Qranit komponentləri, üstün səthi bitirmə, yüksək sərtlik və əla vibrasiya sönümləmə kimi əla xüsusiyyətlərinə görə yarımkeçirici istehsal prosesində geniş istifadə edilmişdir.Qranit komponentləri litoqrafiya maşınları, cilalama maşınları və metrologiya sistemləri də daxil olmaqla yarımkeçirici istehsal avadanlığı üçün vacibdir, çünki onlar istehsal prosesi zamanı dəqiq yerləşdirmə və sabitliyi təmin edir.Qranit komponentlərinin istifadəsinin bütün üstünlüklərinə baxmayaraq, onların da qüsurları var.Bu yazıda yarımkeçirici istehsal prosesi məhsulları üçün qranit komponentlərinin qüsurlarını müzakirə edəcəyik.
Birincisi, qranit komponentləri yüksək istilik genişlənmə əmsalı var.Bu o deməkdir ki, onlar istilik gərginliyi altında əhəmiyyətli dərəcədə genişlənir və bu, istehsal prosesində problemlər yarada bilər.Yarımkeçiricilərin istehsalı prosesi yüksək dəqiqlik və ölçü dəqiqliyi tələb edir ki, bu da istilik gərginliyi səbəbindən pozula bilər.Məsələn, istilik genişlənməsi səbəbindən silikon plastin deformasiyası litoqrafiya zamanı uyğunlaşma problemlərinə səbəb ola bilər ki, bu da yarımkeçirici cihazın keyfiyyətini poza bilər.
İkincisi, qranit komponentlərində yarımkeçirici istehsal prosesində vakuum sızmasına səbəb ola biləcək məsamə qüsurları var.Sistemdə havanın və ya hər hansı digər qazın olması vaflinin səthində çirklənməyə səbəb ola bilər və nəticədə yarımkeçirici cihazın işinə təsir edə biləcək qüsurlar yarana bilər.Arqon və helium kimi inert qazlar məsaməli qranit komponentlərinə sızaraq vakuum prosesinin bütövlüyünə mane ola biləcək qaz qabarcıqları yarada bilər.
Üçüncüsü, qranit komponentlərində istehsal prosesinin dəqiqliyinə mane ola biləcək mikro qırıqlar var.Qranit, xüsusilə daimi gərginlik dövrlərinə məruz qaldıqda, zamanla mikro qırılmalar yarada bilən kövrək bir materialdır.Mikroqırıqların mövcudluğu ölçüdə qeyri-sabitliyə gətirib çıxara bilər ki, bu da istehsal prosesi zamanı litoqrafiyanın düzülməsi və ya vafli cilalanması kimi əhəmiyyətli problemlərə səbəb ola bilər.
Dördüncüsü, qranit komponentləri məhdud elastikliyə malikdir.Yarımkeçiricilərin istehsalı prosesi müxtəlif proses dəyişikliklərinə uyğunlaşa bilən çevik avadanlıq tələb edir.Bununla belə, qranit komponentləri sərtdir və müxtəlif proses dəyişikliklərinə uyğunlaşa bilmir.Buna görə də, istehsal prosesindəki hər hansı dəyişiklik qranit komponentlərinin çıxarılmasını və ya dəyişdirilməsini tələb edir, bu da fasilələrə səbəb olur və məhsuldarlığa təsir göstərir.
Beşincisi, qranit komponentləri çəkisi və kövrəkliyinə görə xüsusi rəftar və daşınma tələb edir.Qranit kranlar və qaldırıcılar kimi xüsusi daşıma avadanlığı tələb edən sıx və ağır materialdır.Əlavə olaraq, qranit komponentləri əlavə xərclərə və vaxta səbəb olan daşınma zamanı zədələnmənin qarşısını almaq üçün diqqətli qablaşdırma və daşınma tələb edir.
Nəticə olaraq, qranit komponentlərinin yarımkeçirici istehsal prosesi məhsullarının keyfiyyətinə və məhsuldarlığına təsir göstərə biləcək bəzi çatışmazlıqları var.Bu qüsurları qranit komponentlərinin diqqətlə idarə edilməsi və saxlanması, o cümlədən mikroqırıqlar və gözeneklilik qüsurlarının dövri yoxlaması, çirklənmənin qarşısını almaq üçün düzgün təmizləmə və daşınma zamanı diqqətli davranma yolu ilə minimuma endirilə bilər.Qüsurlara baxmayaraq, qranit komponentləri üstün səth örtüyü, yüksək sərtlik və əla vibrasiya sönümləmə qabiliyyətinə görə yarımkeçirici istehsal prosesinin vacib hissəsi olaraq qalır.
Göndərmə vaxtı: 05 dekabr 2023-cü il