Yarımkeçirici istehsalının dəqiq zəncirində vafli ötürmə sistemi "çip istehsal xəttinin həyat xətti" kimidir və onun sabitliyi və dəqiqliyi çiplərin məhsuldarlığını birbaşa müəyyənləşdirir. Yeni nəsil vafli ötürmə sistemləri inqilabi şəkildə xətti mühərrikləri qranit əsaslarla birləşdirir və qranit materialların unikal üstünlükləri məhz yüksək performanslı ötürmənin kilidini açmaq üçün əsas koddur.
.
Qranit baza: Stabil ötürülmə üçün "daş kimi möhkəm təməl" qurmaq
Yüz milyonlarla il geoloji təmizlənmədən keçən qranit sıx və vahid daxili mineral kristallaşmaya malikdir. Bu təbii xüsusiyyət onu vafli transfer sistemləri üçün ideal əsas material edir. Yarımkeçirici təmiz otaqların mürəkkəb mühitində, ultra aşağı istilik genişlənmə əmsalı (yalnız 5-7 × 10⁻⁶/℃) olan qranit, avadanlığın istismarı zamanı yaranan istiliyə və ətraf mühitin temperaturunun dəyişməsinin təsirinə müqavimət göstərə bilər, baza ölçüsünün sabitliyini təmin edir və istilik nəticəsində ötürülmə yolunun sapmasının qarşısını alır. Onun əla vibrasiya sönümləmə performansı xətti mühərriklərin işə salınması, dayandırılması və sürətləndirilməsi zamanı yaranan mexaniki vibrasiyaları, eləcə də emalatxanada digər avadanlıqların işləməsi nəticəsində yaranan xarici müdaxilələri tez bir zamanda mənimsəyə bilir, vafli ötürülməsi üçün "sıfır silkələnmə" ilə sabit platforma təmin edir. .
Eyni zamanda, qranit kimyəvi sabitliyi turşu və qələvi reagentlərin uçucu olduğu və yüksək təmizliyin tələb olunduğu yarımkeçirici emalatxanalarında onun korroziyaya uğramamasını və paslanmamasını təmin edir, beləliklə, materialın yaşlanması və ya çirkləndirici adsorbsiya səbəbindən ötürülmə dəqiqliyinə təsirdən qaçınır. Hamar və sıx səth xüsusiyyətləri tozun yapışmasını daha effektiv şəkildə azalda bilər, təmiz otaqların ciddi tozsuz standartlarına cavab verir və vaflinin kökündən çirklənməsi riskini aradan qaldırır. .
Xətti mühərriklərin və qranitlərin "qızıl tərəfdaşlıq" effekti
Xətti mühərriklər mexaniki ötürmə boşluğunun olmaması, yüksək sürətlənmə və yüksək cavab sürəti xüsusiyyətləri ilə vafli ötürülməni "sürətli, dəqiq və sabit" üstünlükləri ilə bəxş edir. Qranit bazası onun üçün möhkəm və etibarlı dəstək platforması təmin edir. İkisi performansda sıçrayış əldə etmək üçün birlikdə işləyirlər. Xətti mühərrik vafli daşıyıcını qranit əsas yolda işləmək üçün idarə edərkən, bazanın güclü sərtliyi və dayanıqlığı, əsas deformasiya nəticəsində yaranan qüvvə itkisi və ya ötürülmə gecikməsindən qaçaraq, motor hərəkətverici qüvvəsinin səmərəli ötürülməsini təmin edir. .
Nanoölçülü dəqiqliyə olan tələbatdan irəli gələn xətti mühərriklər mikronaltı səviyyəli yerdəyişmə nəzarətinə nail ola bilər. Qranit əsasların yüksək dəqiqlikli emal xüsusiyyətləri (±1μm daxilində idarə olunan düzlük xətaları ilə) xətti mühərriklərin dəqiq idarə edilməsinə mükəmməl uyğun gəlir və birlikdə vafli ötürülməsi zamanı yerləşdirmə xətasının ±5μm-dən az olmasını təmin edir. İstər müxtəlif texnoloji avadanlıqlar arasında yüksək sürətli nəqliyyat, istərsə də vafli təhvil verilməsi üçün dəqiq dayanacaq, xətti mühərriklər və qranit əsasların birləşməsi vafli ötürülməsində "sıfır sapma və sıfır titrəmə" təmin edə bilər. .
Sənaye təcrübəsinin yoxlanılması: Səmərəlilik və gəlir nisbətində ikiqat yaxşılaşma
Vafli ötürmə sistemini təkmilləşdirdikdən sonra aparıcı qlobal yarımkeçirici müəssisə, vafli ötürmə səmərəliliyini 40% artıran, ötürmə prosesi zamanı toqquşma və ofset kimi nasazlıqların baş vermə dərəcəsini 85% azaltan və çiplərin ümumi məhsuldarlığını 6% yaxşılaşdıran xətti mühərrik + qranit baza həllini qəbul etdi. Məlumatların arxasında qranit baza ilə təmin edilən ötürmə sabitliyinin zəmanəti və vafli ötürülmə prosesində itki və xətanı əhəmiyyətli dərəcədə azaldan xətti mühərrikin yüksək sürətli və dəqiq sinerji effekti dayanır. .
Material xüsusiyyətlərindən dəqiq istehsala, performans üstünlüklərindən praktiki yoxlamaya qədər xətti mühərriklər və qranit əsasların birləşməsi vafli transfer sistemlərinin standartlarını yenidən müəyyənləşdirdi. Gələcəkdə yarımkeçirici texnologiya 3nm və 2nm proseslərə doğru irəlilədikdə, qranit materialları əvəzolunmaz üstünlükləri ilə mütləq sənayenin inkişafına güclü təkan verməyə davam edəcəkdir.
Göndərmə vaxtı: 14 may 2025-ci il