♦ alumina (al2O3)
Zhonghui Ağıllı İstehsalçı Qrupu (Zhhimg) tərəfindən istehsal olunan dəqiq keramika hissələri yüksək saflıq keramika xammalı, 92 ~ 97% alüminium, 99.5% alüminium,> 99.9% alüminium və CIP soyuq izostatik Yüksək temperaturun tərəddüd və dəqiq işləmə, ± 0.001mm, hamarlığı, ra0.1-ə qədər hamarlığı, temperaturu 1600 dərəcəyə qədər istifadə edin. Seramikanın müxtəlif rəngləri müştərilərin tələblərinə görə edilə bilər, məsələn: qara, ağ, bej, tünd qırmızı və s.
Müxtəlif yarımkeçirici istehsal avadanlıqlarında geniş istifadə olunur: çərçivələr (keramika mötərizəsi), substrat (baza), qol / körpü (manipulyator) ,, mexaniki komponentlər və keramika hava rulmanı.
| Məhsulun adı | Yüksək saflıq 99 alüminion keramika kvadrat boru / boru / çubuq | |||||
| İndeks | Vahidi | 85% AL2O3 | 95% AL2O3 | 99% AL2O3 | 99.5% AL2O3 | |
| Sıxlıq | g / sm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Su udma | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| Şəkilli temperatur | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Sərtlik | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Əyilmə gücü (20 ℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Kompressiv güc | KGF / CM2 | 1000000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Uzun müddət iş istiliyi | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Maks. İş temperaturu | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Həcm müqaviməti | 20 ℃ | Ω. sm3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
| 100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 | ||
Yüksək təmiz alüminion keramika tətbiqi:
1. Yarımkeçirici avadanlıqlara tətbiq olunur: keramika vakuum Chuck, kəsmə diski, təmizləyici disk, keramika çoku.
2. Offer transfer hissələri: vafli işləyən chucks, gofret kəsmə diskləri, vafli təmizləyici disklər, vafli optik yoxlama əmzik stəkanları.
3. LED / LCD Flat Panel Ekran sənayesi: keramika nozzle, keramik daşları disk, qaldırma pin, pin ray.
4. Optik rabitə, günəş sənayesi: keramika boruları, keramika çubuqları, dövrə taxtası ekranı çap keramika pateraları.
5. İstilika davamlı və elektrikli izolyasiya hissələri: keramika rulmanları.
Hazırda alüminium oksidi keramika yüksək saf və ümumi keramikaya bölünə bilər. Yüksək saflıq alüminium oksidi keramika seriyası 99,9% -dən çox olan keramika materialına aiddir. 1650 - 1990 ° C-ə qədər olan servermə temperaturu və onun ötürülmə dalğa uzunluğuna görə, ümumiyyətlə, platinumun əvəzinə platin borusu və alkali metalına nisbətən natrium borusu kimi istifadə edilə bilər. Elektron sənayesində, IC substratları üçün yüksək tezlikli izolyasiya materialı kimi istifadə edilə bilər. Alüminium oksidi olan müxtəlif məzmuna görə, ümumi alüminium oksidi keramika seriyasına 99 keramika, 95 keramika, 90 keramika və 85 keramika bölünə bilər. Bəzən, alüminium oksidinin 80% və ya 75% -i olan keramika da ümumi alüminium oksidi keramika seriyası kimi təsnif edilir. Bunların arasında 99 alüminium oksidi keramika materialı, yüksək temperaturlu çubuğu, yanğın izolyasiya edən soba borusu və keramika rulmanları, keramika möhürləri və klapan plitələr kimi xüsusi aşınmaya davamlı materiallar istehsal etmək üçün istifadə olunur. 95 Alüminium keramika əsasən korroziyaya davamlı aşınma müqavimət hissəsi kimi istifadə olunur. 85 keramika tez-tez bəzi xüsusiyyətlərdə qarışdırılır, bununla da elektrik performansını və mexaniki gücünü yaxşılaşdırır. Bu molibden, niobium, tantal və digər metal möhürlərdən istifadə edə bilər, bəziləri isə elektrik vakuum cihazları kimi istifadə olunur.
| Keyfiyyətli element (Nümayəndəlik dəyəri) | Məhsulun adı | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22-ci illər | AES-23 | Al-31-03 | |
| Kimyəvi Tərkibi Aşağı Natrium Asan Sintering Məhsulu | Hoqqabaz | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| Lol | % | 0.1 | 0,2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| Sio₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| Naşim | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| Mgo * | % | - | 0,11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Orta hissəcik diametri (MT-3300, lazer analiz metodu) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α kristal ölçüsü | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| Sıxlıq yaradan ** | g / cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Sintering sıxlığı ** | g / cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Sintering xəttinin kiçiltmə dərəcəsi ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* Mgo, AL₂O₃ saflığının hesablanmasına daxil deyil.
* Heç bir miqyaslı toz 29.4mpa (300 kq / sm²), sertləşdirici temperatur 1600 ° C-dir.
AES-11 / 11C / 11F: 0.05 ~ 0,1% MGO əlavə edin, şiddət əladır, buna görə də 99% -dən çox olan alüminium oksidi keramika üçün tətbiq olunur.
AES-22S: Yüksək formalaşma sıxlığı və sintering xəttinin aşağı büzülmə dərəcəsi ilə xarakterizə olunur, sürüşmə forması tökmə və lazımi ölçülü dəqiqlik olan digər genişmiqyaslı məhsullar üçün tətbiq olunur.
AES-23 / AES-31-03: AES-22-dən daha yüksək bir sıxlıq, thixotropiya və daha aşağı bir viskozity var. Birincisi, sonuncu, yanğından keçən materiallar üçün su azaltmaq, populyarlıq qazanan, su azaltmaq kimi istifadə edilərkən keramika üçün istifadə olunur.
♦ Silikon karbid (SIC) xüsusiyyətləri
| Ümumi xüsusiyyətlər | Əsas komponentlərin təmizliyi (Wt%) | 97 | |
| Rəng | Qara | ||
| Sıxlıq (g / cm³) | 3.1 | ||
| Su udma (%) | 0 | ||
| Mexaniki xüsusiyyətlər | Fleksiyalı güc (MPa) | 400 | |
| Gənc modul (GPA) | 400 | ||
| Vickers Hardness (GPA) | 20 | ||
| İstilik xüsusiyyətləri | Maksimum işləmə temperaturu (° C) | 1600 | |
| Termal genişləndirmə əmsalı | RT ~ 500 ° C | 3.9 | |
| (1 / ° C x 10-6) | RT ~ 800 ° C | 4.3 | |
| İstilik keçiriciliyi (w / m x k) | 130 110 | ||
| İstilik şok müqaviməti δt (° C) | 300 | ||
| Elektrik xüsusiyyətləri | Həcm müqaviməti | 25 ° C | 3 x 106 |
| 300 ° C | - | ||
| 500 ° C | - | ||
| 800 ° C | - | ||
| Dielektrik davamlı | 10GHz | - | |
| Dielektrik itkisi (x 10-4) | - | ||
| Q Factor (x 104) | - | ||
| Dielektrik Bölmə Gərginliyi (KV / MM) | - | ||
♦ Silikon nitridi keramika
| Material | Vahidi | Si₃n₄ |
| Sintering metodu | - | Qaz təzyiqi əsən |
| Sıxlıq | g / cm³ | 3.22 |
| Rəng | - | Tünd-boz |
| Su udma dərəcəsi | % | 0 |
| Gənc modul | Gpa | 290 |
| Vickers sərtliyi | Gpa | 18 - 20 |
| Kompressiv güc | Mpa | 2200 |
| Əyilmə gücü | Mpa | 650 |
| İstilikkeçirmə | W / mk | 25 |
| Termal şok müqavimət | Δ (° C) | 450 - 650 |
| Maksimum işləmə temperaturu | ° C | 1200 |
| Həcm müqaviməti | Ω · sm | > 10 ^ 14 |
| Dielektrik davamlı | - | 8.2 |
| Dielektrik gücü | KV / mm | 16 |