Qranit hava daşıyıcı sistemləri geniş istifadə olunurultra dəqiqlikyarımkeçirici istehsalı, optik uyğunlaşdırma və nanometr miqyaslı metrologiya üçün hərəkət platformaları.
Bu sistemlər nazik təzyiqli hava təbəqəsi istifadə edərək mexaniki təması aradan qaldırır və sıfıra yaxın sürtünmə hərəkəti əldə edir.
Hava Yatağı Prinsipi
Hava yastıqları, iki səth arasına sıxılmış hava daxil etməklə və 2-20 μm hava təbəqəsi əmələ gətirməklə işləyir.
Bu, aşağıdakıları aradan qaldırır:
- Mexaniki sürtünmə
- Geyinmək
- Çubuq sürüşmə davranışı
Sistem maye film dinamikasına və sabit laminar axına əsaslanır.
Qranitin rolu
Qranit təmin edir:
- Struktur sabitlik
- Termal sürüşmənin qarşısının alınması
- Vibrasiya söndürmə
Hərəkət sistemi üçün mexaniki istinad bazası kimi xidmət edir.
Sistem Komponentləri
- Qranit bazası
- Hava daşıyan yastıqlar
- Hava təchizatı sistemi
- Dəqiq kodlayıcılar
- Hərəkətə nəzarət sistemi
Performans Xüsusiyyətləri
Tipik performansa aşağıdakılar daxildir:
- Mikrondan aşağı yerləşdirmə dəqiqliyi
- Uzun səyahət zamanı yüksək düzlük
- Sıfır mexaniki zərbə
Əsas xəta mənbələrinə hava təzyiqinin qeyri-sabitliyi, istilik sürüşməsi və kodlayıcı xətası daxildir.
Tətbiqlər
- Yarımkeçirici lövhə yoxlaması
- Litoqrafiya sistemləri
- Optik uyğunlaşdırma platformaları
- Yüksək səviyyəli metrologiya maşınları
Tez-tez verilən suallar
Hava yastıqları köhnəlirmi?
Mexaniki təmasın olmaması aşınmanı aradan qaldırır.
Niyə qranitdən istifadə etməlisiniz?
Sabitlik və vibrasiyanın azaldılması üçün.
Dəqiqliyi nə məhdudlaşdırır?
Hava sabitliyi və istilik effektləri.
Ağır yük daşıya bilirlərmi?
Bəli, dizayndan asılı olaraq.
Yazı vaxtı: 03 İyul 2026