Yüksək səviyyəli istehsal və qabaqcıl elmi tədqiqat sahələrində, dəqiq statik təzyiqli hava üzən hərəkət platforması ultra dəqiq işləməyə nail olmaq üçün əsas avadanlıqdır. Qranit həssas baza platformanın əsas dəstəkləyici hissəsidir və onun performansı iş mühiti ilə sıx bağlıdır. Bu ekoloji tələbləri başa düşmək və onlara cavab vermək təkcə platformanın yüksək dəqiqlikli işləməsini təmin edə bilməz, həm də aşağıda ətraflı təsvir olunan əlaqəli sahələrdə rəqabət qabiliyyətini artırmaq üçün müəssisənin mühüm hissəsidir.
1. Temperatur: ölçülü sabitliyi təmin etmək üçün dəqiq nəzarət
Qranit sabitliyi ilə tanınsa da, onun istilik genişlənmə əmsalı sıfır deyil və kiçik temperatur dəyişiklikləri hələ də onun ölçü dəqiqliyinə təsir göstərə bilər. Ümumiyyətlə, qranit istilik genişlənmə əmsalı 5-7 × 10⁻⁶/℃-dir. Dəqiq statik təzyiqli hava üzən hərəkət platformasının tətbiqi ssenarisində bu kiçik dəyişiklik platforma tərəfindən gücləndirilir və bu, hərəkət dəqiqliyindən kənara çıxmasına səbəb ola bilər. Məsələn, yarımkeçirici çip istehsalı prosesində, danami səviyyəsinin dəqiqlik tələblərinin yerləşdirilməsi üçün litoqrafiya prosesi, ətraf mühitin temperaturunun 1 ° C dəyişməsi, 1 metrlik qranit bazanın yan uzunluğu 5-7 mikron xətti genişlənmə və ya büzülmə yarada bilər ki, bu da çipin litoqrafiyasının inkişafını azaltmaq üçün kifayətdir. Buna görə də, qranit həssas baza ilə təchiz olunmuş dəqiq statik təzyiqli hava üzən platforma, ideal iş mühitinin temperaturu 20 ° C ± 1 ° C səviyyəsində ciddi şəkildə nəzarət edilməlidir, müəssisələr yüksək dəqiqlikli sabit temperaturlu kondisioner sistemi qura, ətraf mühitin temperaturunu davamlı olaraq izləyə və dəqiq tənzimləyə, qranit bazasının ölçüsünü qoruya bilər.
2.rütubət: ağlabatan nəzarət, baza performansını qorumaq
Rütubət də dəqiq qranit əsaslara əhəmiyyətli dərəcədə təsir göstərir. Yüksək rütubətli bir mühitdə qranit su buxarını udmaq asandır və səthdə kondensasiya ola bilər ki, bu da yalnız hava flotasiya sisteminin normal işləməsinə mane olmayacaq, həm də qranit səthinin uzunmüddətli aşınmasına, onun dəqiqliyini və xidmət müddətini azaldır. Optik linzaların üyüdülməsi emalatxanasını nümunə götürsək, rütubət uzun müddət 60% RH-dən yüksək olarsa, qranit bazanın səthində adsorbsiya olunan su buxarı hava üzən filmin vahidliyini pozacaq, nəticədə linzaların üyüdülməsi dəqiqliyi və səth qüsurları azalacaq. Buna görə də, iş mühitinin nisbi rütubəti 40-60% RH arasında nəzarət edilməlidir. Müəssisələr real vaxt rejimində rütubəti izləmək və nəzarət etmək, dəqiq qranit bazası üçün uyğun rütubət mühiti yaratmaq və dəqiq statik təzyiqli hava üzən hərəkət platformasının sabit işləməsini təmin etmək üçün nəmləndiricilərdən, rütubət sensorlarından və digər avadanlıqlardan istifadə edə bilərlər.
3. təmizlik: ciddi nəzarət edin, hissəciklərin müdaxiləsini aradan qaldırın
Toz hissəcikləri dəqiq statik təzyiqli hava üzən hərəkət platformasının "düşmənidir" və qranit həssas bazasına böyük zərər verir. Xırda hissəciklər qaz üzən sürgü ilə qranit baza arasındakı qaz filmi boşluğuna daxil olduqdan sonra, onlar qaz filminin vahidliyini poza, sürtünməni artıra və hətta platformanın hərəkətinin düzgünlüyünə ciddi təsir göstərərək, təməlin səthini cızmağa səbəb ola bilər. Aerokosmik hissələrin ultra dəqiq emal emalatxanasında, havadakı toz hissəcikləri qranit bazaya düşərsə, emal alətinin hərəkət trayektoriyası kənara çıxa bilər və hissələrin emal dəqiqliyinə təsir göstərə bilər. Buna görə də, iş sahəsi yüksək dərəcədə təmiz saxlanılmalı və 10.000 və ya daha yüksək təmizlik standartına çatmalıdır. Müəssisələr yüksək səmərəli hava filtrləri (HEPA) quraşdıraraq havadakı toz hissəciklərini süzə bilər və insanların gətirdiyi tozu azaltmaq və qranit bazası və dəqiq statik təzyiqli hava üzən hərəkət platformasının yüksək dəqiqlikli iş mühitini qorumaq üçün işçilərdən tozsuz geyim, ayaqqabı örtükləri və s. geyinməyi tələb edə bilər.
4. Vibrasiya: Hamar bir boşluq yaratmaq üçün effektiv izolyasiya
Xarici vibrasiya, dəqiq statik təzyiqli hava üzən platformasının dəqiqliyinə ciddi şəkildə müdaxilə edəcək, baxmayaraq ki, dəqiq qranit baza müəyyən vibrasiya zəifləmə qabiliyyətinə malikdir, lakin yüksək güclü vibrasiya hələ də tampon həddini poza bilər. Fabrik ətrafında nəqliyyatın hərəkəti və iri mexaniki avadanlığın işləməsi nəticəsində yaranan vibrasiya yer vasitəsilə qranit bazaya ötürülür ki, bu da platformanın hərəkətinin dəqiqliyinə mane olacaq. Yüksək səviyyəli CMM-də vibrasiya ölçmə zondu ilə ölçülən iş parçası arasındakı kontaktın qeyri-sabit olmasına səbəb ola bilər ki, bu da ölçmə məlumatlarının kənara çıxması ilə nəticələnə bilər. Bu problemi həll etmək üçün avadanlığın quraşdırılması sahəsində vibrasiya izolyasiyası üçün yastıqların qoyulması, vibrasiya izolyasiya təməlinin qurulması və ya xarici vibrasiyanı aktiv şəkildə kompensasiya etmək üçün aktiv vibrasiya izolyasiya sistemindən istifadə etmək kimi effektiv vibrasiya izolyasiyası tədbirlərini qəbul etmək və qranit həssas bazası və dəqiq hərəkətli statik təzyiq platforması üçün sakit və sabit iş mühiti yaratmaq lazımdır.
Dəqiq statik təzyiqli havada üzən hərəkət platformasında qranit dəqiq əsasının üstünlüklərinə tam oyun vermək, platformanın müxtəlif sənayelər üçün yüksək dəqiqlikli və yüksək sabitlikli hərəkətə nəzarət xidmətləri təmin etməsini təmin etmək üçün yuxarıda göstərilən ekoloji tələblərə cavab verin. Əgər müəssisələr istehsalat mühitində bu detallara diqqət yetirə bilsələr, dəqiq istehsalda, elmi tədqiqatlarda və digər sahələrdə fürsətdən istifadə edəcək, rəqabət qabiliyyətini artıracaq və davamlı inkişafa nail olacaqlar.
Göndərmə vaxtı: 10 aprel 2025-ci il