Yarımkeçirici istehsalın dəqiq zəncirində lövhə ötürmə sistemi "çip istehsal xəttinin həyat xətti" kimidir və onun sabitliyi və dəqiqliyi çiplərin məhsuldarlıq sürətini birbaşa müəyyən edir. Yeni nəsil lövhə ötürmə sistemləri xətti mühərrikləri qranit əsaslarla inqilabi şəkildə birləşdirir və qranit materiallarının unikal üstünlükləri yüksək performanslı ötürmənin kilidini açmaq üçün əsas koddur.
Qranit əsas: Sabit ötürülmə üçün "qaya kimi möhkəm təməl" qurmaq
Yüz milyonlarla il geoloji təmizlənmədən keçmiş qranit sıx və vahid daxili mineral kristallaşmaya malikdir. Bu təbii xüsusiyyət onu lövhə ötürmə sistemləri üçün ideal əsas material halına gətirir. Yarımkeçirici təmiz otaqların mürəkkəb mühitində, ultra aşağı istilik genişlənmə əmsalı (yalnız 5-7 × 10⁻⁶/℃) olan qranit, avadanlıqların istismarı zamanı yaranan istiliyə və ətraf mühitin temperatur dəyişikliklərinin təsirinə müqavimət göstərə bilər, baza ölçüsünün sabitliyini təmin edir və istilik deformasiyasının yaratdığı ötürmə yolunun sapmasının qarşısını alır. Onun üstün vibrasiya söndürmə performansı xətti mühərriklərin işə salınması, bağlanması və sürətləndirilməsi zamanı yaranan mexaniki vibrasiyaları, eləcə də emalatxanadakı digər avadanlıqların işləməsi nəticəsində yaranan xarici müdaxilələri tez bir zamanda udmaqla lövhə ötürməsi üçün "sıfır silkələnmə" ilə sabit bir platforma təmin edə bilər.
Bununla yanaşı, qranitin kimyəvi stabilliyi, turşu və qələvi reagentlərinin uçucu olduğu və yüksək təmizlik tələb olunduğu yarımkeçirici emalatxanalarda onun korroziyaya uğramamasını və ya paslanmamasını təmin edir və beləliklə, materialın yaşlanması və ya çirkləndiricilərin adsorbsiyası səbəbindən ötürülmə dəqiqliyinə təsirin qarşısını alır. Hamar və sıx səth xüsusiyyətləri toz yapışmasını daha effektiv şəkildə azalda bilər, təmiz otaqların ciddi tozsuzluq standartlarına cavab verir və lövhənin kökdən çirklənmə riskini aradan qaldırır.
Xətti mühərriklər və qranitin "qızıl tərəfdaşlıq" effekti
Mexaniki ötürmə boşluğunun olmaması, yüksək sürətlənmə və yüksək cavab sürəti kimi xüsusiyyətləri ilə xətti mühərriklər lövhə ötürməsinə "sürətli, dəqiq və sabit" üstünlükləri qazandırır. Qranit əsas onun üçün möhkəm və etibarlı bir dəstək platforması təmin edir. İkisi birlikdə performansda sıçrayışa nail olmaq üçün çalışır. Xətti mühərrik lövhə daşıyıcısını qranit əsas yolunda işləməyə məcbur etdikdə, əsasın güclü sərtliyi və sabitliyi mühərrikin hərəkətverici qüvvəsinin səmərəli ötürülməsini təmin edir və əsasın deformasiyasından qaynaqlanan qüvvə itkisinin və ya ötürmə gecikməsinin qarşısını alır.
Nanomiqyaslı dəqiqliyə olan tələbatdan irəli gələrək, xətti mühərriklər submikron səviyyəli yerdəyişmə nəzarətinə nail ola bilər. Qranit əsasların yüksək dəqiqlikli emal xüsusiyyətləri (müstəvi xətaları ±1μm daxilində idarə olunur) xətti mühərriklərin dəqiq idarə olunmasına mükəmməl uyğun gəlir və lövhə ötürülməsi zamanı yerləşdirmə xətasının ±5μm-dən az olmasını təmin edir. İstər müxtəlif proses avadanlıqları arasında yüksək sürətli servis, istərsə də lövhə təhvil verilməsi üçün dəqiq dayanacaq olsun, xətti mühərriklərin və qranit əsasların birləşməsi lövhə ötürülməsində "sıfır sapma və sıfır titrəmə" təmin edə bilər.
Sənaye təcrübəsinin yoxlanılması: Səmərəlilik və məhsuldarlıq nisbətində ikiqat artım
Plitələr ötürmə sistemini təkmilləşdirdikdən sonra aparıcı qlobal yarımkeçirici müəssisə xətti mühərrik + qranit əsaslı həll yolu tətbiq etdi ki, bu da plitələr ötürmə səmərəliliyini 40% artırdı, ötürmə prosesi zamanı toqquşma və ofset kimi nasazlıqların baş vermə nisbətini 85% azaldı və çiplərin ümumi məhsuldarlıq nisbətini 6% artırdı. Məlumatların arxasında qranit əsas tərəfindən təmin edilən ötürmə sabitliyinin zəmanəti və xətti mühərrikin yüksək sürətli və dəqiq sinergiya effekti dayanır ki, bu da plitələr ötürmə prosesində itkini və səhvi əhəmiyyətli dərəcədə azaldır.
Material xüsusiyyətlərindən dəqiq istehsala, performans üstünlüklərindən praktik yoxlamaya qədər xətti mühərriklərin və qranit əsaslarının birləşməsi lövhə ötürmə sistemlərinin standartlarını yenidən müəyyənləşdirib. Gələcəkdə yarımkeçirici texnologiya 3nm və 2nm proseslərə doğru irəlilədikdə, qranit materialları əvəzolunmaz üstünlükləri ilə sənayenin inkişafına güclü təkan verməyə davam edəcək.
Yayımlanma vaxtı: 14 may 2025