Çip istehsalının əsas linkində - vafli skan edilməsində avadanlığın dəqiqliyi çipin keyfiyyətini müəyyən edir. Avadanlığın vacib bir komponenti olaraq, qranit maşın bazasının istilik genişlənməsi problemi çox diqqət çəkdi.
Qranitlərin istilik genişlənmə əmsalı adətən 4 ilə 8×10⁻⁶/℃ arasındadır ki, bu da metal və mərmərdən xeyli aşağıdır. Bu o deməkdir ki, temperatur dəyişdikdə onun ölçüsü nisbətən az dəyişir. Bununla belə, qeyd etmək lazımdır ki, aşağı istilik genişlənməsi istilik genişlənməsinin olmadığı anlamına gəlmir. Həddindən artıq temperatur dalğalanmaları altında hətta ən kiçik genişlənmə vafli skanının nanoölçülü dəqiqliyinə təsir göstərə bilər.
Gofretin skan edilməsi zamanı termal genişlənmənin baş verməsinin bir çox səbəbi var. Sexdə temperaturun dəyişməsi, avadanlıq komponentlərinin işləməsi nəticəsində yaranan istilik və lazerlə emal nəticəsində yaranan ani yüksək temperatur bütün bunlar qranit bazanın “temperaturun dəyişməsi səbəbindən genişlənməsinə və büzülməsinə” səbəb olacaq. Baza istilik genişlənməsinə məruz qaldıqdan sonra bələdçi relsinin düzlüyü və platformanın yastılığı sapa bilər, nəticədə vafli masanın qeyri-dəqiq hərəkət trayektoriyası yaranır. Dəstəkləyən optik komponentlər də sürüşərək skan şüasının “sapmasına” səbəb olacaq. Uzun müddət fasiləsiz işləmək də səhvləri toplayaraq dəqiqliyi daha da pisləşdirəcək.
Amma narahat olma. İnsanların artıq həll yolları var. Materiallar baxımından daha aşağı istilik genişlənmə əmsalı olan qranit damarları seçiləcək və yaşlanma müalicəsinə məruz qalacaq. Temperaturun idarə edilməsi baxımından, emalatxananın temperaturu 23±0,5 ℃ və ya daha aşağı səviyyədə dəqiq şəkildə idarə olunur və baza üçün aktiv istilik yayma cihazı da nəzərdə tutulacaqdır. Struktur dizayn baxımından simmetrik strukturlar və çevik dayaqlar qəbul edilir və temperatur sensorları vasitəsilə real vaxt rejimində monitorinq aparılır. İstilik deformasiyası nəticəsində yaranan səhvlər alqoritmlərlə dinamik şəkildə düzəldilir.
ASML litoqrafiya maşınları kimi yüksək səviyyəli avadanlıqlar, bu üsullar vasitəsilə qranit əsasının termal genişlənmə effektini son dərəcə kiçik diapazonda saxlayır və vafli skanlama dəqiqliyinin nanometr səviyyəsinə çatmasına imkan verir. Buna görə də, düzgün idarə olunduğu müddətdə, qranit bazası vafli tarama avadanlığı üçün etibarlı seçim olaraq qalır.
Göndərmə vaxtı: 12 iyun 2025-ci il