.
Yarımkeçiricilərin istehsalı sahəsində vafli yoxlama avadanlığının dəqiqliyi çiplərin keyfiyyətini və məhsuldarlığını birbaşa müəyyən edir. Əsas aşkarlama komponentlərini dəstəkləyən təməl olaraq, avadanlığın əsas materialının ölçü sabitliyi avadanlığın uzunmüddətli əməliyyat performansında həlledici rol oynayır. Qranit və çuqun vafli yoxlama avadanlığı üçün iki ümumi istifadə olunan əsas materialdır. 10 illik müqayisəli araşdırma, avadanlıq seçimi üçün vacib istinadlar təmin edərək, ölçü sabitliyi baxımından aralarındakı əhəmiyyətli fərqləri ortaya çıxardı. .
Eksperimental fon və dizayn
Yarımkeçirici vaflilərin istehsal prosesi aşkarlama dəqiqliyi üçün son dərəcə yüksək tələblərə malikdir. Hətta mikrometr səviyyəli ölçülü sapma çip performansının azalmasına və ya hətta hurdaya səbəb ola bilər. Uzunmüddətli istifadə zamanı qranit və çuqun ölçü sabitliyini araşdırmaq üçün tədqiqat qrupu real iş mühitini simulyasiya edən təcrübələr hazırladı. Eyni spesifikasiyaya malik qranit və çuqun nümunələri seçilmiş və temperaturun 15℃ ilə 35℃ arasında dəyişdiyi və rütubətin 30% ilə 70% RH arasında dəyişdiyi ətraf mühit kamerasına yerləşdirilmişdir. Avadanlığın istismarı zamanı mexaniki vibrasiya vibrasiya masası vasitəsilə simulyasiya edilmişdir. Nümunələrin əsas ölçüləri yüksək dəqiqlikli lazer interferometrindən istifadə etməklə hər rüb ölçüldü və məlumatlar 10 il ərzində davamlı olaraq qeyd edildi. .
Eksperimental nəticə: Qranitlərin mütləq üstünlüyü
On illik eksperimental məlumatlar göstərir ki, qranit substratı heyrətamiz sabitlik nümayiş etdirir. Onun istilik genişlənmə əmsalı son dərəcə aşağıdır, orta hesabla cəmi 4,6×10⁻⁶/℃. Kəskin temperatur dəyişiklikləri zamanı ölçü sapması həmişə ±0,001 mm daxilində idarə olunur. Rütubət dəyişiklikləri qarşısında qranit sıx strukturu onu demək olar ki, təsirsiz hala gətirir və ölçülə bilən ölçü dəyişiklikləri baş vermir. Mexanik vibrasiya mühitində qranit əla sönümləmə xüsusiyyətləri vibrasiya enerjisini effektiv şəkildə mənimsəyir və ölçülü dalğalanma olduqca kiçikdir. .
Bunun əksinə olaraq, çuqun substratı üçün onun orta istilik genişlənmə əmsalı 11×10⁻⁶/℃ - 13×10⁻⁶/℃-ə çatır və 10 il ərzində temperaturun dəyişməsi nəticəsində yaranan maksimum ölçü sapması ±0,05 mm-dir. Rütubətli bir mühitdə çuqun pas və korroziyaya meyllidir. Bəzi nümunələr yerli deformasiyanı göstərir və ölçülü sapma daha da artır. Mexanik vibrasiyanın təsiri altında, çuqun zəif vibrasiya söndürmə qabiliyyətinə malikdir və ölçüsü tez-tez dəyişir, bu da vafli yoxlamanın yüksək dəqiqlik tələblərinə cavab verməyi çətinləşdirir. .
Sabitlik fərqinin əsas səbəbi
Qranit yüz milyonlarla il ərzində geoloji proseslər nəticəsində əmələ gəlib. Onun daxili strukturu sıx və vahiddir, mineral kristallar isə sabit şəkildə düzülüb, daxili gərginliyi təbiətcə aradan qaldırır. Bu, onu temperatur, rütubət və vibrasiya kimi xarici amillərdəki dəyişikliklərə son dərəcə həssas edir. Çuqun tökmə prosesi ilə hazırlanır və içərisində məsamələr və qum dəlikləri kimi mikroskopik qüsurlara malikdir. Eyni zamanda, tökmə prosesi zamanı yaranan qalıq stress xarici mühitin stimullaşdırılması altında ölçülü dəyişikliklərə səbəb olur. Çuqun metal xüsusiyyətləri onu rütubət səbəbindən paslanmaya meylli edir, struktur zədələnməsini sürətləndirir və ölçü sabitliyini azaldır. .
Gofret yoxlama avadanlığına təsir
Sabit ölçülü performansı ilə qranit substrata əsaslanan vafli yoxlama avadanlığı, yoxlama sisteminin uzun müddət yüksək dəqiqliyi saxlamasını təmin edə bilər, avadanlığın düzgünlüyünün sürüşməsi nəticəsində yaranan səhv mülahizələri və buraxılmış aşkarlanmanı azalda bilər və məhsulun məhsuldarlığını əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdıra bilər. Eyni zamanda, aşağı texniki xidmət tələbləri avadanlığın tam həyat dövrü xərclərini azaldır. Zəif ölçü sabitliyinə görə çuqun altlıqlardan istifadə edən avadanlıq tez-tez kalibrləmə və texniki xidmət tələb edir. Bu, nəinki əməliyyat xərclərini artırır, həm də qeyri-dəqiqlik səbəbindən yarımkeçirici istehsalının keyfiyyətinə təsir edərək potensial iqtisadi itkilərə səbəb ola bilər. .
Yarımkeçirici sənayenin daha yüksək dəqiqliyə və daha keyfiyyətli keyfiyyətə can atması tendensiyası altında, vafli yoxlama avadanlığı üçün əsas material kimi qranit seçilməsi, şübhəsiz ki, avadanlıqların işini təmin etmək və müəssisələrin rəqabət qabiliyyətini artırmaq üçün ağıllı bir addımdır. .
Göndərmə vaxtı: 14 may 2025-ci il