Çip istehsalının əsas halqasında - lövhə skanlamasında avadanlığın dəqiqliyi çipin keyfiyyətini müəyyən edir. Avadanlığın vacib bir komponenti olaraq, qranit maşın bazasının istilik genişlənməsi problemi çox diqqət çəkib.
Qranitin istilik genişlənmə əmsalı adətən 4 ilə 8×10⁻⁶/℃ arasındadır ki, bu da metal və mərmərdən xeyli aşağıdır. Bu o deməkdir ki, temperatur dəyişdikdə onun ölçüsü nisbətən az dəyişir. Lakin qeyd etmək lazımdır ki, aşağı istilik genişlənməsi istilik genişlənməsinin olmaması demək deyil. Həddindən artıq temperatur dalğalanmaları zamanı hətta ən kiçik genişlənmə belə lövhə skanlamasının nanoskal dəqiqliyinə təsir göstərə bilər.
Plitə skanlama prosesi zamanı istilik genişlənməsinin baş verməsinin bir çox səbəbi var. Emalatxanada temperatur dalğalanmaları, avadanlıq komponentlərinin işləməsi nəticəsində yaranan istilik və lazer emalı nəticəsində yaranan ani yüksək temperatur qranit əsasının "temperatur dəyişiklikləri səbəbindən genişlənməsinə və büzülməsinə" səbəb olacaq. Əsas istilik genişlənməsinə məruz qaldıqdan sonra, istiqamətləndirici relsin düzlüyü və platformanın düzlüyü sapa bilər və bu da plitələr masasının qeyri-dəqiq hərəkət trayektoriyasına səbəb ola bilər. Dəstəkləyici optik komponentlər də yerdəyişəcək və bu da skanlama şüasının "sapılmasına" səbəb olacaq. Uzun müddət davamlı işləmək də səhvlər toplayacaq və bu da dəqiqliyi getdikcə daha da pisləşdirəcək.
Amma narahat olmayın. İnsanların artıq həlləri var. Materiallar baxımından, daha aşağı istilik genişlənmə əmsalına malik qranit damarlar seçiləcək və yaşlanma emalına məruz qalacaq. Temperatur nəzarəti baxımından, emalatxananın temperaturu 23±0.5℃ və ya daha aşağı səviyyədə dəqiq idarə olunur və baza üçün aktiv istilik yayma cihazı da hazırlanacaq. Struktur dizayn baxımından simmetrik strukturlar və çevik dayaqlar qəbul edilir və real vaxt rejimində monitorinq temperatur sensorları vasitəsilə həyata keçirilir. İstilik deformasiyasının yaratdığı səhvlər alqoritmlər tərəfindən dinamik şəkildə düzəldilir.
ASML litoqrafiya maşınları kimi yüksək səviyyəli avadanlıqlar, bu üsullar vasitəsilə qranit əsasının istilik genişlənmə effektini olduqca kiçik bir diapazonda saxlayır və lövhə skanlama dəqiqliyinin nanometr səviyyəsinə çatmasına imkan verir. Buna görə də, düzgün idarə olunduqca, qranit əsas lövhə skanlama avadanlığı üçün etibarlı seçim olaraq qalır.
Yazı vaxtı: 12 iyun 2025