Dəqiq ölçmə sahəsində, əla sabitliyi, yüksək sərtliyi və yaxşı aşınma müqaviməti ilə qranit dəqiq platforması, bir çox yüksək dəqiqlikli ölçmə işləri üçün ideal təməl dəstəyi olmuşdur. Bununla belə, ətraf mühit amillərindəki temperatur dalğalanmaları, məsələn, qaranlıqda gizlənmiş "dəqiq qatil" qranit dəqiqlik platformasının ölçmə dəqiqliyinə əhəmiyyətsiz təsir göstərir. Ölçmə işinin dəqiqliyini və etibarlılığını təmin etmək üçün təsir həddini dərindən araşdırmaq böyük əhəmiyyət kəsb edir.
Qranit sabitliyi ilə tanınsa da, temperaturun dəyişməsinə qarşı immun deyil. Onun əsas komponentləri kvars, feldispat və müxtəlif temperaturlarda termal genişlənmə və büzülmə fenomeni yaradan digər minerallardır. Ətraf mühitin temperaturu yüksəldikdə, qranit dəqiq platforma qızdırılır və genişləndirilir və platformanın ölçüsü bir qədər dəyişəcəkdir. Temperatur aşağı düşdükdə o, əvvəlki vəziyyətinə qayıdır. Görünən kiçik ölçülü dəyişikliklər, dəqiq ölçmə ssenarilərində ölçmə nəticələrinə təsir edən əsas amillərə çevrilə bilər.
Nümunə kimi qranit platformasına uyğun ümumi koordinat ölçmə alətini götürsək, yüksək dəqiqlikli ölçmə tapşırığında ölçmə dəqiqliyi tələbləri tez-tez mikron səviyyəsinə və ya daha yüksək səviyyəyə çatır. Güman edilir ki, standart 20℃ temperaturda platformanın müxtəlif ölçülü parametrləri ideal vəziyyətdədir və iş parçasını ölçməklə dəqiq məlumat əldə etmək olar. Ətraf mühitin temperaturu dəyişdikdə vəziyyət çox fərqlidir. Çox sayda eksperimental məlumat statistikası və nəzəri təhlildən sonra, normal şəraitdə ətraf mühitin temperaturu 1 ℃ dəyişməsi, qranit dəqiq platformasının xətti genişlənməsi və ya daralması təxminən 5-7 × 10⁻⁶/℃ təşkil edir. Bu o deməkdir ki, yan uzunluğu 1 metr olan qranit platforması üçün temperatur 1 ° C dəyişərsə, yan uzunluğu 5-7 mikron dəyişə bilər. Dəqiq ölçmələrdə ölçüdə belə bir dəyişiklik məqbul diapazondan kənarda ölçmə səhvlərinə səbəb olmaq üçün kifayətdir.
Müxtəlif dəqiqlik səviyyələri üçün tələb olunan ölçmə işləri üçün temperatur dəyişməsinin təsir həddi də fərqlidir. Mexanik hissələrin ölçüsünün ölçülməsi kimi adi dəqiq ölçmədə, icazə verilən ölçmə xətası ±20 mikron daxilində olarsa, yuxarıda göstərilən genişlənmə əmsalı hesablamalarına görə, platformanın ölçüsünün məqbul səviyyədə dəyişməsi nəticəsində yaranan ölçmə xətasına nəzarət etmək üçün temperatur dəyişikliyinə ± 3-4 ℃ aralığında nəzarət etmək lazımdır. Yarımkeçirici çip istehsalında litoqrafiya prosesinin ölçülməsi kimi yüksək dəqiqlik tələbləri olan ərazilərdə xətaya ±1 mikron daxilində icazə verilir və temperatur dəyişikliyinə ± 0,1-0,2 ° C daxilində ciddi nəzarət edilməlidir. Temperaturun dəyişməsi bu həddi aşdıqdan sonra, termik genişlənmə və ölçmə nəticələrinə təsir göstərə bilər ki, bu da ölçmə nəticələrinə təsir göstərə bilər. çip istehsalının məhsuldarlığı.
Qranit dəqiq platformanın ölçü dəqiqliyinə ətraf mühitin temperaturu dəyişməsinin təsiri ilə məşğul olmaq üçün praktiki işdə çox vaxt bir çox tədbirlər qəbul edilir. Məsələn, çox kiçik diapazonda temperaturun dəyişməsinə nəzarət etmək üçün ölçmə mühitində yüksək dəqiqlikli sabit temperatur avadanlığı quraşdırılır; Temperatur kompensasiyası ölçmə məlumatları üzrə həyata keçirilir və ölçmə nəticələri platformanın istilik genişlənmə əmsalına və real vaxt rejimində temperatur dəyişikliklərinə uyğun olaraq proqram alqoritmi ilə düzəldilir. Bununla belə, hansı tədbirlərin görülməsindən asılı olmayaraq, ətraf mühitin temperaturu dalğalanmalarının qranit dəqiq platformanın ölçmə dəqiqliyinə təsirinin dəqiq və dəqiq başa düşülməsi dəqiq və etibarlı ölçmə işinin təmin edilməsinin əsas şərtidir.
Göndərmə vaxtı: 03 aprel 2025-ci il