Dəqiq ölçmə sahəsində əla stabilliyi, yüksək sərtliyi və yaxşı aşınma müqaviməti ilə qranit dəqiq platforma bir çox yüksək dəqiqlikli ölçmə işləri üçün ideal təməl dayağa çevrilmişdir. Bununla belə, ətraf mühit amillərindəki temperatur dalğalanmaları, qaranlıqda gizlənən "dəqiqlik qatili" kimi, qranit dəqiq platformasının ölçmə dəqiqliyinə əhəmiyyətsiz dərəcədə təsir göstərir. Ölçmə işinin dəqiqliyini və etibarlılığını təmin etmək üçün təsir həddini dərindən araşdırmaq çox vacibdir.
Qranit sabitliyi ilə tanınsa da, temperatur dəyişikliklərinə qarşı immunitetli deyil. Onun əsas komponentləri kvars, feldispat və digər minerallardır ki, bunlar da müxtəlif temperaturlarda istilik genişlənməsi və daralması fenomeninə səbəb olur. Ətraf mühitin temperaturu yüksəldikdə, qranit dəqiq platforma qızdırılır və genişlənir və platformanın ölçüsü bir qədər dəyişəcək. Temperatur düşəndə o, əvvəlki vəziyyətinə qayıdacaq. Görünür kiçik ölçülü dəyişikliklər dəqiq ölçmə ssenarilərində ölçmə nəticələrinə təsir edən əsas amillərə çevrilə bilər.
Ümumi koordinat ölçmə cihazını uyğunlaşdıran qranit platformasını nümunə götürsək, yüksək dəqiqlikli ölçmə tapşırığında ölçmə dəqiqliyi tələbləri çox vaxt mikron səviyyəsinə və ya daha yüksək səviyyəyə çatır. 20℃ standart temperaturda platformanın müxtəlif ölçülü parametrlərinin ideal vəziyyətdə olduğu və iş parçasını ölçməklə dəqiq məlumatların əldə edilə biləcəyi güman edilir. Ətraf mühitin temperaturu dəyişdikdə vəziyyət çox fərqlidir. Çox sayda eksperimental məlumat statistikası və nəzəri təhlildən sonra, normal şəraitdə ətraf mühitin temperaturu 1℃ dəyişdikdə, qranit dəqiq platformanın xətti genişlənməsi və ya daralması təxminən 5-7 × 10⁻⁶/℃ təşkil edir. Bu o deməkdir ki, yan uzunluğu 1 metr olan qranit platforma üçün temperatur 1°C dəyişdikdə yan uzunluğu 5-7 mikron dəyişə bilər. Dəqiq ölçmələrdə ölçüdə belə bir dəyişiklik ölçmə xətalarının məqbul diapazondan kənara çıxmasına səbəb olmaq üçün kifayətdir.
Müxtəlif dəqiqlik səviyyələri tərəfindən tələb olunan ölçmə işləri üçün temperatur dalğalanmasının təsir həddi də fərqlidir. Adi dəqiq ölçmələrdə, məsələn, mexaniki hissələrin ölçü ölçülməsində, icazə verilən ölçmə xətası ±20 mikron daxilindədirsə, yuxarıdakı genişlənmə əmsalı hesablamasına əsasən, platforma ölçüsünün dəyişməsindən qaynaqlanan ölçmə xətasını məqbul səviyyədə idarə etmək üçün temperatur dalğalanması ± 3-4 ℃ diapazonunda idarə olunmalıdır. Yarımkeçirici çip istehsalında litoqrafiya prosesinin ölçülməsi kimi yüksək dəqiqlik tələbləri olan sahələrdə xəta ± 1 mikron daxilində icazə verilir və temperatur dalğalanması ± 0,1-0,2 ° C daxilində ciddi şəkildə idarə olunmalıdır. Temperatur dalğalanması bu həddi aşdıqdan sonra, qranit platformasının istilik genişlənməsi və büzülməsi ölçmə nəticələrində sapmalara səbəb ola bilər ki, bu da çip istehsalının məhsuldarlığına təsir göstərəcək.
Ətraf mühit temperaturunun dəyişməsinin qranit dəqiqlik platformasının ölçmə dəqiqliyinə təsirini aradan qaldırmaq üçün praktik işlərdə tez-tez bir çox tədbirlər görülür. Məsələn, temperaturun dəyişməsini çox kiçik bir diapazonda idarə etmək üçün ölçmə mühitində yüksək dəqiqlikli sabit temperatur avadanlığı quraşdırılır; Ölçmə məlumatları üzərində temperatur kompensasiyası aparılır və ölçmə nəticələri platformanın istilik genişlənmə əmsalına və real vaxt temperatur dəyişikliklərinə uyğun olaraq proqram alqoritmi ilə düzəldilir. Lakin, hansı tədbirlər görülməsindən asılı olmayaraq, ətraf mühit temperaturunun dəyişməsinin qranit dəqiqlik platformasının ölçmə dəqiqliyinə təsirinin dəqiq başa düşülməsi dəqiq və etibarlı ölçmə işinin təmin edilməsinin əsas şərtidir.
Yazı vaxtı: 03 Aprel 2025