Granite komponentləri, üstün səthin sonu, yüksək sərtlik və əla titrəmə nəmlənməsi kimi əla xüsusiyyətləri səbəbindən yarımkeçirici istehsal prosesində geniş istifadə edilmişdir. Qranit komponentləri, istehsal prosesi zamanı dəqiq yerləşdirmə və sabitlik təmin etdikləri üçün litoqrafiya maşınları, cilalama maşınları və metrologiya sistemləri də daxil olmaqla yarımkeçirici istehsal avadanlığı üçün vacibdir. Qranit komponentlərindən istifadə etmək bütün üstünlüklərə baxmayaraq, onlar da qüsurları var. Bu yazıda, yarımkeçirici istehsal prosesi məhsulları üçün qranit komponentlərinin qüsurlarını müzakirə edəcəyik.
Birincisi, qranit komponentlərinin yüksək istilik genişləndirilməsi əmsalı var. İstehsal prosesi zamanı problem yarada biləcək istilik stressində əhəmiyyətli dərəcədə genişləndikləri deməkdir. Yarımkeçirici istehsal prosesi istilik stresinə görə güzəştə gedən yüksək dəqiqlik və ölçülü dəqiqlik tələb edir. Məsələn, istilik genişlənməsi səbəbindən silikon vafleri deformasiyası, yarımkeçirici cihazın keyfiyyətinə güzəştə gedə biləcək litoqrafiya zamanı hizalanma məsələlərinə səbəb ola bilər.
İkincisi, qranit komponentləri yarımkeçirici istehsal prosesində vakuum sızmasına səbəb ola biləcək məsaməsizlik qüsurları var. Havanın və ya sistemdəki hər hansı digər qazın olması, boşalma cihazının performansına təsir edə biləcək qüsurlarla vafferin səthində çirklənməyə səbəb ola bilər. Argon və Helium kimi inert qazlar məsaməli qranit komponentlərinə görə bilər və vakuum prosesinin bütövlüyünə qarışa biləcək qaz baloncukları yarada bilər.
Üçüncüsü, qranit komponentlərinin istehsal prosesinin dəqiqliyinə mane ola biləcək mikrofraktlar var. Qranit, zamanla mikrofakturaların inkişaf etdirə biləcəyi kövrək bir materialdır, xüsusən daimi stres dövrlərinə məruz qaldıqda. Mikrofraktların olması, istehsal prosesində, litoqrafiya hizalanması və ya vaffer cilalanması zamanı əhəmiyyətli məsələlərə səbəb olan ölçülü qeyri-sabitliyə səbəb ola bilər.
Dördüncü, qranit komponentlərinin məhdud rahatlığı var. Yarımkeçirici istehsal prosesi müxtəlif proses dəyişiklikləri qəbul edə biləcək çevik avadanlıq tələb edir. Bununla birlikdə, qranit komponentləri sərtdir və fərqli proses dəyişikliklərinə uyğunlaşa bilməz. Buna görə istehsal prosesindəki hər hansı bir dəyişiklik, qranit komponentlərinin çıxarılmasını və ya dəyişdirilməsini tələb edir, iş vaxtı və məhsuldarlığa təsir edir.
Beşinci, qranit komponentləri çəki və kövrəkliyi səbəbindən xüsusi işləmə və nəqliyyat tələb edir. Granite, kranlar və qaldırıcılar kimi xüsusi idarəetmə avadanlıqlarını tələb edən sıx və ağır bir materialdır. Bundan əlavə, qranit komponentləri daşınma zamanı zərərin qarşısını almaq üçün diqqətli qablaşdırma və nəqliyyat tələb edir, əlavə xərclərə və vaxta səbəb olur.
Sonda qranit komponentlərinin yarımkeçirici istehsal prosesi məhsullarının keyfiyyəti və məhsuldarlığına təsir göstərə biləcək bir sıra çatışmazlıqlar var. Bu qüsurları mikrofrakturalar və məsaməsizlik qüsurları, çirklənmənin qarşısını almaq üçün düzgün təmizlik, o cümlədən kranit komponentlərinin diqqətlə işlənməsi və nəqliyyat zamanı düzgün təmizlənmə və diqqətlə təmizlənmə yolu ilə minimuma endirilə bilər. Qüsurlara baxmayaraq, qranit komponentləri üstün səthinin sonu, yüksək sərtliyi və əla titrəmə nəmlənməsi səbəbindən yarımkeçirici istehsal prosesinin vacib hissəsi olaraq qalır.
Saat: Dekabr-05-2023