litoqrafiya prosesi mürəkkəb sxemlər yaratmaq və çip performansını yaxşılaşdırmaq üçün yüksək səviyyədə dəqiqlik və dəqiqlik tələb edir. Litoqrafiya avadanlığı, lövhəyə şəkilləri ötürmək üçün işıqdan istifadə edən pilləli və skaner sistemlərini əhatə edir. Litoqrafiya prosesi vibrasiya və istilik dəyişikliklərinə yüksək həssas olduğundan, litoqrafiya prosesinin sabitliyini və təkrarlanmasını təmin etmək üçün yüksək keyfiyyətli bir təbəqə vacibdir. Qranit təbəqələr litoqrafiya sistemləri üçün tələb olunan sabitliyi və sərt vibrasiya söndürmə performansını təmin edir. Qranit təbəqə, pilləli və ya skaner sisteminə yüksək dəqiqliyi və son məhsul keyfiyyətini təmin edən dəqiq məkan əlaqələrini saxlamağa imkan verir.
Yarımkeçirici cihazlardakı hər hansı bir qüsuru aşkar etmək üçün yoxlama avadanlığı istifadə olunur. Yoxlama avadanlığına lazer skanlama mikroskopları, elektron mikroskopları və optik mikroskoplar kimi sistemlər daxildir. Bu cihazların yüksək dəqiqliyə, sabitliyə və vibrasiyaya davamlılığa ehtiyac duyulduğu üçün qranit yataqları mükəmməl materialdır. Qranitin mexaniki xüsusiyyətləri və ölçülü sabitliyi vibrasiya izolyasiyasına kömək edir ki, bu da yoxlama avadanlığının çıxışının dəqiqliyini artırır.
Nəticə olaraq, qranit təbəqəsi yarımkeçirici sənayesi üçün çox vacibdir və müxtəlif növ avadanlıqlarda geniş istifadə olunur. Ölçü sabitliyi, aşağı istilik genişlənmə əmsalı və əla mexaniki sabitlik kimi unikal xüsusiyyətləri qraniti yarımkeçirici avadanlıqların təbəqə materialı üçün ideal seçim halına gətirir. Yüksək keyfiyyətli qranit təbəqəsi yarımkeçirici avadanlıqlara lazımi sabitlik, dəqiqlik və vibrasiya müqavimətini təmin etdiyindən, nəticədə son məhsulun keyfiyyətini artırır. Buna görə də, yarımkeçirici avadanlıqlarda qranit təbəqəsinin istifadəsi illərdir davam edəcəyinə əminik.
Yazı vaxtı: 03 Aprel 2024