Qranit komponentləri, üstün səth örtüyü, yüksək sərtlik və əla vibrasiya söndürmə kimi əla xüsusiyyətlərinə görə yarımkeçirici istehsal prosesində geniş istifadə olunur. Qranit komponentləri, istehsal prosesi zamanı dəqiq yerləşdirmə və sabitlik təmin etdiyi üçün litoqrafiya maşınları, cilalama maşınları və metrologiya sistemləri də daxil olmaqla, yarımkeçirici istehsal avadanlıqları üçün vacibdir. Qranit komponentlərindən istifadənin bütün üstünlüklərinə baxmayaraq, onların da qüsurları var. Bu məqalədə yarımkeçirici istehsal prosesi məhsulları üçün qranit komponentlərinin qüsurlarını müzakirə edəcəyik.
Birincisi, qranit komponentləri yüksək istilik genişlənmə əmsalına malikdir. Bu o deməkdir ki, onlar istilik gərginliyi altında əhəmiyyətli dərəcədə genişlənir və bu da istehsal prosesi zamanı problemlərə səbəb ola bilər. Yarımkeçirici istehsal prosesi istilik gərginliyi səbəbindən pozula bilən yüksək dəqiqlik və ölçülü dəqiqlik tələb edir. Məsələn, istilik genişlənməsi səbəbindən silisium lövhənin deformasiyası litoqrafiya zamanı uyğunlaşma problemlərinə səbəb ola bilər ki, bu da yarımkeçirici cihazın keyfiyyətini aşağı sala bilər.
İkincisi, qranit komponentlərində yarımkeçirici istehsal prosesində vakuum sızmalarına səbəb ola biləcək məsaməlilik qüsurları var. Sistemdə havanın və ya hər hansı digər qazın olması lövhənin səthində çirklənməyə səbəb ola bilər və bu da yarımkeçirici cihazın işinə təsir edə biləcək qüsurlara səbəb ola bilər. Arqon və helium kimi inert qazlar məsaməli qranit komponentlərinə sızaraq vakuum prosesinin bütövlüyünə mane ola biləcək qaz qabarcıqları yarada bilər.
Üçüncüsü, qranit komponentlərində istehsal prosesinin dəqiqliyinə mane ola biləcək mikro sınıqlar var. Qranit, xüsusən də daimi gərginlik dövrlərinə məruz qaldıqda zamanla mikro sınıqlar əmələ gətirə bilən kövrək bir materialdır. Mikro sınıqların olması ölçü qeyri-sabitliyinə səbəb ola bilər və istehsal prosesi zamanı litoqrafiya hizalanması və ya lövhənin cilalanması kimi ciddi problemlərə səbəb ola bilər.
Dördüncüsü, qranit komponentlərinin məhdud elastikliyi var. Yarımkeçirici istehsal prosesi müxtəlif proses dəyişikliklərinə uyğunlaşa bilən çevik avadanlıq tələb edir. Lakin, qranit komponentləri sərtdir və müxtəlif proses dəyişikliklərinə uyğunlaşa bilmir. Buna görə də, istehsal prosesindəki hər hansı bir dəyişiklik qranit komponentlərinin çıxarılmasını və ya dəyişdirilməsini zəruri edir ki, bu da dayanmalara səbəb olur və məhsuldarlığa təsir göstərir.
Beşincisi, qranit komponentləri çəkisi və kövrəkliyinə görə xüsusi işləmə və daşınma tələb edir. Qranit, kranlar və qaldırıcılar kimi xüsusi işləmə avadanlıqları tələb edən sıx və ağır bir materialdır. Bundan əlavə, qranit komponentləri daşınma zamanı zədələnmənin qarşısını almaq üçün diqqətli qablaşdırma və daşınma tələb edir ki, bu da əlavə xərclərə və vaxta səbəb olur.
Nəticə olaraq, qranit komponentlərinin yarımkeçirici istehsal prosesinin məhsullarının keyfiyyətinə və məhsuldarlığına təsir göstərə biləcək bəzi çatışmazlıqları var. Bu qüsurlar, mikro sınıqlar və məsaməlilik qüsurları üçün dövri yoxlama, çirklənmənin qarşısını almaq üçün düzgün təmizləmə və daşınma zamanı diqqətli istifadə daxil olmaqla, qranit komponentlərinin diqqətlə işlənməsi və texniki xidməti ilə minimuma endirilə bilər. Qüsurlara baxmayaraq, qranit komponentləri üstün səth örtüyü, yüksək sərtliyi və əla vibrasiya söndürmə qabiliyyətinə görə yarımkeçirici istehsal prosesinin vacib bir hissəsi olaraq qalır.
Yazı vaxtı: 05 Dekabr 2023